一種密封對(duì)接裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種集成電路裝備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種密封對(duì)接裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造過程中，芯片的形成往往需要幾十道工序才能最終完成。一般情況下，不同的工序需要不同的設(shè)備來進(jìn)行加工，因此，一塊芯片的形成需要很多不同的設(shè)備來完成。在硅片上進(jìn)行多道工藝最終形成需要的芯片，而硅片對(duì)外部環(huán)境要求非常高，特別是硅片在不同的設(shè)備之間進(jìn)行交換的時(shí)候，硅片往往暴露在設(shè)備環(huán)境之外，因此，要求不同設(shè)備之間的交換空間的環(huán)境必須保持良好，其中環(huán)境參數(shù)包括有溫度、壓力，空氣潔凈度等。
[0003]在芯片的加工過程中，芯片表面圖案的形成是加工的核心，也是對(duì)環(huán)境要求最高的。芯片表面圖案的形成通過光刻機(jī)進(jìn)行刻蝕。硅片在刻蝕之前需要用涂膠顯影機(jī)進(jìn)行涂膠，當(dāng)硅片涂膠完成之后，需要把涂好膠的硅片傳輸?shù)焦饪虣C(jī)內(nèi)進(jìn)行圖案的刻蝕，當(dāng)圖案刻蝕完成之后還需要把硅片從光刻機(jī)傳送到涂膠顯影機(jī)內(nèi)進(jìn)行顯影處理。硅片在涂膠顯影機(jī)和光刻機(jī)之間進(jìn)行傳送的過程中需要防止環(huán)境對(duì)硅片的污染。
[0004]當(dāng)光刻機(jī)和涂膠顯影設(shè)備的體積都很龐大時(shí)，例如193nm Scanner光刻機(jī)和90nm工藝節(jié)點(diǎn)涂膠顯影設(shè)備(TRACK)。針對(duì)不同的工藝要求，兩個(gè)設(shè)備的要求也是不一樣的，因此，這兩個(gè)設(shè)備是分離開的，如圖1為大型涂膠顯影設(shè)備2、大型掃描光刻機(jī)1和密封對(duì)接裝置3的位置示意圖，其中S為兩個(gè)大型設(shè)備之間的距離。在相互分離的設(shè)備之間進(jìn)行硅片傳送，同時(shí)需要防止環(huán)境對(duì)硅片的污染。因此，如何完成兩個(gè)大型設(shè)備的密封對(duì)接以保證硅片與外界環(huán)境隔離成為關(guān)鍵的問題。此外，由于兩大型設(shè)備在安裝的過程中可能出現(xiàn)安裝誤差，因此，在兩大型設(shè)備實(shí)現(xiàn)對(duì)接的過程中，如何補(bǔ)償安裝誤差成為亟待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本發(fā)明提供滿足密封對(duì)接的裝置，在相互分離的設(shè)備之間進(jìn)行密封對(duì)接和物料傳送。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明公開一種密封對(duì)接裝置，用于第一裝置和第二裝置的密封對(duì)接，其特征在于，包括設(shè)在安裝支架上的旋轉(zhuǎn)把手、兩組曲柄滑塊串聯(lián)組件、鋼絲繩、密封腔圍板和彈性部件，每組曲柄滑塊串聯(lián)組件包括第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)，兩組曲柄滑塊串聯(lián)組件通過旋轉(zhuǎn)把手相連，旋轉(zhuǎn)把手和兩組曲柄滑塊串聯(lián)組件位于安裝支架一側(cè)，密封腔圍板位于安裝支架內(nèi)部，鋼絲繩一端固定在第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)上，另一端與彈性部件連接，通過旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)把手使得第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)從而改變鋼絲繩對(duì)彈性部件的拉力，從而控制密封腔圍板從安裝支架另一側(cè)伸出或收回，使得密封腔圍板兩側(cè)的第一裝置和第二裝置通過密封腔圍板密封對(duì)接。
[0007]更進(jìn)一步地，第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)包括曲柄、連桿、第一滑塊和滑槽，第一滑塊位于滑槽內(nèi)，曲柄通過連桿與滑槽連接，通過旋轉(zhuǎn)把手旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)曲柄上下運(yùn)動(dòng)，曲柄通過連桿帶動(dòng)滑槽相對(duì)第一滑塊上下運(yùn)動(dòng)，從而改變鋼絲繩對(duì)彈性部件的拉力。
[0008]更進(jìn)一步地，密封腔圍板上還安裝一氣囊，氣囊圍繞密封腔圍板的端部設(shè)置。
[0009]更進(jìn)一步地，鋼絲繩一端穿過第一滑塊并通過鋼絲繩端部固定件固定在滑槽下端。
[0010]更進(jìn)一步地，安裝支架還設(shè)有密封門和交接片窗口，每組曲柄滑塊串聯(lián)組件由所述第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)和第二曲柄滑塊機(jī)構(gòu)串聯(lián)而成，密封門與第二曲柄滑塊機(jī)構(gòu)連接，所述旋轉(zhuǎn)把手繼續(xù)旋轉(zhuǎn)使得第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)帶動(dòng)第二曲柄滑塊機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)密封門相對(duì)交接片窗口上下運(yùn)動(dòng)，使得第一裝置和第二裝置通過交接片窗口進(jìn)行物料的交接。
