旋轉(zhuǎn)限制裝置以及包含該旋轉(zhuǎn)限制裝置的基板搬運(yùn)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于搬運(yùn)基板的基板搬運(yùn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]顯示裝置、太陽能電池、半導(dǎo)體元件等(以下稱“電子部件”)經(jīng)過各種工序制造而成。這些制造工序中利用用于制造所述電子部件的基板(substrate)。例如，所述制造工序可以包括在基板上沉積導(dǎo)體、半導(dǎo)體、電介質(zhì)等薄膜的沉積工序以及使沉積后的薄膜形成為規(guī)定圖案的蝕刻工序等。這些制造工序在進(jìn)行相關(guān)工序的工藝腔室內(nèi)完成?；灏徇\(yùn)裝置用于在所述工藝腔室之間搬運(yùn)基板。
[0003]圖1是示出現(xiàn)有技術(shù)涉及的基板搬運(yùn)裝置的概略立體圖。
[0004]參照圖1，現(xiàn)有技術(shù)涉及的基板搬運(yùn)裝置I包括:搬運(yùn)臂10，用于支撐基板S ;升降部20，用于升降所述搬運(yùn)臂10 ;旋轉(zhuǎn)部30，用于旋轉(zhuǎn)所述搬運(yùn)臂10 ;以及限制部40，用于限制所述旋轉(zhuǎn)部30的旋轉(zhuǎn)范圍。
[0005]所述搬運(yùn)臂10在支撐所述基板S的狀態(tài)下水平移動(dòng)，從而搬運(yùn)所述基板10。所述搬運(yùn)臂10包括:支撐機(jī)械手11，用于支撐所述基板10 ;臂單元12，用于在水平方向上搬運(yùn)所述支撐機(jī)械手11 ;以及臂基體13，其一側(cè)與所述臂單元12結(jié)合，另一側(cè)與所述升降部20
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[0006]所述升降部20使所述搬運(yùn)臂10在垂直方向上移動(dòng)。所述升降部20通過升降所述臂基體13來使結(jié)合于所述臂基體13上的所述支撐機(jī)械手11以及所述臂單元12升降。所述升降部20包括:第一升降單元21，結(jié)合于所述旋轉(zhuǎn)部30上；以及第二升降單元22，其一側(cè)與所述第一升降單元21結(jié)合，另一側(cè)與所述搬運(yùn)臂10結(jié)合。
[0007]所述旋轉(zhuǎn)部30用于使所述升降部20旋轉(zhuǎn)。所述旋轉(zhuǎn)部30以旋轉(zhuǎn)軸31為中心旋轉(zhuǎn)所述升降部20，從而使被支撐在所述搬運(yùn)臂10上的所述基板S旋轉(zhuǎn)。
[0008]所述限制部40限制所述旋轉(zhuǎn)部30的旋轉(zhuǎn)范圍。所述限制部40包括:第一限制構(gòu)件41，與所述旋轉(zhuǎn)部30結(jié)合；第二限制構(gòu)件42，與結(jié)合有所述旋轉(zhuǎn)部30的運(yùn)行底座50結(jié)合，用于限制所述旋轉(zhuǎn)部30的旋轉(zhuǎn)范圍。
[0009]所述第一限制構(gòu)件41結(jié)合于所述旋轉(zhuǎn)部30上。所述旋轉(zhuǎn)部30旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述第一限制構(gòu)件41與所述第二限制構(gòu)件42相接觸，以便限制所述旋轉(zhuǎn)部30的旋轉(zhuǎn)范圍。
[0010]所述第二限制構(gòu)件42結(jié)合于所述運(yùn)行底座50上。所述第二限制構(gòu)件42通過所述旋轉(zhuǎn)軸31以順時(shí)針方向或者逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)來限制所述第一限制構(gòu)件41的移動(dòng)，從而限制所述旋轉(zhuǎn)部30的旋轉(zhuǎn)范圍。
