基板處理裝置、基板處理方法、以及基板處理系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對基板進行處理的基板處理裝置、基板處理方法、以及基板處理系統(tǒng)。作為成為處理對象的基板，包括例如半導體晶片、液晶顯示裝置用基板、等離子體顯示器用基板、FED(Field Emiss1n Display:場發(fā)射顯示器)用基板、光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太陽電池用基板等。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導體裝置和液晶顯不裝置等制造工序中，對半導體晶片和液晶顯不裝置用玻璃基板等的基板進行包含清洗處理、熱處理、成膜處理、蝕刻處理、抗蝕劑涂敷處理、曝光處理、以及顯影處理中的2個以上的多個工序。
[0003]在專利文獻1中公開了進行成膜處理的成膜處理裝置、對由成膜處理裝置成膜處理后的基板進行清洗的清洗裝置、在成膜處理裝置和清洗裝置之間進行基板的交接的中間交接部、將容納多張基板的基板搬送用盒向成膜處理裝置搬送的盒搬送裝置。
[0004]在專利文獻2中公開了一種具有計算機的基板處理裝置，該計算機作成在基板處理裝置內(nèi)對搬送到基板處理裝置的基板容納器內(nèi)的多張基板進行搬送以及處理的計劃。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻1:日本特開平10-321575號公報
[0008]專利文獻2:美國專利申請公開第2013/0073069號說明書

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]發(fā)明所要解決的問題
[0010]如專利文獻1所記載那樣，為了提高基板的品質(zhì)，想要縮短在某個基板處理裝置結(jié)束基板的處理至在其他基板處理裝置開始基板的處理的時間。但是，如專利文獻2所記載那樣，基板處理裝置作成并執(zhí)行在該裝置內(nèi)搬送基板的計劃。因此，在如專利文獻1那樣在3個裝置(成膜裝置、中間交接部以及清洗裝置)之間直接搬送基板的情況下，有可能無法在裝置之間順利地搬送基板，產(chǎn)生搬送時間的損失。
[0011]因此，本發(fā)明的一個目的在于，提供能夠縮短可順利地在多個裝置之間搬送基板的時間的基板處理裝置、基板處理方法、以及基板處理系統(tǒng)。
[0012]用于解決問題的手段
[0013]用于實現(xiàn)上述目的的本發(fā)明的一實施方式提供一種基板處理裝置，對應(yīng)于來自主計算機的任務(wù)生成指示來作成任務(wù)，基于該任務(wù)在規(guī)定的管理區(qū)內(nèi)執(zhí)行基板的搬送及/或處理，
[0014]該基板處理裝置與中間裝置連接，該中間裝置在第一基板處理裝置的外部直接支撐由所述第一基板處理裝置處理過的基板的狀態(tài)下搬送該基板，該第一基板處理裝置是在該基板處理裝置之前的階段處理基板的其他基板處理裝置，
[0015]該基板處理裝置具有:
[0016]直接搬入口，接受從所述中間裝置搬入的基板，
[0017]搬送單元，搬送要經(jīng)由所述直接搬入口向所述基板處理裝置搬入的基板，并在所述管理區(qū)內(nèi)搬送基板，
[0018]多個處理單元，對由所述搬送單元搬入的基板進行處理，
[0019]控制裝置，對所述基板處理裝置進行控制。
[0020]該控制裝置執(zhí)行:
[0021]第一步驟，當從所述主計算機報告要由該基板處理裝置處理的預(yù)定的基板位于所述第一基板處理裝置時，將該基板的在所述第一基板處理裝置的位置信息與該控制裝置能夠識別的虛擬基板位置信息建立對應(yīng)并存儲，
[0022]第二步驟，當從所述主計算機發(fā)出所述基板的任務(wù)生成指示時，使用所述虛擬基板位置信息生成用于將所述基板在該基板處理裝置進行搬送及/或處理的任務(wù)。
[0023]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，基板處理裝置的控制裝置將預(yù)定處理的基板的在第一基板處理裝置的位置信息與該控制裝置能夠識別的虛擬基板位置信息建立對應(yīng)并存儲。為了作成與來自主計算機的任務(wù)生成指示對應(yīng)的任務(wù)，需要預(yù)定處理的基板的位置信息，而在本發(fā)明中，預(yù)定處理的基板到達基板處理裝置之前的階段以虛擬基板位置信息的形式預(yù)先準備預(yù)定處理的基板的位置信息。因此，能夠從在基板實際到達基板處理裝置之前的階段執(zhí)行任務(wù)的作成作業(yè)。由此，能夠在多個基板處理裝置之間順利地搬送基板。
