br>[0044]優(yōu)選的，所述第三參考時間為8小時。
[0045]上述技術方案的有益效果為:
[0046]1、通過最小的樣本容量對加工工藝和加工設備進行監(jiān)控，從而提高了量測效率；
[0047]2、由于減少了樣本數(shù)量，從而縮短了每個量測步驟的周期；
[0048]3、節(jié)省了人力成本；
[0049]4、提聞了量測能力；
[0050]5、采樣覆蓋加工工藝中的每個加工單位，降低了因采樣不平衡造成的潛在風險。
【附圖說明】
[0051]圖1為本發(fā)明一種基于小采樣系統(tǒng)的晶圓量測采樣方法的實施例的步驟流程圖；
[0052]圖2為本發(fā)明一種基于小采樣系統(tǒng)的晶圓量測采樣方法的小采樣系統(tǒng)采樣流程的實施例的步驟流程圖；
[0053]圖3為本發(fā)明一種基于小采樣系統(tǒng)的晶圓量測采樣方法根據(jù)量測結果對加工批次進行重新分組的實施例的步驟流程圖。
【具體實施方式】
[0054]下面結合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步說明，但不作為本發(fā)明的限定。
[0055]如圖1所示，本發(fā)明提供一種基于小采樣系統(tǒng)的晶圓量測采樣方法，其中，根據(jù)加工批次于當前完成的加工工藝步驟的信息對加工批次進行分類，并通過一預置規(guī)則確定加工批次是否為有價值批次，還包括以下步驟:
[0056]步驟1、判斷當前到達量測站點的加工批次的類型是否第一次到達量測站點，如果否，則轉至步驟5執(zhí)行；
[0057]步驟2、判斷加工批次到達時間之后的第一參考時間間隔內(nèi)是否有有價值批次到達，如果否，則轉至步驟5執(zhí)行；
[0058]步驟3、判斷加工批次到達時間之前的第二參考時間間隔內(nèi)是否有有價值批次到達，如果否，則轉至步驟5執(zhí)行；
[0059]步驟4、新建一分組，使新建的分組對應加工批次的類型，將加工批次加入新建的分組，對加工批次中的晶圓添加放棄當前量測標識，轉至步驟1執(zhí)行；
[0060]步驟5、通過一小采樣系統(tǒng)對加工批次進行分組，并判斷是否需要對加工批次中的晶圓進行量測；
[0061]步驟6、轉至步驟1執(zhí)行。
[0062]上述技術方案，對第一次到達量測站點的加工批次的類型進行判斷，通過判斷該加工批次之后的第一參考時間內(nèi)以及該加工批次之前的第二參考時間內(nèi)是否有有價值批次到達量測站點來決定是否要放棄對當前到達量測站點的加工批次的量測。于一種較優(yōu)的實施方式中，有價值批次的判斷可采用以下方式:
[0063]將覆蓋當前完成的加工工藝所采用加工設備的最多腔體的加工批次設定為有價值批次；或者
[0064]將覆蓋當前完成的加工工藝所采用加工設備的全部腔體的加工批次設定為有價值批次。
[0065]上述技術方案基于如下發(fā)現(xiàn)，在設定時間內(nèi)可視半導體加工設備于處理相同的工藝配方設定時的狀況變化較小，從而使半導體加工設備的在制品的品質變化處于可控制的范圍內(nèi)，因而，在設定時間內(nèi)通過對某一加工設備加工的最具代表性的加工批次進行量測，即可獲得該時間段內(nèi)使用同一工藝配方設定的加工批次的品質判定。
[0066]上述技術方案，將加工過程中覆蓋加工設備最多腔體或者全部腔體的加工批次作為有價值批次即最具代表性的加工批次，通過對有價值批次進行量測，可減少在預定時間內(nèi)對采用同一工藝配方設定的其他加工批次的采樣，從而減少了樣本數(shù)量，并進而縮短了量測步驟的周期，由于有價值批次覆蓋加工工藝中的每個加工單位(腔體)，因此降低了因采樣不平衡造成的潛在風險。
