有第1-第11電阻部16、34、90、92、94、96、98、100、102、104、106。但是，第6柵極焊盤76沒有與第12柵極焊盤88連接。包含從第6柵極焊盤76至第I柵極焊盤12的柵極電阻部在內(nèi)的柵極配線與包含從第12柵極焊盤88至第I柵極焊盤12的柵極電阻部在內(nèi)的柵極配線并聯(lián)連接。在確認(rèn)了第1-第11電阻部
16、34、90、92、94、96、98、100、102、104、106的電阻值符合標(biāo)準(zhǔn)之后，將開關(guān)元件70安裝至封裝件。
[0058]然后，將鋁線固定在第1-第12柵極焊盤12、14、32、72、74、76、78、8，0、82、84、86、88的任意者，或者針對(duì)所述的并聯(lián)連接的2個(gè)柵極配線分別在一處將鋁線固定于焊盤(以得到所希望的電阻值)。預(yù)先將各電阻部的電阻值設(shè)為不同的值，僅通過選擇鋁線的連接方法，就能夠從78種柵極電阻值之中選擇所希望的柵極電阻值。
[0059]柵極焊盤的數(shù)量及配置方法、以及電阻部的數(shù)量及配置方法能夠適當(dāng)調(diào)整。能夠?qū)λ鼈冞M(jìn)行適當(dāng)調(diào)整而準(zhǔn)備所希望的柵極電阻值的組合。即，多個(gè)電阻部只要將多個(gè)柵極焊盤連接以使得多個(gè)柵極焊盤全部與第I柵極焊盤電連接即可，其數(shù)量及配置方法并不特別地限定。
[0060]實(shí)施方式6.
[0061]圖10是本發(fā)明的實(shí)施方式6涉及的半導(dǎo)體裝置的電路圖。該半導(dǎo)體裝置具有第I開關(guān)元件1A和第2開關(guān)元件10B。第I開關(guān)元件1A和第2開關(guān)元件1B具有與實(shí)施方式I涉及的開關(guān)元件10相同的結(jié)構(gòu)。第I開關(guān)元件1A與第2開關(guān)元件1B并聯(lián)地連接。
[0062]通過將鋁線固定在第I開關(guān)元件1A的第2柵極焊盤14以及第2開關(guān)元件1B的第2柵極焊盤14，從而將它們與柵極驅(qū)動(dòng)電路200連接?？刂菩盘?hào)從柵極驅(qū)動(dòng)電路200經(jīng)由第I開關(guān)元件1A的第I電阻部16傳送至第I開關(guān)元件1A的單元區(qū)域。同樣的控制信號(hào)從柵極驅(qū)動(dòng)電路200經(jīng)由第2開關(guān)元件1B的第I電阻部16傳送至第2開關(guān)元件1B的單元區(qū)域。
[0063]根據(jù)實(shí)施方式I示出的方法，第I開關(guān)元件1A的第I電阻部16的電阻值和第2開關(guān)元件1B的第I電阻部16的電阻值符合標(biāo)準(zhǔn)。因而，能夠避免電流失衡。另外，通過選擇是將鋁線與第I柵極焊盤12連接、還是與第2柵極焊盤14連接，能夠調(diào)整開關(guān)元件的柵極電阻。因而，能夠選擇將控制信號(hào)供給至第I開關(guān)元件1A和第2開關(guān)元件1B的第I柵極焊盤12、還是供給至第I開關(guān)元件1A和第2開關(guān)元件1B的第2柵極焊盤14，應(yīng)對(duì)多個(gè)品種。
[0064]第I開關(guān)元件1A和第2開關(guān)元件1B不限定于實(shí)施方式I的開關(guān)元件10，也可以采用上述的任意開關(guān)元件。另外，開關(guān)元件的并聯(lián)數(shù)不限于2個(gè)，也可以為更多個(gè)。這種情況下，以上述的要領(lǐng)將導(dǎo)線分別與多個(gè)開關(guān)元件的第I柵極焊盤或者上述第2柵極焊盤連接。此外，也可以將上述的各實(shí)施方式涉及的開關(guān)元件的特征適當(dāng)?shù)亟M合，提高本發(fā)明的效果。
[0065]標(biāo)號(hào)的說明
[0066]10開關(guān)元件，11襯底，12第I柵極焊盤，14第2柵極焊盤，16第I電阻部，18單元區(qū)域，20配線，22、24鋁線，26第I柵極焊盤，32第3柵極焊盤，34第2電阻部，40電阻部分，52第I附加?xùn)艠O焊盤，54第I附加電阻部，60第2附加?xùn)艠O焊盤，62第2附加電阻部，200柵極驅(qū)動(dòng)電路
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種開關(guān)元件，其特征在于，具有: 襯底； 第I柵極焊盤，其形成在所述襯底； 第2柵極焊盤，其形成在所述襯底； 第I電阻部，其形成在所述襯底，將所述第I柵極焊盤與所述第2柵極焊盤連接；以及 單元區(qū)域，其形成在所述襯底，與所述第I柵極焊盤連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的開關(guān)元件，其特征在于，具有: 第3柵極焊盤，其形成在所述襯底；以及 第2電阻部，其形成在所述襯底，將所述第2柵極焊盤與所述第3柵極焊盤連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的開關(guān)元件，其特征在于，具有: 第I附加?xùn)艠O焊盤，其形成在所述襯底；以及 第I附加電阻部，其形成在所述襯底，將所述第I柵極焊盤與所述第I附加?xùn)艠O焊盤連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的開關(guān)元件，其特征在于，具有: 第2附加?xùn)艠O焊盤，其形成在所述襯底；以及 第2附加電阻部，其形成在所述襯底，將所述第2附加?xùn)艠O焊盤與所述第I附加?xùn)艠O焊盤連接。