[0024]所述控制裝置還可以執(zhí)行第三步驟，使用在所述第一步驟存儲的虛擬位置信息，在該基板搬入所述基板處理裝置之前作成第二計劃，該第二計劃包括使所述搬送單元將要經(jīng)由所述直接搬入口向所述基板處理裝置搬入的基板從所述基板處理裝置的外部搬送到所述基板處理裝置的內(nèi)部的搬入工序。
[0025]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由第一基板處理裝置處理過的基板經(jīng)由在對基板直接支撐的狀態(tài)下搬送的中間裝置搬入基板處理裝置。并且，搬入基板處理裝置的基板由搬送單元搬送，根據(jù)需要由處理單元處理。控制裝置存儲搬入基板處理裝置之前的基板的位置信息、即在基板處理裝置外的基板的位置信息。并且，控制裝置在基板經(jīng)由直接搬入口從中間裝置向基板處理裝置搬入之前，基于預(yù)先存儲的位置信息，作成經(jīng)由直接搬入口從基板處理裝置外向基板處理裝置中搬送基板的第二計劃。這樣，由于作成包含在基板處理裝置外的基板的搬送工序的第二計劃，所以能夠從基板處理裝置外向基板處理裝置中順利地搬送基板。其結(jié)果，能夠減少搬入第一基板處理裝置的基板經(jīng)由中間裝置搬入基板處理裝置之前產(chǎn)生的時間的損失。由此，能夠縮短從第一基板處理裝置至基板處理裝置的基板的搬送時間。
[0026]所述控制裝置還可以執(zhí)行第四步驟，設(shè)定與檢查單元的檢查結(jié)果相應(yīng)的基板處理條件，該檢查單元在由所述第一基板處理裝置處理過的基板搬入所述基板處理裝置之前檢查該基板。
[0027]所述第三步驟可以包括使用在所述第一步驟存儲的虛擬位置信息在該基板搬入所述基板處理裝置之前作成所述第二計劃的步驟，所述第二計劃包括所述搬入工序、使所述多個處理單元以所述基板處理條件處理在所述搬入工序搬送到所述多個處理單元的基板的處理工序。
[0028]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由第一基板處理裝置處理過的基板的品質(zhì)在該基板搬入基板處理裝置之前被檢查。控制裝置以如下方式作成第二計劃，即，不僅搬送單元從直接搬入口向基板處理裝置的內(nèi)部搬送基板，而且處理單元以與檢查結(jié)果相應(yīng)的基板處理條件處理基板。因此，能夠由處理單兀進彳丁與基板的品質(zhì)相應(yīng)的處理，提尚基板的品質(zhì)。
[0029]所述第四步驟可以包括根據(jù)在所述第一基板處理裝置以及中間裝置中的一方設(shè)置的所述檢查單元的檢查結(jié)果來設(shè)定所述基板處理條件的步驟。
[0030]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，檢查單元設(shè)置在第一基板處理裝置以及中間裝置中的一方，由第一基板處理裝置處理過的基板的品質(zhì)由第一基板處理裝置以及中間裝置中的一方檢查。在檢查單元設(shè)置在除了第一基板處理裝置以及中間裝置以外的裝置、即設(shè)置在基板的搬送路徑外的情況下，需要將基板搬送到第一基板處理裝置以及中間裝置外，產(chǎn)生相應(yīng)的多余的搬送時間。因此，通過在第一基板處理裝置以及中間裝置中的一方設(shè)置檢查單元，能夠縮短從第一基板處理裝置至基板處理裝置的基板的搬送時間。
[0031]所述第三步驟可以包括以要經(jīng)由所述直接搬入口向所述基板處理裝置搬入的基板由所述搬送單元避開所述多個處理單元而從所述基板處理裝置的外部搬送到所述加載口的方式作成所述第二計劃的步驟。
[0032]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，控制裝置以搬送單元經(jīng)由直接搬入口從中間裝置向加載口搬送基板的方式作成第二計劃。因此，經(jīng)由直接搬入口搬入到基板處理裝置的基板未被多個處理單元處理，而搬送到加載口。例如在由第一基板處理裝置處理過的基板不良的情況下，在第二基板處理裝置處理基板就變得浪費。因此，在這種情況下，能夠避開在第二基板處理裝置的基板的處理，能夠提高第二基板處理裝置的運轉(zhuǎn)率。進而，由于相比基板經(jīng)由處理單元的情況，搬送路徑變短，因此能夠縮短基板在第二基板處理裝置內(nèi)的停留時間。因此，例如在從中間裝置向基板處理裝置搬入的基板被污染的情況下，能夠抑制或防止由在基板附著的異物污染基板處理裝置的內(nèi)部。由此，能夠提高其他基板的品質(zhì)。
[0033]所述基板處理裝置還可以包括使基板退避的退避單元。所述第三步驟可以包括以要經(jīng)由所述直接搬入口向所述基板處理裝置搬入的基板由所述搬送單元從所述基板處理裝置的外部搬送到所述退避單元，并從所述退避單元搬送到所述多個加載口的方式作成所述第二計劃的步驟。優(yōu)選退避單元配置在向多個處理單元搬送的基板的搬送路徑(在基板處理裝置內(nèi)的搬送路徑)夕卜。
