刀片切削裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及刀片切削裝置，所述刀片切削裝置具有對板狀的被加工物進(jìn)行旋轉(zhuǎn)切削的刀片輪。
【背景技術(shù)】
[0002]存在各種用于實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件的輕薄短小化的技術(shù)。作為一例，將下述的被稱為倒裝芯片焊接(Flip Chip Bonding)的安裝技術(shù)實(shí)用化:在形成于半導(dǎo)體晶片的器件表面上形成多個(gè)高度為10?100 μ m左右的被稱為凸塊的金屬突起物，使這些凸塊與形成在配線基板上的電極相對并將其直接接合。
[0003]在倒裝芯片焊接中，需要將形成在半導(dǎo)體晶片的表面上的多個(gè)凸塊統(tǒng)一成期望的高度。作為將凸塊統(tǒng)一成期望的高度的方法通常使用磨削。但是當(dāng)磨削凸塊時(shí)存在如下的問題:在凸塊由金等存在粘性的金屬形成的情況下會產(chǎn)生毛邊，該毛邊會與相鄰?fù)箟K發(fā)生短路。
[0004]并且，作為在搭載于基板的半導(dǎo)體芯片的表面上形成多個(gè)凸塊的技術(shù)，存在如下的柱狀凸塊形成方法:在對金等金屬絲的末端進(jìn)行加熱熔融而形成球狀物后，以并用超聲波的方式將該球狀物熱壓接于半導(dǎo)體芯片的電極，并將球狀物的頭部切斷。
[0005]關(guān)于通過該柱狀凸塊形成方法而形成的凸塊，由于將熱壓接后的球狀物的頭部切斷時(shí)會產(chǎn)生針狀的須，因此難以進(jìn)行研磨，便將加熱后的板按壓于凸塊而使凸塊的高度統(tǒng)一(例如，參照日本特開2001-53097號公報(bào))。
[0006]然而，當(dāng)將加熱后的板按壓于凸塊而使凸塊的高度統(tǒng)一時(shí)，存在凸塊的頭部壓平時(shí)與相鄰的凸塊發(fā)生短路這樣的問題。為了解決該問題，在上述公開公報(bào)中記載的發(fā)明中，設(shè)置將凸塊的末端部去除的附加的工序。
[0007]作為解決這種問題而將凸塊統(tǒng)一成期望的高度的方法實(shí)施如下的方法:使用在日本特開2004-319697號公報(bào)中記載的刀片切削裝置，使定位在期望高度的刀片工具旋轉(zhuǎn)并且在水平方向上使被加工物與刀片工具相對移動而利用刀片工具對被加工物進(jìn)行旋轉(zhuǎn)切削。
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開2001-53097號公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)2:日本特開2004-319697號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]近年來，為了提高生產(chǎn)效率而推進(jìn)制作器件的板狀被加工物的大型化。例如，存在如下的被加工物:將在表面上具有凸塊的多個(gè)半導(dǎo)體芯片搭載在基板上，并利用樹脂將這些半導(dǎo)體芯片密封。為了對這種被加工物的表面進(jìn)行旋轉(zhuǎn)切削，考慮在直徑較大的刀片輪的前端安裝刀片工具而一次性旋轉(zhuǎn)切削較大的面積。
[0011]但是，存在如下問題:為了安裝直徑較大的刀片輪，需要開發(fā)大型的刀片切削裝置，并且構(gòu)成刀片工具的切刃的金剛石不耐熱，當(dāng)一次性地旋轉(zhuǎn)切削較長的距離時(shí)，因在加工時(shí)產(chǎn)生的熱量導(dǎo)致磨損顯著地進(jìn)展。
[0012]另一方面，并不是所有的被加工物都變得大型，也存在對一直以來的大小的被加工物進(jìn)行旋轉(zhuǎn)切削的情況，在這種情況下使用直徑較大的刀片輪還存在產(chǎn)生較多的未加工時(shí)間、生產(chǎn)效率變差的問題。
[0013]本發(fā)明是鑒于這一點(diǎn)而完成的，其目的在于提供一種刀片切削裝置，能夠?qū)Υ笮偷谋患庸の锬酥镣ǔ３叽绲谋患庸の锔咝У剡M(jìn)行旋轉(zhuǎn)切削，并且即使在對大型的被加工物進(jìn)行旋轉(zhuǎn)切削的情況下，也能夠抑制形成刀片工具的切刃的金剛石的磨損。
[0014]根據(jù)本發(fā)明，提供一種刀片切削裝置，其對板狀的被加工物進(jìn)行旋轉(zhuǎn)切削，其特征在于，所述刀片切削裝置具有:卡盤工作臺，其構(gòu)成為能夠在搬入搬出區(qū)域與切削區(qū)域之間移動，其中，在所述搬入搬出區(qū)域中搬入或搬出被加工物，在所述切削區(qū)域中對被加工物進(jìn)行旋轉(zhuǎn)切削，且該卡盤工作臺具有保持被加工物的保持面；卡盤工作臺移動構(gòu)件，其使該卡盤工作臺在該搬入搬出區(qū)域與該切削區(qū)域之間移動；刀片切削構(gòu)件，該刀片切削構(gòu)件包含:主軸，其繞著沿鉛直方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動