粘合帶剝離方法和粘合帶剝離裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于將粘貼在半導(dǎo)體晶圓(以下，適當(dāng)稱作“晶圓”)的電路形成面上的保護(hù)帶或雙面粘合帶等粘合帶剝離的粘合帶剝離方法和粘合帶剝離裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在完成了圖案形成處理的晶圓的表面上粘貼了保護(hù)帶后，對(duì)已粘貼有保護(hù)帶的晶圓的整個(gè)背面均勻地實(shí)施背磨處理。在將已粘貼有保護(hù)帶的晶圓輸送到進(jìn)行分離處理以將晶圓細(xì)分?jǐn)喑尚酒那懈罟ば蛑?，從表面將保護(hù)帶剝離。
[0003]作為從晶圓表面剝離保護(hù)帶的方法，例如，以如下方式實(shí)施。將晶圓的粘貼有保護(hù)帶的表面朝上而將晶圓吸附保持于保持臺(tái)。一邊使粘貼輥滾動(dòng)一邊將剝離用的粘合帶粘貼于保護(hù)帶上。之后，利用頂端細(xì)的板狀的帶緣構(gòu)件將粘合帶翻轉(zhuǎn)剝離，從而將粘接于粘合帶的保護(hù)帶與粘合帶一體地從晶圓表面剝離(參照日本國(guó)特開2002 - 124494號(hào)公報(bào))。

【發(fā)明內(nèi)容】

_4] 發(fā)明要解決的問題
[0005]然而，在所述以往方法中產(chǎn)生了如下那樣的問題。
[0006]近年來(lái)，為了能夠?qū)崿F(xiàn)伴隨著應(yīng)用而快速進(jìn)步的高密度安裝，要求晶圓的薄型化。另外，存在晶圓薄型化的同時(shí)晶圓的尺寸變大的傾向。伴隨著所述薄型化和大型化，晶圓的剛性降低，因此，容易產(chǎn)生晶圓的裂紋。
[0007]在產(chǎn)生了裂紋的情況下，能夠通過在保持臺(tái)上形成的多個(gè)吸附孔的吸引力的變化來(lái)檢測(cè)裂紋。然而，只有在產(chǎn)生了裂紋的部位和吸附孔相重疊的情況下才能檢測(cè)出吸引力的變化。即，不能在晶圓的整個(gè)面上檢測(cè)裂紋的產(chǎn)生。
[0008]因而，當(dāng)在繼續(xù)對(duì)產(chǎn)生了裂紋的狀態(tài)下的晶圓進(jìn)行處理時(shí)，產(chǎn)生了如下問題:碎片被卷入到裝置內(nèi)而使裝置不必要地停止、或者污染作為接下來(lái)的處理對(duì)象的晶圓。
[0009]本發(fā)明是鑒于這樣的情況而做出的，其主要目的在于，提供能夠精度良好地檢測(cè)出在背面磨削后的半導(dǎo)體晶圓上產(chǎn)生的裂紋等的粘合帶剝離方法和粘合帶剝離裝置。
_0] 用于解決問題的方案
[0011 ] 為了實(shí)現(xiàn)這樣的目的，本發(fā)明采用如下結(jié)構(gòu)。
[0012]S卩，一種粘合帶剝離方法，其用于將粘貼于半導(dǎo)體晶圓的粘合帶剝離，其中，所述粘合帶剝離方法包括以下的工序:剝離工序，在該剝離工序中，利用剝離構(gòu)件一邊將剝離帶粘貼于所述粘合帶并折回一邊將該剝離帶剝離，由此以使粘合帶與剝離帶成為一體的方式從半導(dǎo)體晶圓剝離粘合帶；以及檢查工序，在該檢查工序中，使檢測(cè)器在所述剝離工序中在剝離構(gòu)件的后方追隨該剝離構(gòu)件而對(duì)半導(dǎo)體晶圓的裂紋進(jìn)行檢查。
[0013]采用所述方法，在剛將粘合帶自容易產(chǎn)生裂紋的晶圓剝離之后，追隨剝離構(gòu)件的檢測(cè)器立即對(duì)有無(wú)裂紋進(jìn)行檢測(cè)。因而，能夠事先防止產(chǎn)生了裂紋的晶圓被輸送至下一工序。另外，在檢測(cè)出裂紋的情況下，能夠?qū)⒕A的碎片迅速地去除或?qū)α鸭y進(jìn)行處理。因而，能夠避免將保持臺(tái)、作為接下來(lái)的處理對(duì)象的晶圓污染。此外，在本發(fā)明中，“裂紋”指的是，具有“裂縫”和“缺口 ”的異常部位。
[0014]此外，在所述方法中，也可以是，利用環(huán)狀的保持臺(tái)來(lái)保持半導(dǎo)體晶圓的外周，一邊向該保持臺(tái)的中空內(nèi)部供給氣體而進(jìn)行加壓一邊將所述剝離帶粘貼于粘合帶并剝離。
[0015]采用該方法，隨著加壓，薄型化的晶圓以略微朝上的彎曲形狀鼓出，因此，裂紋部分略微敞開而使氣體易于流出。因而，能夠更精度良好地判斷晶圓的裂紋部分。
[0016]另外，為了實(shí)現(xiàn)這樣的目的，本發(fā)明采用如下結(jié)構(gòu)。