[0067]上述技術方案中，可通過制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES manufacturing execut1n system)對加工批次于當前完成的加工工藝步驟的信息進行采集并形成與加工批次關聯(lián)的記錄。在一種較優(yōu)的實施方式中，可將上述包含有加工批次于當前完成的加工工藝步驟的信息的記錄編輯成模型，從而使每個模型對應一種加工批次的類型。在較優(yōu)的實施方式中，模型中可包括加工設備的信息，加工批次于加工設備上各個腔體的加工記錄等。一種進一步的實施方式中，上述模型可以加工批次當前完成的加工工藝所采用的設備型號，和/或加工批次當前完成的加工工藝所采用的工藝配方編號作為模型的名稱。
[0068]上述技術方案中，步驟4中新建的分組在一較優(yōu)的實施方式中可采用一獨立的序列，序列中為處于該分組中的所有加工批次的編號根據(jù)達到量測站點的時間排序。并且，每個分組對應一種類型，一種類型可有多個分組，在一較優(yōu)的實施方式中，每個分組可對應一上文提到的模型，系統(tǒng)中可建立模型與分組之間對應關系的記錄。
[0069]于上述技術方案基礎上，進一步的，步驟1中，于判斷加工批次的類型是否第一次到達量測站點之前，先判斷加工批次是否已經(jīng)根據(jù)加工批次的參數(shù)進行過分類，如果否，則退出流程。當加工批次的參數(shù)未進行過分類記錄，即系統(tǒng)中不存在該加工批次對應的類型時，因無法對加工批次按照類型分類進行分組判定，因此不適合采用上述技術方案進行采樣。
[0070]于上述技術方案基礎上，進一步的，于判斷加工批次的類型是否第一次到達量測站點之前，先判斷加工批次是否具有不進行當前量測的標識，如果是，則退出流程。在一些特定情況下，某些加工批次不需要或者無法在當前量測站點進行量測，系統(tǒng)會對這些加工批次添加不進行當前量測的標識，當采樣系統(tǒng)判斷到具有不進行當前量測的標識的加工批次時將停止對此加工批次的處理。
[0071]于上述技術方案基礎上，進一步的，小采樣系統(tǒng)包括以下步驟:
[0072]步驟51、獲取到達量測站點的加工批次的類型對應的分組信息；
[0073]步驟52、根據(jù)到達量測站點的時間與晶圓數(shù)量，將當前到達量測站點的加工批次添加入一新的分組，或者
[0074]合并入已存在的與加工批次的類型對應的分組。
[0075]上述提到的分組作為采樣組，每個分組中至少具有一個有價值批次，即覆蓋當前完成的加工工藝所采用加工設備的最多腔體的加工批次，或者覆蓋當前完成的加工工藝所采用加工設備的全部腔體的加工批次。
[0076]于上述技術方案基礎上，進一步的，系統(tǒng)對分組中的有價值批次中的至少一片不具有放棄當前量測標識的晶圓進行量測。于有價值批次中抽取晶圓的數(shù)量為可選值，可根據(jù)實際情況加以確定。
[0077]于上述技術方案基礎上，進一步的，于步驟51之前，判斷加工批次的類型是否第一次到達量測站點，如果是，則新建一分組，使當前新建的分組對應加工批次的類型，并將加工批次添加入當前新建的分組中。
[0078]于上述技術方案基礎上，進一步的，于步驟52中，判斷加工批次到達量測站點的時間與加工批次的類型對應的分組建立時間之差是否小于等于一第三參考時間間隔，如果否，則新建一分組，使當前新建的分組對應加工批次的類型，并將加工批次添加入當前新建的分組中。
[0079]設置第三參考時間間隔的目的是使同一個分組中最先到達量測站點的加工批次與最后到達量測站點的加工批次符合在設定的時間