5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的開關(guān)元件，其特征在于， 所述第I柵極焊盤位于所述單元區(qū)域的外側(cè)， 該開關(guān)元件具有連接部，該連接部形成在所述襯底，將所述第I柵極焊盤與所述單元區(qū)域連接。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的開關(guān)元件，其特征在于， 所述連接部由配線形成。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的開關(guān)元件，其特征在于， 所述連接部由電阻部分形成。8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的開關(guān)元件，其特征在于，具有: 包含所述第I柵極焊盤以及所述第2柵極焊盤的多個(gè)柵極焊盤；以及 包含所述第I電阻部的多個(gè)電阻部，其將所述多個(gè)柵極焊盤連接，以使得所述多個(gè)柵極焊盤全部與所述第I柵極焊盤電連接， 所述多個(gè)柵極焊盤以包圍所述單元區(qū)域的方式形成。9.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的開關(guān)元件，其特征在于， 所述第I柵極焊盤形成在所述單元區(qū)域內(nèi)。10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的開關(guān)元件，其特征在于， 所述襯底由寬帶隙半導(dǎo)體形成。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的開關(guān)元件，其特征在于， 所述寬帶隙半導(dǎo)體為碳化硅、氮化鎵類材料或者金剛石。12.一種半導(dǎo)體裝置，其特征在于， 該半導(dǎo)體裝置具有多個(gè)開關(guān)元件，該開關(guān)元件具有:襯底;第I柵極焊盤，其形成在所述襯底;第2柵極焊盤，其形成在所述襯底;第1電阻部，其形成在所述襯底，將所述第I柵極焊盤與所述第2柵極焊盤連接;以及單元區(qū)域，其形成在所述襯底，與所述第I柵極焊盤連接， 該半導(dǎo)體裝置具有對(duì)控制信號(hào)進(jìn)行供給的多根導(dǎo)線，該多根導(dǎo)線分別與多個(gè)所述開關(guān)元件的所述第I柵極焊盤、或者所述第2柵極焊盤連接。13.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法，其特征在于，具有: 制造開關(guān)元件的工序，該開關(guān)元件具有襯底、第I柵極焊盤、第2柵極焊盤、第I電阻部以及單元區(qū)域，該第I柵極焊盤形成在所述襯底，該第2柵極焊盤形成在所述襯底，該第I電阻部形成在所述襯底，將所述第I柵極焊盤與所述第2柵極焊盤連接，該單元區(qū)域形成在所述襯底，與所述第I柵極焊盤連接； 使探針觸碰所述第I柵極焊盤和所述第2柵極焊盤而測(cè)量所述第I電阻部的電阻值的工序；以及 在所述電阻值符合標(biāo)準(zhǔn)的情況下將所述開關(guān)元件搭載至模塊的工序。14.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法，其特征在于，具有: 制造多個(gè)開關(guān)元件的工序，該開關(guān)元件具有襯底、第I柵極焊盤、第2柵極焊盤、第I電阻部以及單元區(qū)域，該第I柵極焊盤形成在所述襯底，該第2柵極焊盤形成在所述襯底，該第I電阻部形成在所述襯底，將所述第I柵極焊盤與所述第2柵極焊盤連接，該單元區(qū)域形成在所述襯底，與所述第I柵極焊盤連接； 分別針對(duì)多個(gè)所述開關(guān)元件，使探針觸碰所述第I柵極焊盤和所述第2柵極焊盤而測(cè)量所述第I電阻部的電阻值的工序；以及 選出多個(gè)所述開關(guān)元件之中所述電阻值處于所希望范圍內(nèi)的開關(guān)元件，將所選出的開關(guān)元件搭載至I個(gè)半導(dǎo)體裝置的工序。
【專利摘要】本發(fā)明涉及的開關(guān)元件的特征在于，具有：襯底；第1柵極焊盤，其形成在該襯底；第2柵極焊盤，其形成在該襯底；第1電阻部，其形成在該襯底，將該第1柵極焊盤與該第2柵極焊盤連接；以及單元區(qū)域，其形成在該襯底，與該第1柵極焊盤連接。由此，在完成柵極電阻內(nèi)置型的開關(guān)元件之后，能夠進(jìn)行該開關(guān)元件的柵極電阻值的測(cè)量和柵極電阻的選擇。
【IPC分類】H01L29/78, H01L27/04, H01L29/41, H01L29/49, H01L29/423, H01L21/822
【公開號(hào)】CN105531814
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380079465
【發(fā)明人】長(zhǎng)谷川滋, 森下和博, 木谷剛
【申請(qǐng)人】三菱電機(jī)株式會(huì)社
【公開日】2016年4月27日
【申請(qǐng)日】2013年9月9日
【公告號(hào)】DE112013007417T5, US20160148927, WO2015033476A1