的差是否小于預(yù)定的閾值TH5來執(zhí)行放電開始判定?？芍斒闺娫摧敵鲋噶钜噪A梯狀增加預(yù)定的增加量時，放電管電壓相對于電源輸出指令的變化比例，在放電開始后小于放電開始前。因此，每次增加電源輸出指令時，比較放電管電壓的變化量與閾值TH5，來判定是否開始了放電。請同時參照JP2011 - 222586A以及JP2014 — 053423A。閾值TH5可以適當?shù)馗鶕?jù)氣體激光振蕩器1正常運轉(zhuǎn)時的放電管電壓相對于電源輸出指令的變化量來決定。
[0048]當否定了步驟S307中的判定時，向步驟S308前進，執(zhí)行過電流判定。過電流判定根據(jù)DC電流I (N)是否超過預(yù)定的閾值TH3 (第3閾值)來執(zhí)行。為了防止DC電流I (N)變得過大，氣體激光振蕩器1停止警報而執(zhí)行過電流判定。因此，將閾值TH3設(shè)定為例如小于應(yīng)停止警報的DC電流值的值。
[0049]當否定了步驟S308中的判定時，返回到步驟S304，重新執(zhí)行使電源輸出指令僅增加Δ C1的處理。重復(fù)執(zhí)行步驟S304?步驟S307的處理，直到肯定步驟S307以及步驟S308中的某一方為止。
[0050]當肯定了步驟S307的判定時，向步驟S309前進，輸出指令部61輸出以維持輔助電極43的輔助放電，并且不產(chǎn)生主電極42的主放電(S卩，激光輸出為0W)的方式?jīng)Q定的電源輸出指令C2。接著，在步驟S310中取得放電開始時間TS作為從開始恢復(fù)動作到判定放電開始為止所需要的時間。
[0051]圖4表示執(zhí)行了恢復(fù)動作時的放電管電壓以及DC電流的特性的例子。在圖4中示出了不肯定步驟S308中的判定，而肯定步驟S307中的放電開始判定時的電源輸出指令、放電管電壓以及DC電流的相互的關(guān)系性。在圖4中，分別通過實線、點線、虛線來表示電源輸出指令、放電管電壓以及DC電流。
[0052]如上所述，根據(jù)階梯狀增大的電源輸出指令，放電管電壓以及DC電流分別增大。然后，在開始恢復(fù)動作后經(jīng)過了時間TS的時刻，放電管電壓的變化量△￥小于閾值1'!15，放電開始判定部21判定放電開始(即，肯定步驟S307的判定)。在圖4所示的例子中，在較短的時間內(nèi)順利地開始放電。因此，可以推定為氣體容器31的密閉性非常高。
[0053]再次參照圖3，當肯定了步驟S308的判定時，向步驟S311前進，重試處理部22執(zhí)行重試處理。在步驟S311中，向重試次數(shù)Μ代入M+1。接著，向步驟S312前進，執(zhí)行氣體壓力下降判斷。
[0054]根據(jù)重試次數(shù)Μ是否超過預(yù)定的閾值ΤΗ4 (第4閾值)來執(zhí)行氣體壓力下降判定。如果是正常狀態(tài)，若重復(fù)預(yù)定次數(shù)的重試處理則開始放電。然而，當激光氣體組成變化時，有時在沒有開始放電的狀態(tài)下重試次數(shù)Μ超過閾值TH4。此時，執(zhí)行氣體壓力下降處理來可靠地開始放電。
[0055]另一方面，當否定了步驟S312的判定時返回步驟S302，輸出指令部61輸出電源輸出指令C1 (0)(初始值)。
[0056]圖5表示執(zhí)行了恢復(fù)動作時的放電管電壓以及DC電流的特性的第2個例子。在圖5中示出了在時間TR執(zhí)行重試處理，并且在時間TS放電開始判定部21判定放電開始的情況的例子。即，在時間TR，DC電流超過閾值TH3 (肯定步驟S308的判定)，并且隨著重試處理的執(zhí)行，輸出指令部61再次輸出電源輸出指令C1 (0)。如圖5的例子所示，當需要執(zhí)行重試處理時，可以推定為發(fā)生了較輕度的密閉性的下降。此外，根據(jù)重試處理的執(zhí)行次數(shù)的增加，可以推定為密閉性的下降還在繼續(xù)。例如，當重試次數(shù)的執(zhí)行次數(shù)超過了預(yù)定次數(shù)時，可以推定為在放電管41等中使用的0形密封圈劣化，需要進行更換。
