0附著或流入隔膜10的試樣側(cè)(從圖3右圖中的X朝向左側(cè))而污染隔膜。
[0060]另外，如圖5所示，也可以使定位結(jié)構(gòu)155a的直徑(D2)大于基座9的直徑(D1)(D1<D2)。當(dāng)固定基座9時，固定成基座9不從定位結(jié)構(gòu)155a的突起形狀的、與基座9接觸的面露出。尤其是，使定位結(jié)構(gòu)155a的直徑(D2)比基座9的外形(D1)大出如下量，S卩，隔膜10的中心軸10a與隔膜保持部件155的開口中心軸155c的位置偏咼量A的限度范圍B(隔膜的安裝位置的誤差的允許量)。通過設(shè)置成使基座9不從定位結(jié)構(gòu)的凸部露出，能夠容易指定和確認(rèn)隔膜的安裝位置的誤差的允許量。此外，如果超出這些量而過大，則隔膜與隔膜保持部件的中心軸難以對齊，因此優(yōu)選定位結(jié)構(gòu)的直徑與基座9的直徑相比并不過大。
[0061]S卩，根據(jù)位置偏移允許范圍的確認(rèn)、粘接劑的流入防止等目的，相對于基座9調(diào)整定位結(jié)構(gòu)155a的尺寸，從而能夠發(fā)現(xiàn)各種功能。
[0062]<安裝夾具>
[0063]圖6表示將隔膜安裝在隔膜保持部件時的夾具的結(jié)構(gòu)圖。夾具包括:推壓隔膜而進(jìn)行固定的推壓部件201、支撐推壓部件的結(jié)構(gòu)體202及203、支撐結(jié)構(gòu)體202及203的底板204。推壓部件201設(shè)置在載置隔膜保持部件的部位的鉛垂上方，并且被保持成相對于結(jié)構(gòu)體202能夠沿圖示的上下垂直方向自由移動。至少推壓部件201的與隔膜對置的端部需要沿鉛垂上下方向進(jìn)行動作。通過推壓部件201從隔膜保持部件155及基座9的鉛垂上方向鉛垂下方進(jìn)行動作，能夠相對于隔膜保持部件155推壓保持有隔膜10的基座9來固定其位置。推壓部件201在前端部具有中心為凹形狀的退避部201a。由此，能夠避免推壓部件201的前端與隔膜10接觸。另外，由于穩(wěn)定地施加載荷，因此推壓部件201也可以具有配重201b。
[0064]底板204具有用于設(shè)置隔膜保持部件155的設(shè)置部位。在該設(shè)置部位設(shè)有對隔膜保持部件155進(jìn)行定位的定位結(jié)構(gòu)204a。定位結(jié)構(gòu)204a是例如直徑與隔膜保持部件155相同的槽部。在此情況下，通過將隔膜保持部件嵌入到該槽部，能夠使隔膜保持部件的開口部的中心與夾具的推壓部件201的中心軸對齊。定位結(jié)構(gòu)204a不限于此，也可以是例如圖2所示的結(jié)構(gòu)。重要的是隔膜保持部件的開口部的中心每次與推壓部件201的中心軸對齊。
[0065]在圖6中，在作為定位結(jié)構(gòu)204a的槽部的底部具有真空密封部件205。通過將隔膜保持部件155嵌入到槽部，隔膜保持部件155與底板204之間被真空密封部件205氣密地密封。在底板204的隔膜保持部件155的設(shè)置部位設(shè)有貫穿孔210。貫穿孔的開口位于與隔膜對置的面上。優(yōu)選開口的大小大于隔膜面積且小于隔膜保持部件。該貫穿孔210的一端通過載置隔膜保持部件155及設(shè)置有隔膜10的基座9而被封閉。另外，貫穿孔的另一端上經(jīng)由設(shè)置在開口的周圍的真空密封部件206而連接接頭207。在接頭207上經(jīng)由配管208而連接真空栗209。由此，在圖6中，能夠?qū)Ρ雀裟け３植考?55更靠下側(cè)的空間進(jìn)行抽真空。此外，也可以是如下結(jié)構(gòu)，接頭207作為底板204的一部分而形成，將真空栗209直接安裝在底板204上。為了確認(rèn)被抽真空的空間的真空到達(dá)度，利用真空計測定被抽真空的空間的氣壓。真空計既可以附屬于真空栗209，也可以另行設(shè)置。
