半導(dǎo)體器件加工用旋轉(zhuǎn)定位裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件加工用旋轉(zhuǎn)定位裝置，特別是涉及一種在不增加整個設(shè)備的體積和復(fù)雜程度的前提下能夠滿足更多的加工工位要求的半導(dǎo)體器件加工用旋轉(zhuǎn)定位裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前在半導(dǎo)體器件的加工過程中，通常是將半導(dǎo)體器件通過吸取拾起的方式在不同的工位上進行加工和檢測。通常都是通過將吸取機構(gòu)與分度盤連接然后通過分度盤的轉(zhuǎn)動將吸取機構(gòu)上的半導(dǎo)體器件移動到不同的工位從而完成對半導(dǎo)體器件的加工。這種加工結(jié)構(gòu)雖然能夠滿足普通的加工要求，然后如果需要獲得更多的加工工位就需要增加吸取結(jié)構(gòu)的個數(shù)，這會增加整個設(shè)備的體積和設(shè)備的復(fù)雜程度。如何實現(xiàn)在不增加整個設(shè)備的體積和復(fù)雜程度的前提下能夠滿足更多的加工工位需求是一個亟待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決技術(shù)問題是，提供一種在不增加整個設(shè)備的體積和復(fù)雜程度的前提下能夠滿足更多的加工工位需求的半導(dǎo)體器件加工用旋轉(zhuǎn)定位裝置。
[0004]為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種半導(dǎo)體器件加工用旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括馬達以及與所述馬達的輸出軸固定連接的旋轉(zhuǎn)盤，還包括與所述馬達的輸出軸所在端面貼合固定連接在一起的馬達固定結(jié)構(gòu)，其關(guān)鍵是:在所述馬達固定結(jié)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)盤之間還設(shè)置有滑動板，所述滑動板與所述馬達固定結(jié)構(gòu)連接，所述滑動板與所述旋轉(zhuǎn)盤緊密貼合在一起，所述旋轉(zhuǎn)盤上設(shè)置有第一固定座和第二固定座，所述旋轉(zhuǎn)盤在所述第一固定座的安裝處設(shè)置有第一氣孔，所述旋轉(zhuǎn)盤在所述第二固定座的安裝處設(shè)置有第二氣孔，所述滑動板內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)氣通道，所述導(dǎo)氣通道與外部氣源連通，所述第一氣孔和第二氣孔均與所述導(dǎo)氣通道連通。
[0005]作為本發(fā)明的改進一，還包括設(shè)置在所述第一固定座與所述第二固定座連線一側(cè)的第三固定座，所述旋轉(zhuǎn)盤在所述第三固定座的安裝處設(shè)置有第三氣孔，所述第一氣孔、第二氣孔以及第三氣孔中有任意一個氣孔與所述第二導(dǎo)氣通道連通時，剩余的其他兩個氣孔就與所述第一導(dǎo)氣通道連通。
[0006]作為本發(fā)明進一步的改進，還包括設(shè)置在所述第一固定座與所述第二固定座連線另一側(cè)的第四固定座，所述旋轉(zhuǎn)盤在所述第四固定座的安裝處設(shè)置有第四氣孔，所述第一氣孔、第二氣孔、第三氣孔以及第四氣孔中有任意一個氣孔與所述第二導(dǎo)氣通道連通時，剩余的其他三個氣孔就與所述第一導(dǎo)氣通道連通。
[0007]作為本發(fā)明更進一步的改進，所述第一固定座、第三固定座、第二固定座以及所述第四固定座依次按度夾角設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)盤上。
[0008]作為本發(fā)明的改進二，所述導(dǎo)氣通道有兩個，分別為第一導(dǎo)氣通道和第二導(dǎo)氣通道，當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動到所述第一氣孔與所述第一導(dǎo)氣通道保持連通時的位置時，所述第二氣孔就與所述第二導(dǎo)氣通道連通，當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動到所述第一氣孔與所述第二導(dǎo)氣通道保持連通時的位置時，所述第二氣孔就與所述第一導(dǎo)氣通道連通。
[0009]作為本發(fā)明進一步的改進，所述滑動板為石墨板。
[0010]作為本發(fā)明更進一步的改進，在所述滑動板與所述馬達固定結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有彈簧，彈簧的一端抵住所述滑動板，彈簧的另一端抵住所述馬達固定結(jié)構(gòu)。
[0011]作為本發(fā)明再進一步的改進所述第一導(dǎo)氣通道為圓弧形的凹槽，所述圓弧的圓心在所述馬達的輸出軸的軸線上，所述凹槽包括凹槽底面以及設(shè)置在所述凹槽底面上的凹槽內(nèi)側(cè)面和凹槽外側(cè)面，所述凹槽內(nèi)側(cè)面所在圓的半徑小于所述凹槽外側(cè)面所在圓的半徑。
[0012]優(yōu)選的，所述凹槽內(nèi)側(cè)面所在圓的半徑小于或者等于所述第一氣孔的內(nèi)壁到所述馬達的輸出軸的軸線的最小距離。所述凹槽外側(cè)面所在圓的半徑大于或者等于所述第一氣孔的內(nèi)壁到所述馬達的輸出軸的軸線的最大距離。
[0013]通過實施本發(fā)明可取得以下有益效果:
一種半導(dǎo)體器件加工用旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括馬達以及與所述馬達的輸出軸固定連接的旋轉(zhuǎn)盤，還包括與所述馬達的輸出軸所在端面貼合固定連接在一起的馬達固定結(jié)構(gòu)，在所述馬達固定結(jié)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)盤之間還設(shè)置有滑動板，所述滑動板與所述馬達固定結(jié)構(gòu)連接，所述滑動板與所述旋轉(zhuǎn)盤緊密貼合在一起，所述旋轉(zhuǎn)盤上設(shè)置有第一固定座和第二固定座，所述旋轉(zhuǎn)盤在所述第一固定座的安裝處設(shè)置有第一氣孔，所述旋轉(zhuǎn)盤在所述第二固定座的安裝處設(shè)置有第二氣孔，所述滑動板內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)氣通道，所述導(dǎo)氣通道與外部氣源連通，所述第一氣孔和第二氣孔均與所述導(dǎo)氣通道連通。將旋轉(zhuǎn)加工裝置與半導(dǎo)體器件加工用旋轉(zhuǎn)定位裝置配合，旋轉(zhuǎn)加工裝置將半導(dǎo)體器件放置到第一固定座上，外部氣源通過導(dǎo)氣通道給所述第一氣孔施加負壓，這樣就能夠?qū)雽?dǎo)體器件吸附在第一固定座上從而方便對半導(dǎo)體器件進行加工。加工完畢后，旋轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動，第一固定座旋轉(zhuǎn)到另一位置并且外部氣源通過導(dǎo)氣通道給所述第一氣孔施加正壓或者是減掉原來施加的負壓。這樣就方便將加工完畢的半導(dǎo)體器件移動到其他工位，同樣外部氣源也可以通過第二氣孔給第二固定座施加負壓或者是減掉負壓。這就實現(xiàn)了不增加整個設(shè)備的體積和復(fù)雜程度的前提下能夠滿足更多的加工工位需求。所述導(dǎo)氣通道有兩個，分別為第一導(dǎo)氣通道和第二導(dǎo)氣通道，當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動到所述第一氣孔與所述第一導(dǎo)氣通道保持連通時的位置時，所述第二氣孔就與所述第二導(dǎo)氣通道連通，當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動到所述第一氣孔與所述第二導(dǎo)氣通道保持連通時的位置時，所述第二氣孔就與所述第一導(dǎo)氣通道連通。第一導(dǎo)氣通道和第二導(dǎo)氣通道中的某個導(dǎo)氣通道能夠通過第一氣孔為第一固定座提供吸附負壓或者減掉吸附負壓時，第一導(dǎo)氣通道和第二導(dǎo)氣通道中的另一個導(dǎo)氣通道能夠通過第二氣孔為第二固定座提供吸附負壓或者減掉吸附負壓，這樣就能夠分別滿足第一固定座和第二固定座加工時的氣壓要求。所述滑動板為石墨板，石墨板材質(zhì)的滑動板能夠與旋轉(zhuǎn)盤緊密貼合從而保證外部氣源能夠?qū)鈮簾o損耗第傳遞給第一固定座或者是第二固定座，同時石墨板材質(zhì)的滑動板還能夠方便滑動板與旋轉(zhuǎn)盤之間相對順滑的轉(zhuǎn)動，滿足加工需求。在所述滑動板與所述馬達固定結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有彈簧，彈簧的一端抵住所述滑動板，彈簧的另一端抵住所述馬達固定結(jié)構(gòu)，在滑動板磨損后彈簧能夠保持滑動板向旋轉(zhuǎn)盤的方向移動，從而補償磨損，進一步保證滑動板與旋轉(zhuǎn)盤緊密貼合。所述圓弧的圓心在所述馬達的輸出軸的軸線上，所述凹槽包括凹槽底面以及設(shè)置在所述凹槽底面上的凹槽內(nèi)側(cè)面和凹槽外側(cè)面，所述凹槽內(nèi)側(cè)面所在圓的半徑小于所述凹槽外側(cè)面所在圓的半徑。所述凹槽內(nèi)側(cè)面所在圓的半徑小于或者等于所述第一氣孔的內(nèi)壁到所述馬達的輸出軸的軸線的最小距離。所述凹槽外側(cè)面所在圓的半徑大于或者等于所述第一氣孔的內(nèi)壁到所述馬達的輸出軸的軸線的最大距離。這種結(jié)構(gòu)能夠滿足第一氣孔以及第二氣孔與凹槽的順利導(dǎo)通。在所述第一固定座與所述第二固定座連線一側(cè)設(shè)置有第三固定座，所述旋轉(zhuǎn)盤在所述第三固定座的安裝處設(shè)置有第三氣孔，所述第一氣孔、第二氣孔以及第三氣孔中有任意一個氣孔與所述第二導(dǎo)氣通道連通時，剩余的其他兩個氣孔就與所述第一導(dǎo)氣通道連通。在所述第一固定座與所述第二固定座連線另一側(cè)設(shè)置有第四固定座，所述旋轉(zhuǎn)盤在所述第四固定座的安裝處設(shè)置有第四氣孔，所述第一氣孔、第二氣孔、第三氣孔以及第四氣孔中有任意一個氣孔與所述第二導(dǎo)氣通道連通時，剩余的其他三個氣孔就與所述第一導(dǎo)氣通道連通。所述第一固定座、第三固定座、第二固定座以及所述第四固定座依次按度夾角設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)盤上。這進一步增加加工工位，方便更多的加工需求。
【附圖說明】
[0014]下面結(jié)合說明書附圖對本發(fā)明做進一步詳細的描述，其中:
圖1是本發(fā)明與外部加工設(shè)設(shè)備配合工作的示意圖；
圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)拆分示意圖。
【具體實施方式】
[0015]如圖1、2所示，半導(dǎo)體器件加工用旋轉(zhuǎn)定位裝置10與外部加工設(shè)備20配合工作，外部加工設(shè)備20的某一個吸附機構(gòu)上吸附的半導(dǎo)體器件可以進入到旋轉(zhuǎn)定位裝置10的安裝座上。一種半導(dǎo)體器件加工用旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括馬達110、與所述馬達110的輸出軸111固定連接的旋轉(zhuǎn)盤120以及與所述馬達11