[0011]在此，對現(xiàn)有技術(shù)涉及的基板搬運(yùn)裝置I而言，通過所述第二限制構(gòu)件42來限制所述第一限制構(gòu)件41的移動(dòng)路徑，從而限制所述旋轉(zhuǎn)部30的旋轉(zhuǎn)范圍。因此，對現(xiàn)有技術(shù)涉及的基板搬運(yùn)裝置I而言，由于所述第二限制構(gòu)件42的厚度而形成所述旋轉(zhuǎn)部30不能旋轉(zhuǎn)的范圍R。因此，現(xiàn)有技術(shù)涉及的基板搬運(yùn)裝置1，由于所述第二限制構(gòu)件42所具有的厚度導(dǎo)致所述旋轉(zhuǎn)部30的旋轉(zhuǎn)范圍變小，從而限制所述旋轉(zhuǎn)部30的活動(dòng)區(qū)域，降低搬運(yùn)所述基板S的工作效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]所要解決的技術(shù)問題
[0013]本發(fā)明為了解決如上所述的問題而提出，其目的在于，提供一種能夠防止由于第二限制構(gòu)件的厚度而形成旋轉(zhuǎn)軸不能旋轉(zhuǎn)的范圍的旋轉(zhuǎn)限制裝置以及包含該旋轉(zhuǎn)限制裝置的基板搬運(yùn)裝置。
[0014]解決技術(shù)問題的方案
[0015]為了解決如上所述的技術(shù)問題，本發(fā)明可以包括如下結(jié)構(gòu)。
[0016]本發(fā)明涉及的基板搬運(yùn)裝置用的旋轉(zhuǎn)限制裝置，其特征在于，包括:第一限制構(gòu)件，結(jié)合于旋轉(zhuǎn)部上，所述旋轉(zhuǎn)部與用于支撐基板的搬運(yùn)臂連接，并且以旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)，從而使所述搬運(yùn)臂旋轉(zhuǎn)；第二限制構(gòu)件，可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合于運(yùn)行底座上，在所述第一限制構(gòu)件旋轉(zhuǎn)時(shí)接觸于所述第一限制構(gòu)件，以限制所述第一限制構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)，其中，所述運(yùn)行底座上可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合有所述旋轉(zhuǎn)部；以及移動(dòng)構(gòu)件，用于控制所述第二限制構(gòu)件的位置，若所述第一限制構(gòu)件旋轉(zhuǎn)而接觸于所述第二限制構(gòu)件，則所述第二限制構(gòu)件一同旋轉(zhuǎn)，當(dāng)所述第二限制構(gòu)件與所述第一限制構(gòu)件接觸而旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述移動(dòng)構(gòu)件控制所述第二限制構(gòu)件的位置，以限制所述第二限制構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)范圍，從而在確保所述旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)一圈的同時(shí)防止所述旋轉(zhuǎn)部連續(xù)旋轉(zhuǎn)。
[0017]根據(jù)本發(fā)明涉及的基板搬運(yùn)裝置用的旋轉(zhuǎn)限制裝置，其特征在于，所述移動(dòng)構(gòu)件控制所述第二限制構(gòu)件的位置，使得所述第二限制構(gòu)件位于第一位置和第二位置之間，所述第一位置是所述第二限制構(gòu)件由于與所述第一限制構(gòu)件接觸從而向第一方向旋轉(zhuǎn)后接觸于所述運(yùn)行底座的位置，所述第二位置是所述第二限制構(gòu)件由于與所述第一限制構(gòu)件接觸從而向相反于所述第一方向的第二方向旋轉(zhuǎn)后接觸于所述運(yùn)行底座的位置。
