中，通過將從樣本的不存在光致發(fā)光缺陷的區(qū)域獲取的輻射的第一部分、輻射的第二部分及輻射的第三部分中至少一者的一或多個特性與從樣本的經(jīng)測量區(qū)域獲取的輻射的第一部分、輻射的第二部分及輻射的第三部分中的至少一者的一或多個特性進(jìn)行比較，基于輻射的第一部分、輻射的第二部分、輻射的第三部分及輻射的第四部分中的至少一者的經(jīng)測量的一或多個特性來檢測一或多個光致發(fā)光缺陷。
[0114]圖5說明描繪用于樣本的缺陷檢測及光致發(fā)光測量的方法的過程流程圖500。在步驟502中，沿著實質(zhì)上垂直于樣本的表面的方向?qū)⒎ň€照明波長光束引導(dǎo)到樣本的一部分上。在一個實施例中，法線照明波長的光束適于引起樣本的一或多個光致發(fā)光缺陷發(fā)射光致發(fā)光的光。在步驟504中，收集來自樣本的輻射。在一個實施例中，來自樣本的輻射包含由樣本的一或多個缺陷彈性散射的輻射或由樣本的一或多個光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光輻射中的至少一者。在步驟506中，將來自樣本的輻射分離成光致發(fā)光輻射的多個部分，每一部分包含由樣本的一或多個光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光的不同光譜范圍中的一或多個波長。在步驟508中，測量光致發(fā)光輻射的多個部分中的每一者的一或多個特性。在步驟510中，基于光致發(fā)光輻射的多個部分中的每一者的經(jīng)測量的一或多個特性來檢測一或多個光致發(fā)光缺陷。在步驟512中，基于與光致發(fā)光輻射的多個部分中的每一者相關(guān)聯(lián)的一或多個信號對一或多個經(jīng)檢測的光致發(fā)光缺陷進(jìn)行分類。
[0115]圖6說明描繪用于樣本的缺陷檢測及光致發(fā)光測量的方法的過程流程圖600。在步驟602中，沿著實質(zhì)上垂直于樣本的表面的方向?qū)⒎ň€照明波長光束引導(dǎo)到樣本的一部分上。在一個實施例中，法線照明波長的光束適于引起樣本的一或多個光致發(fā)光缺陷發(fā)射光致發(fā)光的光。在步驟604中，沿著相對于樣本的表面傾斜的方向?qū)⑿闭彰鞑ㄩL光束引導(dǎo)到樣本的一部分上。在步驟606中，收集來自樣本的輻射。在一個實施例中，來自樣本的輻射包含由樣本的一或多個缺陷彈性散射的輻射或由樣本的一或多個光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光輻射中的至少一者。在步驟608中，將來自樣本的輻射分離成光致發(fā)光輻射的可見部分及光致發(fā)光輻射的近紫外(NUV)部分。在步驟610中，測量光致發(fā)光輻射的可見部分及光致發(fā)光輻射的NUV部分的一或多個特性。在步驟612中，基于光致發(fā)光輻射的可見部分及光致發(fā)光輻射的NUV部分的經(jīng)測量的一或多個特性來檢測一或多個光致發(fā)光缺陷。在步驟614中，基于與光致發(fā)光輻射的可見部分及光致發(fā)光輻射的NUV部分相關(guān)聯(lián)的一或多個信號對一或多個經(jīng)檢測的光致發(fā)光缺陷進(jìn)行分類。
[0116]所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到，在所屬領(lǐng)域內(nèi)通常以本文中陳述的方式描述裝置及/或過程，且其后使用設(shè)計實踐以將此類描述的裝置及/或過程整合到數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)中。即，本文中描述的裝置及/或過程的至少一部分可經(jīng)由合理量的實驗整合到數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)中。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到，典型的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)通常包含以下各者中的一或多者:系統(tǒng)單元外殼;視頻顯示裝置;存儲器(例如易失性存儲器及非易失性存儲器)；處理器(例如微處理器及數(shù)字信號處理器)；計算實體(例如操作系統(tǒng)、驅(qū)動程序、圖形用戶界面及應(yīng)用程序)；一或多個交互裝置(例如觸控墊或觸控屏)；及/或包含反饋回路及控制發(fā)動機(舉例來說，用于感測位置及/或速度的反饋；用于移動及/或調(diào)整組件及/或數(shù)量的控制發(fā)動機)的控制系統(tǒng)。典型的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)可利用任何合適商業(yè)上可用的組件(例如通常發(fā)現(xiàn)于數(shù)據(jù)計算/通信及/或網(wǎng)絡(luò)計算/通信系統(tǒng)中的組件)來實施。