；主軸外殼，其將該主軸容納成能夠旋轉(zhuǎn)；以及刀片輪，其安裝在該主軸的末端且具有刀片工具，該刀片工具具有切刃，該切刃對保持在該卡盤工作臺上的被加工物進(jìn)行切削；門型的支承構(gòu)件，其支承該刀片切削構(gòu)件，該門型的支承構(gòu)件在該切削區(qū)域中具有:第1柱和第2柱，它們隔著該卡盤工作臺移動的移動路徑從刀片切削裝置的基座彼此平行地豎立設(shè)置；以及梁部，其水平地連結(jié)該第1柱和第2柱；水平移動構(gòu)件，其配設(shè)于該門型的支承構(gòu)件，使該刀片切削構(gòu)件沿著該梁部在與該卡盤工作臺的該移動路徑垂直的方向上移動；刀片切削構(gòu)件進(jìn)給機(jī)構(gòu)，其使該刀片切削構(gòu)件在與該卡盤工作臺的該保持面垂直的方向上移動；以及切削液供給噴嘴，其在該旋轉(zhuǎn)切削時(shí)至少向被加工物與該切刃接觸的加工部位供給切削液，關(guān)于該卡盤工作臺，該卡盤工作臺的與該移動路徑垂直的方向的寬度大于該刀片輪的直徑，該刀片切削構(gòu)件配設(shè)為:能夠在借助該水平移動構(gòu)件而能夠移動的范圍中的任意位置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)切削加工。
[0015]優(yōu)選該切削液供給噴嘴被噴嘴支承部支承，該噴嘴支承部固定于該主軸外殼，當(dāng)通過該水平移動構(gòu)件或該刀片切削構(gòu)件進(jìn)給機(jī)構(gòu)使該刀片切削構(gòu)件移動時(shí)，該切削液供給噴嘴與該刀片工具的旋轉(zhuǎn)軌跡之間的位置關(guān)系不發(fā)生變化。
[0016]根據(jù)本發(fā)明，由于構(gòu)成為能夠通過水平移動構(gòu)件使安裝于門型的支承構(gòu)件的刀片切削構(gòu)件在與卡盤工作臺的移動路徑垂直的方向上移動，因此能夠高效地對大型的被加工物乃至通常尺寸的被加工物進(jìn)行旋轉(zhuǎn)切削，并且即使在旋轉(zhuǎn)切削大型的被加工物的情況下也能夠抑制形成刀片工具的切刃的金剛石的磨損。
【附圖說明】
[0017]圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的刀片切削裝置的立體圖。
[0018]圖2是被加工物的縱剖視圖。
[0019]圖3是示出利用多個(gè)路徑對大型的被加工物進(jìn)行旋轉(zhuǎn)切削的情形的示意性俯視圖。
[0020]圖4是說明旋轉(zhuǎn)切削方法的局部剖視側(cè)視圖。
[0021]圖5是刀片切削單元的主視圖。
[0022]圖6是對被加工物的尺寸較小時(shí)的旋轉(zhuǎn)切削進(jìn)行說明的示意性俯視圖。
[0023]標(biāo)號說明
[0024]2:刀片切削裝置；6:門型的支承構(gòu)件;8、10:柱;11:被加工物;12:梁部;13:基板；15:密封樹脂；17:芯片；19:凸塊；22:X軸移動機(jī)構(gòu)；32:Z軸移動機(jī)構(gòu)；34:刀片切削單元；44:刀片輪；46:刀片工具；48:切刃；50:支承部件；52:切削液供給噴嘴；53:切削液；56:卡盤工作臺；56a:中央吸引保持部；56b:中間吸引保持部；56c:外周吸引保持部。
【具體實(shí)施方式】
[0025]以下，參照附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施方式。參照圖1，示出了本發(fā)明實(shí)施方式的刀片切削裝置2的立體圖。4是刀片切削裝置2的基座，在基座4的后方配設(shè)有門型的支承構(gòu)件6。
[0026]門型的支承構(gòu)件6由第1柱8、第2柱10和梁部12構(gòu)成，所述第1柱8豎立設(shè)置于基座4的一側(cè)方，所述第2柱10以與第1柱8平行的方式豎立設(shè)置于基座4的另一側(cè)方，所述梁部12連結(jié)第1柱8和第2柱10，在第1柱8、第2柱10與梁部12之間劃分出允許后面說明的卡盤工作臺通過的開口。
[0027]在梁部12的前表面上固定有一對導(dǎo)軌14，X軸移動塊16被該導(dǎo)軌14引導(dǎo)而以能夠在X軸方向上移動的方式進(jìn)行搭載。在X軸移動塊16中內(nèi)設(shè)有螺母，X軸移動塊16借助X軸移動機(jī)構(gòu)22被導(dǎo)軌14引導(dǎo)而在X軸方向上移動，所述X軸移動機(jī)構(gòu)22由與該螺母螺合的在X軸方向上延伸的滾珠絲杠18以及與滾珠絲杠18的一端連結(jié)的脈沖電機(jī)20構(gòu)成。
[0028]在X軸移動塊16上固定有在Z軸方向(上下方向)上延伸的一對導(dǎo)軌24。26是Z軸移動塊，Z軸移動塊26借助Z軸移動機(jī)構(gòu)32被導(dǎo)軌24引導(dǎo)而在Z軸方向上移動，所述Z軸移動機(jī)構(gòu)32由螺母、滾珠絲杠28和脈沖電機(jī)30構(gòu)成，所述螺母內(nèi)設(shè)于所述Z軸移動塊26，所述滾珠絲杠28與該螺母螺合且在Z軸方向上延伸，所述