[0011]更進(jìn)一步地，第二曲柄滑塊機(jī)構(gòu)包括滑軌、第二滑塊和密封門連接件，第二滑塊位于滑軌內(nèi)，密封門通過密封門連接件與第二滑塊連接，所述第二滑塊與滑槽連接，旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)把手使得滑槽可帶動(dòng)第二滑塊在滑軌內(nèi)運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)所述密封門相對(duì)交接片窗口上下運(yùn)動(dòng)。
[0012]更進(jìn)一步地，交接片窗口數(shù)量為兩個(gè)，分別用于上片和下片。
[0013]更進(jìn)一步地，對(duì)接裝置還包括上片臺(tái)和下片臺(tái)。
[0014]更進(jìn)一步地，所述鋼絲繩為兩條，所述彈性部件為分別位于所述密封腔圍板四角的四個(gè)彈片，每條鋼絲繩控制兩個(gè)彈片。
[0015]更進(jìn)一步地，第一裝置與第二裝置分別為光刻設(shè)備和涂膠顯影設(shè)備。
[0016]本發(fā)明還公開了一種采用上述的密封對(duì)接裝置的密封對(duì)接方法，其特征在于，包括以下步驟:
步驟一:將密封對(duì)接裝置通過接口與第一裝置或者第二裝置固定；
步驟二:通過旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)把手，帶動(dòng)第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)向上運(yùn)動(dòng)，減小鋼絲繩對(duì)彈性部件的拉力，從而使得密封腔圍板從安裝支架另一側(cè)伸出，第一裝置與第二裝置通過密封腔圍板密封對(duì)接；
步驟三；繼續(xù)旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)把手，通過第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)帶動(dòng)第二曲柄滑塊機(jī)構(gòu)向上運(yùn)動(dòng)，第二曲柄滑塊機(jī)構(gòu)帶動(dòng)密封門向上運(yùn)動(dòng)，直至密封門完全不覆蓋交接片窗口 ；
步驟四:第一裝置和第二裝置通過交接片窗口進(jìn)行物料的交接；
步驟五:反向旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)把手，通過第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)帶動(dòng)第二曲柄滑塊機(jī)構(gòu)向下運(yùn)動(dòng)，第二曲柄滑塊機(jī)構(gòu)帶動(dòng)密封門向下運(yùn)動(dòng)直至密封門完全覆蓋交接片窗口 ；
步驟六:繼續(xù)反向旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)把手，帶動(dòng)第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)向下運(yùn)動(dòng)，增大鋼絲繩對(duì)彈性部件的拉力，從而使得密封腔圍板從安裝支架另一側(cè)收回。
[0017]更進(jìn)一步地，第一裝置與第二裝置分別為光刻設(shè)備和涂膠顯影設(shè)備。
[0018]更進(jìn)一步地，交接片窗口數(shù)量為兩個(gè)并分別用于上片和下片，密封對(duì)接裝置還包括上片臺(tái)和下片臺(tái)，步驟四具體為光刻設(shè)備的機(jī)械手伸入交接窗口將上片臺(tái)上的已涂膠顯影的基底取走，再將待涂膠顯影的基底放在下片臺(tái)上。
[0019]與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明所提供的對(duì)接裝置在離線狀態(tài)和對(duì)接過程中，能夠在實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)自身密封的同時(shí)，采用機(jī)械方式實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)和涂膠顯影設(shè)備密封對(duì)接，而且光刻機(jī)自身密封和密封對(duì)接的兩種機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)串聯(lián)，既結(jié)構(gòu)簡單又簡化流程，避免了設(shè)備大型化帶來的對(duì)接不便的問題，同時(shí)通過密封腔圍板和密封門實(shí)現(xiàn)密封條件下對(duì)接，能極大地減少雜質(zhì)等污染的引入，確保了各項(xiàng)精度指標(biāo)。
【附圖說明】
[0020]關(guān)于本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與精神可以通過以下的發(fā)明詳述及所附圖式得到進(jìn)一步的了解。
[0021]圖1是本發(fā)明所涉及的對(duì)接裝置的位置示意圖；
圖2是本發(fā)明所涉及的對(duì)接裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3是本發(fā)明所涉及的對(duì)接裝置的密封對(duì)接前機(jī)構(gòu)狀態(tài)示意圖；
圖4是圖3的局部放大圖；