[0057]返回到圖3,當肯定步驟S312的判定時，向步驟S313前進，執(zhí)行氣體壓力下降處理以便能夠可靠地開始放電。氣體壓力控制系統(tǒng)37向外部排出氣體容器31內(nèi)的激光氣體，并使氣體壓力下降直到成為比通常的氣體壓力P小A P的壓力P’為止。
[0058]在步驟S314中，輸出指令部61輸出運轉(zhuǎn)時使激光輸出為0W而設(shè)定的電源輸出指令C2。在氣體壓力下降至P’的狀態(tài)下，若賦予電源輸出指令C2,則根據(jù)經(jīng)驗可以知道可靠地開始了放電。換言之，執(zhí)行完氣體壓力下降處理后的激光氣體壓力P’在賦予了電源輸出指令C2時，被設(shè)定為可靠地開始放電的氣體壓力。
[0059]開始放電后，在步驟S315中，氣體壓力控制系統(tǒng)37向氣體容器31內(nèi)供給激光氣體，并且使氣體壓力增加至通常動作時的氣體壓力(執(zhí)行氣體壓力下降處理前的激光氣體壓力)P。
[0060]接著，向步驟S310前進，取得放電開始時間TS。當通過執(zhí)行氣體壓力下降處理使放電開始時，將放電開始時間TS視為在肯定步驟S312的判定為止的時間上相加執(zhí)行步驟S313?S315所需要的時間(根據(jù)氣體容器31的容積決定的時間)而得的合計時間。
[0061]圖6表示執(zhí)行了恢復(fù)動作時的放電管電壓以及DC電流的特性的第3個例子。在圖6中示出了分別在時間TR(1)、TR(2)、……TR⑴執(zhí)行重試處理，并且在時間TS視為開始放電的情況的例子。在圖6的例子中，可知在時間TR(i)，重試次數(shù)Μ超過閾值TH4(肯定步驟S312的判定)，并且隨著氣體壓力下降處理的執(zhí)行，通過氣體壓力控制系統(tǒng)37氣體壓力僅下降ΔΡ。如圖6的例子所示，當需要執(zhí)行氣體壓力下降處理時，可以推定為發(fā)生了較重度的密閉性的下降。例如，可以推定為氣體容器31發(fā)生了龜裂，或在通過氣體壓力控制系統(tǒng)37控制的閥中發(fā)生了不良。
[0062]返回到圖3,當取得放電開始時間TS時，向步驟S316前進，密閉性判定部23判定氣體容器31的密閉性是否下降。根據(jù)放電開始時間TS是否超過了預(yù)定的閾值TH1 (第1閾值)來執(zhí)行密閉性判定。
[0063]當肯定步驟S316的判定時，向步驟S317前進，判定氣體容器31的密閉性下降后，完成恢復(fù)動作。另一方面，當否定步驟S316的判定時，繞過步驟S317后完成恢復(fù)動作。
[0064]本實施方式的氣體激光振蕩器1具有如下的優(yōu)點。
[0065](1)每次使氣體激光振蕩器1從等待狀態(tài)恢復(fù)時，判定氣體容器31的密閉性是否下降。由此，即使在沒有完全停止氣體激光振蕩器1的狀態(tài)下繼續(xù)執(zhí)行激光加工的情況下，也能夠推定氣體容器31的密閉性。例如，當長時間執(zhí)行一連串的激光加工時，可以利用氣體激光振蕩器1從臨時的等待狀態(tài)恢復(fù)的定時，來推定氣體容器31的密閉性。此外，可以判定因0形密封圈的劣化等，在氣體激光振蕩器運轉(zhuǎn)中逐漸發(fā)展的氣體容器的密閉性的下降，從而能夠提高密閉性監(jiān)視的可靠性。
[0066](2)根據(jù)放電開始時間TS推定氣體容器31的密閉性，由此即使在密閉性下降程度非常低時，也可以判定密閉性下降。并且，可以根據(jù)放電開始時間的長度對密閉性下降的程度進行某種程度的推定，由此可以推定密閉性下降的原因。例如，可以根據(jù)步進次數(shù)N增加的結(jié)果或執(zhí)行重試處理的結(jié)果、放電開始時間TS的增加，來推定0形密封圈等密封部件的劣化在繼續(xù)。此外，在重試次數(shù)Μ增加，放電開始時間TS增加至需要進行氣體壓力下降處理的程度時，可以推定在除了氣體容器31以外的其他配管設(shè)備中產(chǎn)生