20°C對(duì)該娃片進(jìn)行第二時(shí)長(zhǎng)IOs的加熱處理， 然后快速拾取娃片。
[0067] 該步驟中，在熱板加熱過(guò)程中，可W在熱板周圍放置阻燃板材，避免熱板周圍空氣 流動(dòng)，防止對(duì)溫度造成波動(dòng)。
[0068] 上述第一種實(shí)現(xiàn)方式的退火過(guò)程完成后收取娃片待測(cè)試。
[0069] 為了測(cè)試上述列舉的第一種實(shí)現(xiàn)方式中的高溫快速退火方法所能達(dá)到的效果，對(duì) 同一批娃片采用現(xiàn)有的退火方法進(jìn)行了第一對(duì)比試驗(yàn)。第一對(duì)比實(shí)驗(yàn)中，現(xiàn)有的退火方法 的具體步驟如下：
[0070] 步驟一、進(jìn)行低溫固化處理，具體的，將已完成絲網(wǎng)電極印刷的娃片放入第一段鏈 式烘干爐中，通過(guò)紅外加熱的方式，采用溫度120°c至150°C對(duì)該娃片進(jìn)行時(shí)長(zhǎng)3min至5min 的加熱處理，W去除易揮發(fā)有機(jī)物，固化漿料。
[0071] 步驟二、進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)處理，具體的，將娃片放置于第二段鏈?zhǔn)胶娓蔂t中，通過(guò)紅 外加熱的方式，采用溫度190°c至200°C對(duì)該娃片進(jìn)行時(shí)長(zhǎng)為IOmin至20min的加熱處理。
[0072] 第一對(duì)比實(shí)驗(yàn)中，現(xiàn)有的退火過(guò)程完成后收取娃片待測(cè)試。
[0073] 分別對(duì)采用上述列舉的第一種實(shí)現(xiàn)方式中的高溫快速退火方法和第一對(duì)比實(shí)驗(yàn) 中現(xiàn)有的退火方法得到的娃片進(jìn)行了測(cè)試，測(cè)試得到的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)見(jiàn)表1所示的對(duì)比實(shí)驗(yàn)的 實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
[0074] 表1對(duì)比實(shí)驗(yàn)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果 陽(yáng)0巧]
[0076] 從W上表1所示的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)中可W看出，對(duì)娃片采用現(xiàn)有的退火方法，得到的EFF 為 21. 2%，Voc 為 724mV，短路電流（Sho;rt circuit current density, Jsc)為 38. 6mA/cm2， FF為75. 8 ;而對(duì)娃片采用上述列舉的第一種實(shí)現(xiàn)方式中的高溫快速退火方法，得到的EFF 為21. 5%，Voc為725mV，Jsc為38. 5mA/cm2, FF為77. 0。經(jīng)過(guò)對(duì)比分析可知，與采用現(xiàn)有 的退火方法相比，采用上述列舉的第一種實(shí)現(xiàn)方式中的高溫快速退火方法時(shí)，Voc與Jsc基 本不變，F(xiàn)F得到了顯著提升，因此，在保證Voc與Jsc較高的同時(shí)，F(xiàn)F也得到了提升，從而使 得娃異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池的EFF得到了提升。
[0077] 在第二種實(shí)現(xiàn)方式中，在進(jìn)行上述高溫快速熱處理后，還可W進(jìn)行低溫處理，W消 除娃片因快速加熱導(dǎo)致的內(nèi)應(yīng)力，具體的步驟如下：
[0078] 步驟一、進(jìn)行低溫固化處理，具體的，將已完成絲網(wǎng)電極印刷的娃片放入第一段鏈 式烘干爐中，通過(guò)紅外加熱的方式，采用第一溫度120°C至15(TC對(duì)該娃片進(jìn)行第一時(shí)長(zhǎng) 5min的加熱處理，W去除易揮發(fā)的有機(jī)溶劑，固化漿料。
[0079] 步驟二、進(jìn)行高溫快速熱處理，具體的，采用綴子或者機(jī)械手將低溫固化處理后的 娃片放置于熱板上，采用第二溫度300°C至320°C對(duì)該娃片進(jìn)行第二時(shí)長(zhǎng)IOs的加熱處理， 然后快速拾取娃片。
[0080] 步驟=、進(jìn)行低溫處理，具體的，將高溫快速熱處理后的娃片放入第二段鏈?zhǔn)胶娓?爐中，通過(guò)紅外加熱的方式，采用第=溫度130°c至160°C對(duì)娃片進(jìn)行第=時(shí)長(zhǎng)30min的加 熱處理。
[0081] 上述第二種實(shí)現(xiàn)方式的退火過(guò)程完成后收取娃片待測(cè)試。
[0082] 為了測(cè)試上述列舉的第二種實(shí)現(xiàn)方式中的高溫快速退火方法所能達(dá)到的效果，對(duì) 同一批娃片采用現(xiàn)有的退火方法進(jìn)行了第二對(duì)比試驗(yàn)。第二對(duì)比實(shí)驗(yàn)中，現(xiàn)有的退火方法 具體步驟如下：
[0083] 步驟一、進(jìn)行低溫固化處理，具體的，將已完成絲網(wǎng)電極印刷的娃片放入第一段鏈 式烘干爐中，通過(guò)紅外加熱的方式，采用溫度120°C至150°C對(duì)該娃片進(jìn)行時(shí)長(zhǎng)3min至5min 的加熱處理，W去除易揮發(fā)有機(jī)物，固化漿料。