圖5是本發(fā)明所涉及的對(duì)接裝置的密封對(duì)接前密封腔處于收縮狀態(tài)示意圖；
圖6是本發(fā)明所涉及的對(duì)接裝置的密封對(duì)接時(shí)密封腔處于伸開狀態(tài)示意圖；
圖7是本發(fā)明所涉及的對(duì)接裝置的密封對(duì)接后密封門處于最低位的示意圖；
圖8是本發(fā)明所涉及的對(duì)接裝置的密封對(duì)接后密封門處于上升過程示意圖；
圖9是本發(fā)明所涉及的對(duì)接裝置的密封對(duì)接后密封門處于最高位的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的一種具體實(shí)施例的光刻機(jī)和涂膠顯影設(shè)備的對(duì)接裝置。然而，應(yīng)當(dāng)將本發(fā)明理解成并不局限于以下描述的這種實(shí)施方式，并且本發(fā)明的技術(shù)理念可以與其他公知技術(shù)或功能與那些公知技術(shù)相同的其他技術(shù)組合實(shí)施。
[0023]在以下描述中，為了清楚展示本發(fā)明的結(jié)構(gòu)及工作方式，將借助諸多方向性詞語進(jìn)行描述，但是應(yīng)當(dāng)將“前”、“后”、“左”、“右”、“外”、“內(nèi)”、“向外”、“向內(nèi)”、“上”、“下”等詞語理解為方便用語，而不應(yīng)當(dāng)理解為限定性詞語。此外，在以下描述中所使用的“X向”一詞主要指與水平向平行的方向；“Y向”一詞主要指與水平向平行，且與X向垂直的方向'“τ向”一詞主要指與水平向垂直，且與χ、γ向均垂直的方向。
[0024]如圖1至圖9所示，本發(fā)明保護(hù)一種密封對(duì)接裝置3，用于第一裝置1和第二裝置2的密封對(duì)接，包括設(shè)在安裝支架47上的旋轉(zhuǎn)把手11、兩組曲柄滑塊串聯(lián)組件、鋼絲繩15、密封腔圍板44和彈性部件45，每組曲柄滑塊串聯(lián)組件包括第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)，兩組曲柄滑塊串聯(lián)組件通過旋轉(zhuǎn)把手相連，旋轉(zhuǎn)把手和兩組曲柄滑塊串聯(lián)組件位于安裝支架一側(cè)，密封腔圍板位于安裝支架內(nèi)部，鋼絲繩一端固定在第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)上，另一端與彈性部件連接，通過旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)把手使得第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)從而改變鋼絲繩對(duì)彈性部件的拉力，從而控制密封腔圍板從安裝支架另一側(cè)的伸出或收回，使得密封腔圍板兩側(cè)的第一裝置和第二裝置通過密封腔圍板密封對(duì)接。
[0025]可選地，第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)包括曲柄12、連桿13、第一滑塊16和滑槽18，第一滑塊位于滑槽內(nèi)，曲柄通過連桿與滑槽連接，通過旋轉(zhuǎn)把手旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)曲柄上下運(yùn)動(dòng)，曲柄通過連桿帶動(dòng)滑槽相對(duì)第一滑塊上下運(yùn)動(dòng)，從而改變鋼絲繩對(duì)彈性部件的拉力。
[0026]可選地，鋼絲繩一端穿過第一滑塊并通過鋼絲繩端部固定件固定在滑槽下端。
[0027]可選地，密封腔圍板上還安裝一氣囊41，氣囊圍繞密封腔圍板的端部設(shè)置。
[0028]可選地，安裝支架還設(shè)有密封門14和交接片窗口 50，每組曲柄滑塊串聯(lián)組件由所述第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)和第二曲柄滑塊機(jī)構(gòu)串聯(lián)而成，密封門與第二曲柄滑塊機(jī)構(gòu)連接，所述旋轉(zhuǎn)把手繼續(xù)旋轉(zhuǎn)使得第一曲柄滑塊機(jī)構(gòu)帶動(dòng)第二曲柄滑塊機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)密封門相對(duì)交接片窗口上下運(yùn)動(dòng)，使得第一裝置和第二裝置通過交接片窗口進(jìn)行物料的交接。
[0029]可選地，第二曲柄滑塊機(jī)構(gòu)包括滑軌17、第二滑塊(圖未示出)和密封門連接件(圖未示出)，第二滑塊位于滑軌內(nèi)，密封門通過密封門連接件與第二滑塊連接，所述第二滑塊與滑槽連接，旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)把手使得滑槽可帶動(dòng)第二滑塊在滑軌內(nèi)運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)所述密封門相對(duì)交接片窗口上下運(yùn)動(dòng)。
[0030]可選地，交接片窗口數(shù)量為兩個(gè)，分別用于上片和下片。
[0031]可選地，密封對(duì)接裝置還包括上片臺(tái)21和下片臺(tái)22，分別與兩個(gè)交接片窗口對(duì)應(yīng)。
[0032]可選地，所述鋼絲繩為兩條，所述彈性部件為分別位于所述密封腔圍板四角的四個(gè)彈片，每條鋼絲繩控制兩個(gè)彈片。
[0033]可選地，第一裝置與第二裝置分別為光刻設(shè)備和涂膠顯影設(shè)備。
[0034]可選地，該物料為基底、基板、硅片或掩模等。
[0035]具體地，本發(fā)明所提供的密封對(duì)接裝置如圖2至圖9中所示，該密封對(duì)接裝置主要包括旋