[0034]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，控制裝置以搬送單元經(jīng)由直接搬入口從中間裝置向退避單元搬送基板，然后，從退避單元向多個加載口搬送該基板的方式作成第二計劃。即，通過直接搬入口搬入基板處理裝置的基板取代經(jīng)由多個處理單元而經(jīng)由使基板退避的退避單元，從中間裝置搬送到多個加載口。如前所述，在由第一基板處理裝置處理過的基板不良的情況下，在第二基板處理裝置處理基板變得浪費。因此，在這種情況下，通過避開在第二基板處理裝置處理基板，能夠提高第二基板處理裝置的運轉(zhuǎn)率。進而，由于基板取代經(jīng)由處理單元而經(jīng)由退避單元，所以控制裝置與由處理單元處理的基板同樣地作成應(yīng)退避的基板的計劃。
[0035]所述基板處理裝置還可以包括分別保持能夠容納多張基板的多個運送器的多個加載口。所述控制裝置還可以執(zhí)行作成第一計劃的第五步驟，該第一計劃包括使所述搬送單元將基板從所述多個加載口搬送到所述多個處理單元的搬入工序、使所述多個處理單元處理搬送到所述多個處理單元的基板的處理工序、使所述搬送單元將由所述多個處理單元處理過的基板從所述多個處理單元搬送到所述多個加載口的搬出工序。
[0036]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，分別保持多個運送器的多個加載口設(shè)置在基板處理裝置?？刂蒲b置以運送器內(nèi)的基板從加載口搬送到處理單元，由處理單元處理過的基板從處理單元搬送到加載口的方式作成第一計劃。這樣，基板處理裝置不僅能夠從直接搬入口接受基板，而且也能夠從加載口接受基板，所以能夠提高基板處理裝置的運轉(zhuǎn)率。
[0037]所述控制裝置還可以執(zhí)行第六步驟，停止執(zhí)行所述第一計劃以及第二計劃中的一個，使所述基板處理裝置執(zhí)行所述第一計劃以及第二計劃中的另一個。
[0038]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，暫時停止或中止第一計劃以及第二計劃中的一個、即暫時停止或中止與應(yīng)優(yōu)先的優(yōu)先計劃不同的非優(yōu)先計劃。并且，通過基板處理裝置執(zhí)行第一計劃以及第二計劃中的另一個、即優(yōu)先計劃。因此，能夠提早開始與優(yōu)先計劃對應(yīng)的基板的處理。因此，關(guān)于與優(yōu)先計劃對應(yīng)的基板，能夠縮短從結(jié)束在先行裝置(第一基板處理裝置)的基板的處理起至開始在后續(xù)裝置(第二基板處理裝置)的基板的處理的時間。
[0039]本發(fā)明的其他實施方式提供一種基板處理方法，由基板處置裝置執(zhí)行，
[0040]該基板處置裝置對應(yīng)于來自主計算機的任務(wù)生成指示來作成任務(wù)，基于該任務(wù)在規(guī)定的管理區(qū)內(nèi)執(zhí)行基板的搬送及/或處理，
[0041]該基板處理裝置與中間裝置連接，該中間裝置在第一基板處理裝置的外部直接支撐由所述第一基板處理裝置處理過的基板的狀態(tài)下搬送該基板，該第一基板處理裝置是在該基板處理裝置之前的階段處理基板的其他基板處理裝置，
[0042]該基板處理裝置具有:
[0043]直接搬入口，接受從所述中間裝置搬入的基板，
[0044]搬送單元，搬送經(jīng)由所述直接搬入口搬入所述基板處理裝置的基板，并在所述管理區(qū)內(nèi)搬送基板，
[0045]多個處理單元，對由所述搬送單元搬入的基板進行處理，
[0046]控制裝置，對所述基板處理裝置進行控制。
[0047]該基板處理方法包括:
[0048]第一步驟，當從所述主計算機報告要由該基板處理裝置處理的預(yù)定的基板位于所述第一基板處理裝置時，將該基板的在所述第一基板處理裝置的位置信息與該控制裝置能夠識別的虛擬基板位置信息建立對應(yīng)并存儲，
[0049]第二步驟，當從所述主計算機發(fā)出所述基板的任務(wù)生成指示時，使用所述虛擬基板位置信息生成用于將所述基板在該基板處理裝置進行搬送及/或處理的任務(wù)。根據(jù)該方法，能夠發(fā)揮與前述的效果相同的效果。
[0050]所述基板處理方法還包括第三步驟，使用在所述第一步驟存儲的虛擬位置信息，在該基板搬入所述基板處理裝置之前作成第二計劃，該第二計劃包括使所述搬送單元將要經(jīng)由所述直接搬入口向所述基板處理裝置搬入的基板從所述基板處理裝置的外部搬送到所述基板處理裝置的內(nèi)部的搬入工序。根據(jù)該方法，能夠發(fā)揮與前述的