[0066]另外，在本實施例中在隔膜保持部件155之上載置保持有隔膜10的基座9，從而封閉被抽真空的空間，但用于檢查隔膜的夾具的結(jié)構(gòu)不限于圖6。重要的是被抽真空的空間成為封閉空間，并且該空間的側(cè)面的至少一部分由隔膜構(gòu)成。
[0067]此外，夾具的結(jié)構(gòu)不限于上述結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)行各種變形。例如，用于抽真空的底板204的開口也可以不位于隔膜正下方，比隔膜更靠圖中下側(cè)的空間與真空栗相連，并保持氣密即可。另外，推壓部件201不需要是棒狀，例如也可以是L字形。
[0068]也可以使接頭207相對于底板204裝卸自如。當(dāng)設(shè)置隔膜10時，拆卸接頭207，能夠通過貫穿孔210從附圖下側(cè)觀察而確認(rèn)隔膜10的位置?；蛘撸部梢栽谪灤┛?10部的周邊具有用于觀察隔膜10的鏡子或攝像機。由此，能夠容易進(jìn)行裝配時的隔膜10的位置確認(rèn)。
[0069]圖7表示將隔膜10安裝在隔膜保持部件155時的裝配流程。在第一步驟250中，將隔膜保持部件155安置在底板204的預(yù)定的位置。如上所述在底板204上設(shè)有定位結(jié)構(gòu)204a的情況下，在由該定位結(jié)構(gòu)規(guī)定的位置上配置隔膜保持部件155。由此，成為以隔膜保持部件的開口部的中心位于推壓部件201的中心軸上的方式，載置了隔膜保持部件的狀態(tài)。在第二步驟251中，在隔膜保持部件155之上安置保持有隔膜10的狀態(tài)的基座9。此時，如使用圖2?5所述，進(jìn)行隔膜10及基座9的定位，從而在隔膜保持部件155的預(yù)定的位置上設(shè)置隔膜10及基座9。在第三步驟252中，通過使推壓部件201向鉛垂下方進(jìn)行動作，從而將保持有隔膜10的基座9向隔膜保持部件155推壓并固定。在第四步驟253中，在將保持有隔膜10的基座9相對于隔膜保持部件155利用推壓部件201推壓的狀態(tài)下，在基座9與隔膜保持部件155之間涂敷粘接劑并使其固化。
[0070]在第五步驟254中，使真空栗209工作而進(jìn)行由隔膜10和底板204的包括開口部內(nèi)壁的壁面包圍的空間(圖6中隔膜10的下側(cè)的空間)的抽真空，并且確認(rèn)該空間的真空度。只要能夠確認(rèn)該空間是否成為所需的真空度即可，因此真空度的測量也可以不是非常精密。如上所述，被抽真空的空間的側(cè)面的至少一部分由隔膜10構(gòu)成。在隔膜10存在傷痕或破損的情況下，無法達(dá)到充分的真空度，因此能夠利用該作業(yè)來進(jìn)行隔膜的質(zhì)量確認(rèn)。若將已破損的隔膜錯誤地設(shè)置在帶電粒子顯微鏡上進(jìn)行抽真空，則試樣向帶電粒子光學(xué)鏡筒的內(nèi)部飛散，導(dǎo)致裝置被污染。通過利用本步驟進(jìn)行隔膜的質(zhì)量確認(rèn)，能夠在帶電粒子顯微鏡上安裝隔膜之前進(jìn)行質(zhì)量檢查，因此能夠可靠地僅選擇能夠承受真空與大氣壓的差壓的隔膜并安裝在帶電粒子顯微鏡上。