[0117]雖然已展示及描述本文中所描述的本發(fā)明標(biāo)的物的特定方面，但所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將明白，基于本文中的教示，可在不脫離本文中所描述的標(biāo)的物及其更廣泛方面的情況下做出改變及修改，且因此，附隨權(quán)利要求書旨在將如在本文中描述的標(biāo)的物的真實精神及范圍內(nèi)的全部此類改變及修改涵蓋于其范圍內(nèi)。
[0118]盡管已說明本發(fā)明的特定實施例，但是顯然所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可在不脫離前述揭示內(nèi)容的范圍及精神的情況下對本發(fā)明做出各種修改及實施例。因此，本發(fā)明的范圍應(yīng)僅由附加到其的權(quán)利要求書限制。將通過前述描述理解本發(fā)明及其許多其它優(yōu)點，且將明白，可在不脫離所揭示的標(biāo)的物或不犧牲全部其材料優(yōu)點的情況下在組件的形式、構(gòu)造及布置上做出各種改變。所描述的形式僅具闡釋性且所附權(quán)利要求書的意圖是涵蓋及包含此類改變。
【主權(quán)項】
1.一種用于樣本的缺陷檢測及光致發(fā)光測量的系統(tǒng)，其包括: 斜入射輻射源，其經(jīng)配置以沿著相對于所述樣本的表面傾斜的方向?qū)⑿闭彰鞑ㄩL的光束引導(dǎo)到所述樣本的一部分上； 法線入射輻射源，其經(jīng)配置以沿著實質(zhì)上垂直于所述樣本的所述表面的方向?qū)⒉煌谒鲂闭彰鞑ㄩL的法線照明波長的光束引導(dǎo)到所述樣本的一部分上，其中所述法線照明波長的所述光束適于引起所述樣本的一或多個光致發(fā)光缺陷發(fā)射光致發(fā)光的光； 樣本臺組合件，其經(jīng)配置以緊固所述樣本且選擇性致動所述樣本以便使用至少所述斜入射輻射源及所述法線入射輻射源執(zhí)行掃描過程； 一組收集光學(xué)器件，其經(jīng)配置以收集來自所述樣本的輻射，來自所述樣本的所述輻射包含由所述樣本的一或多個缺陷彈性散射的輻射或由所述樣本的所述一或多個光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光輻射中的至少一者； 濾波器子系統(tǒng)，其經(jīng)配置以接收由所述組收集光學(xué)器件收集的所述輻射的至少一部分，其中所述濾波器子系統(tǒng)經(jīng)配置以將來自所述樣本的所述輻射分離成包含與由所述樣本的所述一或多個光致發(fā)光缺陷發(fā)射的所述光相關(guān)聯(lián)的可見光譜或近紅外光譜中的一或多個波長的輻射的第一部分、包含所述法線照明波長的輻射的第二部分及包含所述斜照明波長的輻射的至少第三部分； 檢測子系統(tǒng)，其包含用于測量由所述濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)乃鲚椛涞牡谝徊糠值囊换蚨鄠€特性的第一傳感器、用于測量由所述濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)乃鲚椛涞牡诙糠值囊换蚨鄠€特性的第二傳感器、及用于測量由所述濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)乃鲚椛涞牡谌糠值囊换蚨鄠€特性的至少第三傳感器；以及 控制器，其以通信方式耦合到所述第一傳感器、所述第二傳感器及所述第三傳感器，所述控制器經(jīng)配置以: 基于由所述第二傳感器及所述第三傳感器測量的所述一或多個特性中的至少一者檢測一或多個散射缺陷；以及 基于由所述第一傳感器測量的所述一或多個特性、由所述第二傳感器測量的所述一或多個特性及由所述第三傳感器測量的所述一或多個特性中的至少一者檢測一或多個光致發(fā)光缺陷。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述控制器進(jìn)一步經(jīng)配置以通過將在所述樣本的不存在光致發(fā)光缺陷的區(qū)域中來自所述第一傳感器、所述第二傳感器及所述第三傳感器中的至少一者的信號與從所述樣本的經(jīng)測量區(qū)域獲取的來自所述第一傳感器、所述第二傳感器及所述第三傳感器中的至少一者的信號進(jìn)行比較，基于由所述第一傳感器測量的所述一或多個特性、由所述第二傳感器測量的所述一或多個特性及由所述第三傳感器測量的所述一或多個特性中的至少一者來檢測一或多個光致發(fā)光缺陷。