[0084] 步驟二、進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)處理，具體的，將低溫固化處理后的娃片放置于第二段鏈?zhǔn)?烘干爐中，通過(guò)紅外加熱的方式，采用溫度190°C至200°C對(duì)該娃片進(jìn)行時(shí)長(zhǎng)為IOmin至 20min的加熱處理。
[00化]第二對(duì)比實(shí)驗(yàn)中，現(xiàn)有的退火過(guò)程完成后收取娃片待測(cè)試。
[0086] 分別對(duì)采用上述列舉的第二種實(shí)現(xiàn)方式中的高溫快速退火方法和第二對(duì)比實(shí)驗(yàn) 中現(xiàn)有的退火方法得到的娃片進(jìn)行了測(cè)試，測(cè)試得到的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)見(jiàn)表2所示的對(duì)比實(shí)驗(yàn)的 實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
[0087] 表2對(duì)比實(shí)驗(yàn)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果
[0089] 從W上表2所示的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)中可W看出，對(duì)娃片采用現(xiàn)有的退火方法，得到的EFF 為21. 3%，Voc為724mV，Jsc為38. 6mA/cm2, FF為76. 2 ;而對(duì)娃片采用上述列舉的第二種 實(shí)現(xiàn)方式中的高溫快速退火方法，得到的EFF為21. 6%，Voc為723mV，Jsc為38. 4mA/cm2， FF為77. 7。經(jīng)過(guò)對(duì)比分析可知，與采用現(xiàn)有的退火方法相比，采用上述列舉的第二種實(shí)現(xiàn) 方式中的高溫快速退火方法時(shí)，Voc與Jsc基本不變，F(xiàn)F得到了顯著提升，因此，在保證Voc 與Jsc較高的同時(shí)，F(xiàn)F也得到了提升，從而使得娃異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池的EFF得到了提升。
[0090] 在第=種實(shí)現(xiàn)方式中，采用高溫快速退火方法的具體步驟如下：
[0091] 步驟一、進(jìn)行低溫固化處理，具體的，將已完成絲網(wǎng)電極印刷的娃片放入第一段鏈 式烘干爐中，通過(guò)電阻絲加熱的方式，采用第一溫度120°c至150°C對(duì)該娃片進(jìn)行第一時(shí)長(zhǎng) 5min的加熱處理，W去除易揮發(fā)有機(jī)物，固化漿料。
[0092] 步驟二、進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)處理，具體的，將低溫固化處理后的娃片放置于第二段鏈?zhǔn)?烘干爐中，通過(guò)電阻絲加熱的方式，采用第四溫度190°C至200°C對(duì)該娃片進(jìn)行第四時(shí)長(zhǎng) 2min至5min的加熱處理。
[0093] 步驟=、進(jìn)行高溫快速熱處理，具體的，采用綴子或者機(jī)械手將高溫?zé)Y(jié)處理后的 娃片放置于熱板上，采用第二溫度300°C至320°C對(duì)該娃片進(jìn)行第二時(shí)長(zhǎng)IOs的加熱處理， 然后快速拾取娃片。
[0094] 該步驟中，在熱板加熱過(guò)程中，可W在熱板周圍放置阻燃板材，避免熱板周圍空氣 流動(dòng)，防止對(duì)溫度造成波動(dòng)。
[00巧]上述第=種實(shí)現(xiàn)方式的退火過(guò)程完成后收取娃片待測(cè)試。
[0096] 為了測(cè)試上述列舉的第=種實(shí)現(xiàn)方式中的高溫快速退火方法所能達(dá)到的效果，對(duì) 同一批娃片采用現(xiàn)有的退火方法進(jìn)行了第=對(duì)比試驗(yàn)。第=對(duì)比實(shí)驗(yàn)中，現(xiàn)有的退火方法 具體步驟如下：
[0097] 步驟一、進(jìn)行低溫固化處理，具體的，將已完成絲網(wǎng)電極印刷的娃片放入第一段鏈 式烘干爐中，通過(guò)電阻絲加熱的方式，采用溫度120°C至150°C對(duì)該娃片進(jìn)行時(shí)長(zhǎng)3min至 5min的加熱處理，W去除易揮發(fā)有機(jī)物，固化漿料。
[009引步驟二、進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)處理，具體的，將低溫固化處理后的娃片放置于第二段鏈?zhǔn)?烘干爐中，通過(guò)電阻絲加熱的方式，采用溫度190°C至200°C對(duì)該娃片進(jìn)行時(shí)長(zhǎng)為IOmin至 20min的加熱處理。
[0099] 第=對(duì)比實(shí)驗(yàn)中，現(xiàn)有的退火過(guò)程完成后收取娃片待測(cè)試。
[0100] 分別對(duì)采用上述列舉的第S種實(shí)現(xiàn)方式中的高溫快速退火方法和第S對(duì)比實(shí)驗(yàn) 中現(xiàn)有的退火方法得到的娃片進(jìn)行了測(cè)試，測(cè)試得到的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)見(jiàn)表3所示的對(duì)比實(shí)驗(yàn)的 實(shí)驗(yàn)結(jié)果。 陽(yáng)101] 表3對(duì)比實(shí)驗(yàn)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果
[0103] 從