[0017]S卩，一種粘合帶剝離裝置，其用于將粘貼于半導(dǎo)體晶圓的粘合帶剝離，其中，所述粘合帶剝離裝置具有以下的構(gòu)件:保持臺(tái)，其用于保持所述半導(dǎo)體晶圓；剝離帶供給機(jī)構(gòu)，其用于朝向所述半導(dǎo)體晶圓供給帶狀的剝離帶；剝離機(jī)構(gòu)，其利用剝離構(gòu)件將剝離帶粘貼于所述保持臺(tái)上的半導(dǎo)體晶圓，之后，通過利用該剝離構(gòu)件使剝離帶折回并剝離，由此，以使粘合帶與剝離帶成為一體的方式從半導(dǎo)體晶圓剝離粘合帶；水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述保持臺(tái)和所述剝離構(gòu)件相交叉地相對(duì)地水平移動(dòng)；檢測(cè)器，其在所述剝離構(gòu)件的后方追隨所述剝離構(gòu)件而對(duì)半導(dǎo)體晶圓的裂紋進(jìn)行檢測(cè)；以及帶回收機(jī)構(gòu)，其用于將與所述粘合帶一體化了的剝離帶卷取并回收。
[0018]采用該結(jié)構(gòu)，能夠利用在將粘合帶自晶圓表面剝離的工序中在剝離構(gòu)件的后方追隨剝離構(gòu)件的檢測(cè)器來(lái)對(duì)晶圓的裂紋進(jìn)行檢測(cè)。即能夠適當(dāng)?shù)貙?shí)施所述方法。
[0019]此外，在該結(jié)構(gòu)中，也可以構(gòu)成為，所述保持臺(tái)為對(duì)半導(dǎo)體晶圓的外周進(jìn)行保持的環(huán)狀，該粘合帶剝離裝置包括:加壓器，其用于在將半導(dǎo)體晶圓保持于所述保持臺(tái)的狀態(tài)下對(duì)該保持臺(tái)的內(nèi)部空間供給氣體而進(jìn)行加壓；以及控制部，其用于對(duì)所述保持臺(tái)的中空內(nèi)部的壓力進(jìn)行調(diào)整。
[0020]采用該結(jié)構(gòu)，由于保持臺(tái)內(nèi)被加壓，因此，晶圓以略微朝上的彎曲形狀鼓出。S卩，氣體自晶圓的裂紋部分逸出而使晶圓的裂紋部分略微敞開，能夠更精度良好地判斷該裂紋部分。
[0021]發(fā)明的效果
[0022]采用本發(fā)明的粘合帶剝離方法和粘合帶剝離裝置，能夠精度良好地檢測(cè)出在背面磨削后的半導(dǎo)體晶圓上產(chǎn)生的裂紋。
【附圖說明】
[0023]圖1是保護(hù)帶剝離裝置的主視圖。
[0024]圖2是表示保護(hù)帶剝離裝置的主要部分的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0025]圖3是檢測(cè)器的主視圖。
[0026]圖4是表示保護(hù)帶的剝離動(dòng)作的圖。
[0027]圖5是表示保護(hù)帶的剝離動(dòng)作的圖。
[0028]圖6是表示保護(hù)帶的剝離動(dòng)作的圖。
[0029]圖7是表示保護(hù)帶的剝離動(dòng)作的圖。
[0030]圖8是在變形例裝置中使用的半導(dǎo)體晶圓的局部剖立體圖。
[0031]圖9是在變形例裝置中使用的半導(dǎo)體晶圓的背面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。
[0032]圖10是在變形例裝置中使用的半導(dǎo)體晶圓的局部縱剖視圖。
[0033]圖11是變形例裝置的保持臺(tái)的縱剖視圖。
[0034]圖12是表示變形例裝置進(jìn)行的保護(hù)帶的剝離動(dòng)作的圖。
[0035]圖13是表示變形例裝置進(jìn)行的保護(hù)帶的剝離動(dòng)作的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0036]以下，參照【附圖說明】本發(fā)明的一實(shí)施例。此外，對(duì)于實(shí)施例裝置，詳細(xì)敘述將粘貼于整個(gè)背面被均勻地磨削而平坦的半導(dǎo)體晶圓(以下，適當(dāng)稱作“晶圓”)的表面的保護(hù)帶剝離的情況。此外，本發(fā)明的粘合帶包含保護(hù)帶。
[0037]圖1涉及本發(fā)明的一實(shí)施例，其是表示保護(hù)帶剝離裝置的整體結(jié)構(gòu)的主視圖，圖2是表示保護(hù)帶剝離裝置的主要部分的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。此外，本實(shí)施例的保護(hù)帶剝離裝置相當(dāng)于粘合帶剝離裝置。
[0038]如圖1所示，保護(hù)帶剝離裝置由保持臺(tái)1、帶供給部2、剝離機(jī)構(gòu)3以及帶回收部4構(gòu)成。
[0039]如圖2所示，保持臺(tái)1是在表面上具有多個(gè)吸附孔5的金屬制的卡盤臺(tái)。此外，保持臺(tái)5并不限定由金屬制成，也可以由多孔質(zhì)形成。
[0040]另外，保持臺(tái)1支承于可動(dòng)臺(tái)15，該可動(dòng)臺(tái)15以能夠沿著前后水平地配置的左右一對(duì)軌道6前后滑動(dòng)的方式支承于該左右一對(duì)軌道6。絲杠9對(duì)可動(dòng)臺(tái)7進(jìn)行絲杠進(jìn)給驅(qū)動(dòng)，由脈沖馬達(dá)8對(duì)該絲杠9進(jìn)行正反驅(qū)動(dòng)。<