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述控制器進(jìn)一步經(jīng)配置以基于由所述第一傳感器測量的所述一或多個特性、由所述第二傳感器測量的所述一或多個特性及由所述第三傳感器測量的所述一或多個特性中的至少一者以及所述經(jīng)檢測的一或多個光致發(fā)光缺陷的位置來映射所述經(jīng)檢測的一或多個光致發(fā)光缺陷。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述控制器進(jìn)一步經(jīng)配置以基于由所述第一傳感器測量的所述一或多個特性、由所述第二傳感器測量的所述一或多個特性及由所述第三傳感器測量的所述一或多個特性中的至少一者對所述經(jīng)檢測的一或多個光致發(fā)光缺陷進(jìn)行分類。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述樣本的所述一或多個光致發(fā)光缺陷包括: 一或多個堆垛層錯缺陷及一或多個基面位錯中的至少一者。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述控制器進(jìn)一步經(jīng)配置以基于由所述第二傳感器及所述第三傳感器中的至少一者檢測的所述光將所述經(jīng)檢測的一或多個散射缺陷區(qū)分為凹坑缺陷或顆粒缺陷。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述控制器經(jīng)配置以在由所述第二傳感器測量所述輻射的第二部分及由所述第三傳感器測量所述輻射的第三部分中的至少一者之前選擇性去激活所述第一輻射源以便基于由所述第二傳感器及所述第三傳感器中的至少一者檢測的所述光來檢測一或多個光致發(fā)光缺陷。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述樣本為半導(dǎo)體裝置。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中所述半導(dǎo)體裝置為寬帶隙半導(dǎo)體裝置。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述斜入射源及所述法線入射源中的至少一者為激光器。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述斜入射源及所述法線入射源中的至少一者為紫外激光器。12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述斜入射源及所述法線入射源中的至少一者為連續(xù)波CW激光器。13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中經(jīng)配置以緊固所述樣本且選擇性致動所述樣本以便使用至少所述斜入射輻射源及所述法線入射輻射源執(zhí)行掃描過程的所述樣本臺組合件包括: 旋轉(zhuǎn)臺組合件，其經(jīng)配置以緊固所述樣本且使所述樣本選擇性旋轉(zhuǎn)以便使用至少所述斜入射輻射源及所述法線入射輻射源執(zhí)行螺旋掃描過程。14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中經(jīng)配置以緊固所述樣本且選擇性致動所述樣本以便使用至少所述斜入射輻射源及所述法線入射輻射源執(zhí)行掃描過程的所述樣本臺組合件包括: 線性臺組合件，其經(jīng)配置以緊固所述樣本且使所述樣本沿著至少第一方向及垂直于所述第一方向的第二方向選擇性平移以便使用至少所述斜入射輻射源及所述法線入射輻射源執(zhí)行X-Y掃描過程。15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述濾波器子系統(tǒng)包含: 第一光學(xué)元件，其經(jīng)配置以將包含所述輻射的第一部分的第一光譜范圍的輻射與從所述樣本接收的所述輻射分離，且將所述第一光譜范圍的輻射朝向所述第一傳感器引導(dǎo)； 第二光學(xué)元件，其經(jīng)配置以從所述第一光學(xué)元件接收并不包含于所述第一光譜范圍的輻射中的輻射，其中所述第二光學(xué)元件經(jīng)配置以將包含所述輻射的第二部分的第二光譜范圍的輻射與從所述第一光學(xué)元件接收的所述輻射分離，且將所述第二光譜范圍的輻射朝向所述第二傳感器引導(dǎo)；以及 第三光學(xué)元件，其經(jīng)配置以從所述第二光學(xué)元件接收并不包含于所述第一光譜范圍的輻射或所述第二光譜范圍的輻射中的輻射，其中所述第三光學(xué)元件經(jīng)配置以至少將包含所述輻射的第三部分的第三光譜范圍的輻射的一部分朝向所述第三傳感器引導(dǎo)。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其中所述第一光學(xué)元件及所述第二光學(xué)元件中的至少一者為二向色分束器且所述第三光學(xué)元件為鏡。