[0018]根據(jù)本發(fā)明涉及的基板搬運(yùn)裝置用的旋轉(zhuǎn)限制裝置，其特征在于，所述移動(dòng)構(gòu)件包括:第一噴射機(jī)構(gòu)，向所述第二限制構(gòu)件側(cè)噴射氣體，以使所述第二限制構(gòu)件向所述第二方向移動(dòng)；以及第二噴射機(jī)構(gòu)，向所述第二限制構(gòu)件側(cè)噴射氣體，以使所述第二限制構(gòu)件向所述第一方向移動(dòng)，基于所述第一噴射機(jī)構(gòu)以及所述第二噴射機(jī)構(gòu)來控制所述第二限制構(gòu)件，使得所述第二限制構(gòu)件位于所述第一位置和所述第二位置之間。
[0019]根據(jù)本發(fā)明涉及的基板搬運(yùn)裝置用的旋轉(zhuǎn)限制裝置，其特征在于，所述移動(dòng)構(gòu)件包括:第一彈性構(gòu)件，向所述第二限制構(gòu)件提供在所述第二方向上的彈力；以及第二彈性構(gòu)件，向所述第二限制構(gòu)件提供在所述第一方向上的彈力，基于所述第一彈性構(gòu)件以及所述第二彈性構(gòu)件來控制所述第二限制構(gòu)件，使得所述第二限制構(gòu)件位于所述第一位置和所述第二位置之間。
[0020]本發(fā)明涉及的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，包括:搬運(yùn)臂，用于搬運(yùn)基板；升降部，用于升降所述搬運(yùn)臂，以改變所述搬運(yùn)臂所位于的高度；旋轉(zhuǎn)部，用于旋轉(zhuǎn)所述升降部，以改變所述搬運(yùn)臂所朝向的方向；以及上述的任意一種基板搬運(yùn)裝置用的旋轉(zhuǎn)限制裝置，用于限制所述旋轉(zhuǎn)部的旋轉(zhuǎn)。
[0021]發(fā)明效果
[0022]根據(jù)本發(fā)明，具有如下效果。
[0023]在本發(fā)明中，第二限制構(gòu)件可移動(dòng)地結(jié)合于運(yùn)行底座上，從而能夠防止由于第二限制構(gòu)件的厚度而形成旋轉(zhuǎn)部不能旋轉(zhuǎn)的范圍，并且能夠限制旋轉(zhuǎn)部的旋轉(zhuǎn)，以使其不能連續(xù)旋轉(zhuǎn)，由此，能夠提高搬運(yùn)基板的工作效率。
【附圖說明】
[0024]圖1是示出現(xiàn)有技術(shù)涉及的基板搬運(yùn)裝置的概略立體圖。
[0025]圖2是示出本發(fā)明涉及的基板搬運(yùn)裝置的概略立體圖。
[0026]圖3是為了說明基板搬運(yùn)裝置中的旋轉(zhuǎn)限制裝置而放大了圖2的A部分以示出第一限制構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)的放大圖。
[0027]圖4是為了說明基板搬運(yùn)裝置中的旋轉(zhuǎn)限制裝置而放大了圖2的A部分以示出第一限制構(gòu)件向另一方向旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)的放大圖。
[0028]圖5是為了示出基板搬運(yùn)裝置中的旋轉(zhuǎn)限制裝置的變形例而放大了圖2的A部分的放大圖。
[0029]附圖標(biāo)記
[0030]100:基板搬運(yùn)裝置
[0031]110:基板
[0032]120:搬運(yùn)臂
[0033]121:支撐機(jī)械手
[0034]122:臂單元
[0035]123:臂基體
[0036]130:升降部
[0037]140:旋轉(zhuǎn)部
[0038]141:旋轉(zhuǎn)軸
[0039]150:運(yùn)行底座
[0040]200:旋轉(zhuǎn)限制裝置
[0041]210:第一限制構(gòu)件
[0042]220:第二限制構(gòu)件
[0043]230:移動(dòng)構(gòu)件
[0044]231:第一彈性構(gòu)件
[0045]232:第二彈性構(gòu)件
[0046]233:第一噴射機(jī)構(gòu)
[0047]233a:第一噴射孔
[0048]234:第二噴射機(jī)構(gòu)
[0049]234a:第二噴射孔
【具體實(shí)施方式】
[0050]需要注意的是，在給各附圖中的構(gòu)成要素賦予附圖標(biāo)記時(shí)，對于相同的構(gòu)成要素，雖然在不同的附圖中示出，但也是盡可能地賦予相同的附圖標(biāo)記。
[0051]另一方面，本說明書中所使用的術(shù)語的含義應(yīng)