能夠用ebsd檢測器容易地分析所期望位置的帶電粒子線裝置以及其控制方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及具備EBSD檢測器的掃描電子顯微鏡等的帶電粒子線裝置以及其控制方法。
【背景技術】
[0002]作為試樣結晶結構分析法之一有EBSD (Electron Backscattered Diffract1n)法。并且也會稱為 EBSP (Electron Backscattered Diffract1n Pattern)法。
[0003]EBSD檢測器為在高敏感度照相機的前端配置熒光濾光器的結構，安裝于帶電粒子線裝置上。在試樣表面上聚集帶電粒子線并照射時，基于結晶方位從試樣表面產(chǎn)生的后方散射電子的衍射圖象投影于熒光濾光器上。用高敏感度照相機檢測該衍射圖象來分析結晶方位以及結晶結構。為了將后方散射電子的衍射圖象投影至熒光濾光器上，EBSD檢測器在試樣的正側面靠近頂端，如靠近至1cm左右配置。
[0004]在專利文獻1中記載了:在EBSD檢測器分析結晶方位以及結晶結構等的情況下，使用預先已傾斜70度的夾具，不會發(fā)生試樣載物臺傾斜地進行分析的技術。
[0005]另外，在電子顯微鏡中，作為表示試樣載物臺圖像的眾所周知的例子，有記載于專利文獻2中的技術。
[0006]記載于專利文獻2中的技術是具備獲得試樣載物臺圖像的攝像裝置，使用用該攝像裝置獲得的試樣載物臺圖像，使用與試樣載物臺的位置、移動距離與移動方向、顯示裝置顯示的試樣載物臺的位置、移動距離與移動方向對應關系的信息，將用電子顯微鏡獲得的試樣圖像、試樣載物臺上的位置信息顯示于顯示裝置上的技術。
[0007]現(xiàn)有技術文件
[0008]專利文獻
[0009]專利文獻1:日本特開2000-277044號公報
[0010]專利文獻2:日本特開2010-198998號公報

【發(fā)明內容】

[0011]發(fā)明所需要解決的課題
[0012]本申請的發(fā)明者關于即使是初學者也能夠容易且準確地進行EBSD法而進行專心地討論的結果，達到得到以下的知識的目的。
[0013]在帶電粒子線裝置中，為了用EBSD檢測器高效地檢測在試樣表面照射帶電粒子線而從試樣表面產(chǎn)生的后方散射電子的衍射圖像，需要相對于垂直線70度左右地傾斜試樣臺上的試樣。
[0014]因此，存在傾斜的試樣臺與EBSD檢測器以及包含于帶電粒子線光學系統(tǒng)的部件相互干涉或接觸的可能性。
[0015]而且，由于將試樣設置于試樣臺之后70度傾斜，由于由該傾斜而產(chǎn)生的試樣載物臺的移動試樣從視野中丟失，存在尋找包含試樣的視野的麻煩情況。
[0016]另外，在使用以預先傾斜的狀態(tài)下配置試樣的EBSD專用試樣臺的分析法中，由于限制試樣旋轉方向的載物臺移動，存在本來想分析的分析位置不能分析的情況。
[0017]因此，由EBSD檢測器進行的試樣分析即使對于熟練的操作者來說，以能夠分析分析位置的方式調整試樣的配置也不容易，需要大量的時間。例如，即使是熟練的操作者，在試樣位置調整上也需要十分鐘左右，如上述，如果從視野中丟失試樣，為了尋找包含試樣的視野就需要更多的時間。
[0018]本發(fā)明的目的在于提供一種帶電粒子線裝置，該裝置能夠預先把握能通過EBSD檢測器分析的試樣的分析位置，能夠在短時間內將試樣調整至所期望的分析位置。
[0019]用于解決課題的方法
[0020]本發(fā)明是帶電粒子線裝置，該裝置例如具備:釋放帶電粒子線的帶電粒子源；在試樣上照射帶電粒子線的帶電粒子光學系統(tǒng)；檢測通過帶電粒子線的照射而從試樣表面產(chǎn)生的后方散射電子衍射的EBSD檢測器；對配置試樣的試樣臺進行支撐并移動的試樣載物臺；區(qū)別試樣中的能通過上述EBSD檢測器觀察的部分與不能通過上述EBSD檢測器觀察的部分并顯示的圖像顯示部；輸入利用EBSD檢測器的觀察位置的操作輸入部；以能用EBSD檢測器觀察由操作輸入部輸入的觀察位置的方式控制試樣載物臺的平面移動、傾斜移動以及旋轉移動的控制部。
[0021]另外，本發(fā)明是帶電粒子線裝置，該裝置例如具備:釋放帶電粒子線的帶電粒子源；在試樣上照射帶電粒子線的帶電粒子光學系統(tǒng)；檢測通過帶電粒子線的照射而從試樣表面產(chǎn)生的后方散射電子衍射的EBSD檢測器；對配置試樣的試樣臺進行支撐并移動的試樣載物臺；輸入利用EBSD檢測器的觀察位置的操作輸入部；在由操作輸入部輸入的觀察位置是能通過EBSD檢測器觀察的部分的情況下，以能用EBSD檢測器觀察該觀察位置的方式控制試樣載物臺的平面移動、傾斜移動以及旋轉移動的控制部；在由操作輸入部輸入的觀察位置是不能通過EBSD檢測器觀察的部分的情況下，顯示不能進行由EBSD檢測器進行的觀察的內容的圖像顯示部。