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中所述濾波器子系統(tǒng)包含: 第一光學(xué)元件，其經(jīng)配置以將包含所述輻射的第一部分的第一光譜范圍的輻射與從所述樣本接收的所述輻射分離，且將所述第一光譜范圍的輻射朝向所述第一傳感器引導(dǎo)； 第二光學(xué)元件，其經(jīng)配置以從所述第一光學(xué)元件接收并不包含于所述第一光譜范圍的輻射中的輻射，其中所述第二光學(xué)元件經(jīng)配置以將包含所述輻射的第二部分的第二光譜范圍的輻射與從所述第一光學(xué)元件接收的所述輻射分離，且將所述第二光譜范圍的輻射朝向所述第二傳感器引導(dǎo)；以及 第三光學(xué)元件，其經(jīng)配置以從所述第二光學(xué)元件接收并不包含于所述第一光譜范圍的輻射或所述第二光譜范圍的輻射中的輻射，其中所述第三光學(xué)元件經(jīng)配置以至少將包含所述輻射的第三部分的第三光譜范圍的輻射的一部分與從所述第二光學(xué)元件接收的所述輻射分離，且將所述第三光譜范圍的輻射朝向所述第三傳感器引導(dǎo)，所述第三光學(xué)元件進(jìn)一步經(jīng)配置以將并不包含于所述第一光譜范圍的輻射、所述第二光譜范圍的輻射或所述第三光譜范圍的輻射中的輻射傳輸?shù)揭换蚨鄠€額外光學(xué)裝置。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，其中所述第一光學(xué)元件及所述第二光學(xué)元件以及所述第三光學(xué)元件中的至少一者為二向色分束器。19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括: 第一窄通濾波器，其定位于所述第一傳感器與所述第一光學(xué)元件之間，且經(jīng)配置以接收所述第一光譜范圍的輻射的至少一部分且將所述輻射的第一部分傳輸?shù)剿龅谝粋鞲衅髑易钄嗖⒉话谒鲚椛涞牡谝徊糠种械妮椛洌?第二窄通濾波器，其定位于所述第二傳感器與所述第二光學(xué)元件之間，且經(jīng)配置以接收所述第二光譜范圍的輻射的至少一部分且將所述輻射的第二部分傳輸?shù)剿龅诙鞲衅髑易钄嗖⒉话谒鲚椛涞牡诙糠种械妮椛?以及 第三窄通濾波器，其定位于所述第三傳感器與所述第三光學(xué)元件之間，且經(jīng)配置以接收所述第三光譜范圍的輻射的至少一部分且將所述輻射的第三部分傳輸?shù)剿龅谌齻鞲衅髑易钄嗖⒉话谒鲚椛涞牡谌糠种械妮椛洹?0.根據(jù)權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其中由所述第一窄通濾波器、所述第二窄通濾波器及所述第三窄通濾波器中的至少一者傳輸?shù)乃龉庾V范圍由所述樣本的特征的所述光致發(fā)光光譜的一或多個特性定義。21.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述第一傳感器、所述第二傳感器及所述第三傳感器中的至少一者包含光電倍增管PMT。22.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述第一傳感器經(jīng)配置以測量從所述樣本的一或多個光致發(fā)光缺陷發(fā)射的可見光致發(fā)光的光及近紅外光中的至少一者。23.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述第二傳感器經(jīng)配置以測量來自所述樣本的一或多個缺陷的在與由所述法線入射輻射源發(fā)射的所述光對應(yīng)的波長下的散射輻射。24.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述第三傳感器經(jīng)配置以測量來自所述樣本的一或多個缺陷的在與由所述斜入射輻射源發(fā)射的所述光對應(yīng)的波長下的散射輻射。25.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述第二傳感器及第三傳感器中的至少一者經(jīng)配置以測量來自所述樣本的一或多個光致發(fā)光缺陷的紫外光致發(fā)光的光。26.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述系統(tǒng)經(jīng)配置以同時或循序地檢測光致發(fā)光缺陷及散射缺陷。27.