[0071]在第六步驟255中，停止真空栗，使圖6中隔膜10的下側(cè)的空間向大氣開放。在第七步驟256中，抬起推壓部件201，一體拆卸隔膜10和隔膜保持部件155。此外，圖示的流程只是一個例子，順序可以適當(dāng)調(diào)換。如此，通過使用裝配用的夾具，能夠方便地進(jìn)行裝配及隔膜的檢查。
[0072]圖8表示使用隔膜臺156的結(jié)構(gòu)。在到此為止說明的結(jié)構(gòu)中，將隔膜10的基座9通過粘接等而固定在隔膜保持部件155上。因此，根據(jù)粘接劑的種類而剝離變得困難，其結(jié)果隔膜保持部件155成為消耗品。因此，出現(xiàn)設(shè)備運轉(zhuǎn)成本的增加、廢棄物的增加等問題。
[0073]在本結(jié)構(gòu)中，基座9固定在隔膜臺156上。隔膜臺156經(jīng)由隔膜臺固定零件157并利用鉚接螺釘?shù)裙潭ú考?58安裝在隔膜保持部件155上。隔膜臺156經(jīng)由0形圈等真空密封部件159保持氣密且裝卸自如。隔膜臺156能夠與隔膜保持部件155的未圖示的孔、凹陷部等嵌合，并相對于隔膜保持部件155在預(yù)定的位置上進(jìn)行固定。
[0074]在本結(jié)構(gòu)中，隔膜臺156成為消耗品，但作為隔膜臺156通過從隔膜保持部件155分離，針對隔膜臺156的形狀的必要條件得以緩解，能夠設(shè)為更加小型且簡單的形狀，能夠?qū)崿F(xiàn)消耗品價格的降低、廢棄物的減量等。在使用本結(jié)構(gòu)的隔膜臺156的情況下，圖6、7的說明中的“隔膜保持部件”如果替換成“隔膜臺”，則同樣能夠簡便地進(jìn)行對位及安裝。
[0075]實施例2
[0076]以下，關(guān)于能夠使用一般的帶電粒子線裝置簡便地在大氣下觀察試樣的裝置結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖9表示本實施例的帶電粒子顯微鏡的整體結(jié)構(gòu)圖。與實施例1同樣地，本實施例的帶電粒子顯微鏡也包括帶電粒子光學(xué)鏡筒2、將該帶電粒子光學(xué)鏡筒相對于裝置設(shè)置面進(jìn)行支撐的殼體(真空室)7、試樣放置臺5等。這些各要素的動作、功能或者附加于各要素的附加要素與實施例1大致相同，因此省略詳細(xì)的說明。
[0077]圖9所示的帶電粒子顯微鏡具備插入到殼體7(以下、第一殼體)中使用的第二殼體(配件)121。第二殼體121由長方體形狀的主體部131和對齊部132構(gòu)成。如后所述，主體部131的長方體形狀的側(cè)面之中的至少一側(cè)面成為開放面15。主體部131的長方體形狀的側(cè)面之中設(shè)置隔膜保持部件155的面以外的面既可以由第二殼體121的壁構(gòu)成，也可以是第二殼體121自身沒有壁而在裝入到第一殼體7的狀態(tài)下由第一殼體7的側(cè)壁構(gòu)成。第二殼體121的位置固定在第一殼體7的側(cè)面或內(nèi)壁面或者帶電粒子光學(xué)鏡筒上。主體部131具有能夠儲存作為觀察對象的試樣6的功能，通過上述的開口部而插入到第一殼體7內(nèi)部。對齊部132構(gòu)成與第一殼體7的設(shè)有開口部的側(cè)面?zhèn)鹊耐獗诿娴膶R面，經(jīng)由真空密封部件126固定在上述側(cè)面?zhèn)鹊耐獗诿嫔?。由此，第二殼體121整體嵌合到第一殼體7。上述的開口部利用帶電粒子顯微鏡的真空試樣室原本所具備的用于試樣的搬入、搬出的開口來制造是最簡便的。即，按照原本打開的孔的