[0022]另外，本發(fā)明例如是對EBSD檢測器向帶電粒子線裝置的安裝進行導向的帶電粒子線裝置的控制方法，在控制部中基于被試樣載物臺支撐的試樣臺的大小、EBSD檢測器使用時的試樣載物臺的傾斜角度、試樣載物臺的平面移動、傾斜移動以及旋轉移動的范圍，運算在配置于試樣臺的試樣中的能通過EBSD檢測器觀察的部分與不能通過EBSD檢測器觀察的部分，在由從操作輸入部輸入的利用上述EBSD檢測器的觀察位置是能觀察的部分的情況下，控制部以能用EBSD檢測器觀察該觀察位置的方式控制試樣載物臺的平面移動、傾斜移動以及旋轉移動，在以能用EBSD檢測器觀察觀察位置的方式進行試樣載物臺的平面移動、傾斜移動以及旋轉移動后，在顯示部顯示能插入EBSD檢測器的內容。
[0023]發(fā)明效果
[0024]根據(jù)本發(fā)明能夠預先把握能由EBSD檢測器觀察的試樣的觀察位置，并能夠在短時間內將試樣調整至所期望的觀察位置。
【附圖說明】
[0025]圖1是帶電粒子線裝置的整體結構的概略圖。
[0026]圖2是表示在實施例中的試樣觀察之前的處理流程的流程圖。
[0027]圖3是表示在實施例中的用戶實施的試樣觀察之前的處理流程的流程圖。
[0028]圖4是表示實施例中的用戶進行試樣的觀察對象位置的指示的輸入部的概略圖。
[0029]圖5是表示顯示實施例中的孔部件與試樣臺之間的位置關系的模擬圖像的一例的圖。
[0030]圖6是表示顯示試樣臺從圖5所示的狀態(tài)移動的情況下的位置關系的模擬圖像的一例的圖。
[0031]圖7是表示在圖6所示的狀態(tài)中插入檢測器的情況下的模擬圖像的一例的圖。
【具體實施方式】
[0032]以下，參照附圖關于本發(fā)明的實施方式進行說明。
[0033]實施例公開了一種帶電粒子線裝置，其具備:釋放帶電粒子線的帶電粒子源；將帶電粒子線照射至試樣的帶電粒子光學系統(tǒng)；檢測通過帶電粒子線的照射而從試樣表面產(chǎn)生的后方散射電子衍射的EBSD檢測器；對配置試樣的試樣臺進行支撐并移動的試樣載物臺；區(qū)別試樣中的能通過EBSD檢測器分析的部分與不能通過EBSD檢測器分析的部分并顯示的圖像顯示部；輸入利用EBSD檢測器的分析位置的操作輸入部；以能用EBSD檢測器分析從操作輸入部輸入的分析位置的方式控制試樣載物臺的平面移動、傾斜移動以及旋轉運動的控制部。
[0034]另外，實施例公開了一種帶電粒子線裝置，其具備:釋放帶電粒子線的帶電粒子源；將帶電粒子線照射至試樣的帶電粒子光學系統(tǒng)；檢測通過帶電粒子線的照射而從試樣表面產(chǎn)生的后方散射電子衍射的EBSD檢測器；對配置試樣的試樣臺進行支撐并移動的試樣載物臺；輸入利用EBSD檢測器的分析位置的操作輸入部；在由操作輸入部輸入的分析位置是能由EBSD檢測器分析的部分的情況下，以能用EBSD檢測器分析該分析位置的方式控制試樣載物臺的平面移動、傾斜移動以及旋轉運動的控制部；在由操作輸入部輸入的分析位置是不能由EBSD檢測器分析的部分的情況下，顯示不能進行利益EBSD檢測器的分析的內容的圖像顯示部。
[0035]另外，實施例中公開了:在引導EBSD檢測器向帶電粒子線裝置的安裝的帶電粒子線裝置的控制方法中，控制部基于被試樣載物臺支撐的試樣臺的大小、EBSD檢測器使用時的試樣載物臺的傾斜角度、試樣載物臺的平面移動、傾斜移動以及旋轉移動的范圍，運算在配置于試樣臺的試樣中的能通過EBSD檢測器分析的部分、不能通過EBSD檢測器分析的部分，在由從操作輸入部輸入的利用EBSD檢測器的分析位置是能分析的部分的情況下，控制部以能用EBSD檢測器分析該分析位置的方式控制試樣載物臺的平面移動、傾斜移動以及旋轉運動，在試樣載物臺以能用EBSD檢測器分析分析位置的方式進行平面移動、傾斜移動以及旋轉運動后，在圖像顯示部中顯示能插入EBSD檢測器的內容。
[0036]另外，實施例公開了:在引導EBSD檢測器向帶電粒子線裝置的安裝的帶電粒子線裝置用程序中，控制部基于被試樣載物臺支撐的試樣臺的大小、EBSD檢測器使用時的試樣載物臺的傾斜角度、試樣載物臺的平面移動、傾斜移動以及旋轉運動的范圍，運算在配置于試樣臺的試樣中的能通過EBSD檢測器分析分析部分、不能通過EBSD檢測器分析的部分，在由從操作輸入部輸入的利用EBSD檢測器的分析位置是能分析的部分的情況下，控制部以能用EBSD檢測器分析該分析位置的方式控制試樣載物臺的平