—種用于樣本的缺陷檢測及光致發(fā)光測量的系統(tǒng)，其包括: 斜入射輻射源，其經(jīng)配置以沿著相對于所述樣本的表面傾斜的方向?qū)⑿闭彰鞑ㄩL的光束引導(dǎo)到所述樣本的一部分上； 法線入射輻射源，其經(jīng)配置以沿著實質(zhì)上垂直于所述樣本的所述表面的方向?qū)⒉煌谒鲂闭彰鞑ㄩL的法線照明波長的光束引導(dǎo)到所述樣本的一部分上，其中所述法線照明波長的所述光束適于引起所述樣本的一或多個光致發(fā)光缺陷發(fā)射光致發(fā)光的光； 樣本臺組合件，其經(jīng)配置以緊固所述樣本且選擇性致動所述樣本以便使用至少所述斜入射輻射源及所述法線入射輻射源執(zhí)行掃描過程； 一組收集光學(xué)器件，其經(jīng)配置以收集來自所述樣本的輻射，來自所述樣本的所述輻射包含由所述樣本的一或多個缺陷彈性散射的輻射或由所述樣本的所述一或多個光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光輻射中的至少一者； 濾波器子系統(tǒng)，其經(jīng)配置以接收由所述組收集光學(xué)器件收集的所述輻射的至少一部分，其中所述濾波器子系統(tǒng)經(jīng)配置以將來自所述樣本的所述輻射分離成包含與由所述樣本的所述一或多個光致發(fā)光缺陷發(fā)射的所述光相關(guān)聯(lián)的可見光譜或近紅外光譜中的一或多個波長的輻射的第一部分、包含所述法線照明波長的輻射的第二部分、包含所述斜照明波長的輻射的第三部分、及包含與由所述樣本的所述一或多個光致發(fā)光缺陷發(fā)射的所述光致發(fā)光的光相關(guān)聯(lián)的紫外光譜中的一或多個波長的輻射的至少第四部分； 檢測子系統(tǒng)，其包含用于測量由所述濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)乃鲚椛涞牡谝徊糠值囊换蚨鄠€特性的第一傳感器、用于測量由所述濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)乃鲚椛涞牡诙糠值囊换蚨鄠€特性的第二傳感器、用于測量由所述濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)乃鲚椛涞牡谌糠值囊换蚨鄠€特性的第三傳感器、及用于測量由所述濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)乃鲚椛涞牡谒牟糠值囊换蚨鄠€特性的至少第四傳感器;以及 控制器，其以通信方式耦合到所述第一傳感器、所述第二傳感器及所述第三傳感器，所述控制器經(jīng)配置以: 基于由所述第二傳感器及所述第三傳感器中的至少一者測量的所述光檢測一或多個散射缺陷；以及 通過將在所述樣本的不存在光致發(fā)光缺陷的區(qū)域中來自所述第一傳感器、所述第二傳感器、所述第三傳感器及所述第四傳感器中的至少一者的信號與從所述樣本的經(jīng)測量區(qū)域獲取的來自所述第一傳感器、所述第二傳感器、所述第三傳感器及所述第四傳感器中的至少一者的信號進(jìn)行比較，基于由所述第一傳感器、所述第二傳感器、所述第三傳感器及所述第四傳感器中的至少一者檢測的所述光來檢測一或多個光致發(fā)光缺陷。28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的系統(tǒng)，其中所述濾波器子系統(tǒng)包含: 第一光學(xué)元件，其經(jīng)配置以將包含所述輻射的第一部分的第一光譜范圍的輻射與從所述樣本接收的所述輻射分離，且將所述第一光譜范圍的輻射朝向所述第一傳感器引導(dǎo)；第二光學(xué)元件，其經(jīng)配置以從所述第一光學(xué)元件接收并不包含于所述第一光譜范圍的輻射中的輻射，其中所述第二光學(xué)元件經(jīng)配置以將包含所述輻射的第二部分的第二光譜范圍的輻射與從所述第一光學(xué)元件接收的所述輻射分離，且將所述第二光譜范圍的輻射朝向所述第二傳感器引導(dǎo)； 第三光學(xué)元件，其經(jīng)配置以從所述第二光學(xué)元件接收并不包含于所述第一光譜范圍的輻射或所述第二光譜范圍的輻射中的輻射，其中所述第三光學(xué)元件經(jīng)配置以至少將包含所述輻射的第三部分的第三光譜范圍的輻射的一部分與從所述第二光學(xué)元件接收的所述輻射分離，且將所述第三光譜范圍的輻射朝向所述第三傳感器引導(dǎo)，所述第三光學(xué)元件進(jìn)一步經(jīng)配置以將并不包含于所述第一光譜范圍的輻射、所述第二光譜范圍或所述第三光譜范圍的輻射中的輻射朝向包含所述輻射的第四部分的第四光譜范圍的輻射中的所述第四傳感器傳輸。29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的系統(tǒng)，其中所述第一光學(xué)元件、所述第二光學(xué)元件及所述第三光學(xué)元件中的至少一者為二向色分束器。30.根據(jù)權(quán)利要求28所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括: 第一窄通濾波器，其定位于所述第一傳感器與所述第一光學(xué)元件之間，且經(jīng)配置以接收所述第一光譜范圍的輻射的