一種真空光波導校準裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種真空光波導的校準裝置，適用于有真空環(huán)境需求的激光與物質相互作用領域，如激光驅動產(chǎn)生極紫外輻射、高次諧波、四波混頻、光譜展寬等。
【背景技術】
[0002]激光與物質的相互作用經(jīng)常會采用毛細管光波導的模式使之充分反應并獲得最佳的相位匹配關系。同時，為了使充滿毛細管的氣態(tài)物質不被污染，經(jīng)常需要將毛細管置于真空環(huán)境中，然后再充入純凈的特定工作物質。那么，如何將激光準確導入真空中的毛細管將面臨一定的校準挑戰(zhàn)。本發(fā)明由此產(chǎn)生。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對現(xiàn)有技術的上述技術問題，本發(fā)明提供了一種真空光波導校準裝置，可用于有真空環(huán)境需求的激光與物質相互作用領域，如激光驅動產(chǎn)生極紫外輻射、高次諧波、四波混頻、光譜展寬等領域，具有操作簡單、靈活性強和適用范圍廣等特點。
[0004]為達到上述目的，本發(fā)明是通過以下技術方案實現(xiàn)的:
一種真空光波導校準裝置，包括腔體直通管，所述腔體直通管內(nèi)安裝有空心細鋼管，所述空心細鋼管內(nèi)設有光波導毛細管，所述腔體直通管的兩端分別安裝有入射窗和出射窗，所述入射窗與腔體直通管之間設有入射調節(jié)裝置，所述出射窗和腔體直通管之間設有出射調節(jié)裝置。
[0005]所述的入射調節(jié)裝置包括入射二維平移臺一、入射二維平移臺二、入射觀察直通管、入射波紋管和三通管，所述入射二維平移臺一位于光波導毛細管的入口處，所述入射二維平移臺二與入射窗相鄰，所述入射觀察直通管與腔體直通管連接，所述空心細鋼管和光波導毛細管的端部位于入射觀察直通管內(nèi)部，所述入射波紋管的一端與入射觀察直通管連接，入射波紋管的另一端與三通管連接，所述入射窗位于三通管上，且三通管上設有接入端。
[0006]所述的出射調節(jié)裝置包括出射二維平移臺一、出射二維平移臺二、出射觀察直通管、出射波紋管和直通管，所述出射二維平移臺一位于光波導毛細管的出口處，所述出射二維平移臺二與出射窗相鄰，所述出射觀察直通管與腔體直通管連接，所述空心細鋼管和光波導毛細管的端部位于出射觀察直通管內(nèi)部，所述出射波紋管的一端與出射觀察直通管連接，出射波紋管的另一端與直通管連接，所述出射窗位于直通管上。
[0007]所述空心細鋼管的兩端均設有細鋼管支架，所述細鋼管支架位于腔體直通管的內(nèi)部。
[0008]所述的腔體直通管、入射調節(jié)裝置和入射窗之間均設有真空法蘭接口，所述的真空法蘭接口之間采用真空卡箍密封并鏈接;所述的腔體直通管、出射調節(jié)裝置和出射窗之間均設有真空法蘭接口，所述的真空法蘭接口之間采用真空卡箍密封并鏈接。
[0009]所述的入射觀察直通管和出射觀察直通管均透明。
[0010]所述的入射波紋管為入射可彎曲波紋管，所述的出射波紋管為出射可彎曲波紋管。
[0011]所述的入射窗和出射窗均采用KF盲板結構，所述盲板的圓心設挖孔，所述挖空位置通過透明窗片覆蓋密封。
[0012]所述的細鋼管支架包括內(nèi)圓環(huán)和外圓環(huán)，所述內(nèi)圓環(huán)咬住空心細鋼管，所述外圓環(huán)將空心細鋼管固定于腔體直通管的中心軸位置。
[0013]所述光波導校準裝置使用時，接入四通管，所述四通管的上部與光波導校準裝置連接，四通管的下部通過擋板閥安裝有真空栗，四通管的左部通過進氣鋼管連接有儲氣鋼瓶，且進入口安裝有進氣微調閥，四通管的右部安裝有真空計；入射窗的一側設有聚焦透鏡，激光從聚焦透鏡射入。
[0014]本發(fā)明的有益效果如下:
本發(fā)明利用入射窗將激光器發(fā)射的激光導入真空腔裝置，利用二維平移臺調節(jié)入射窗、毛細管、出射窗的位置，利用有觀察窗直通管觀察激光的準直位置，最后利用出射窗輸出與毛細管內(nèi)的工作物質相互作用后的特定激光，可快速便捷地實現(xiàn)光波導管的有效校準。本發(fā)明可應用于有真空環(huán)境需求的激光與物質相互作用領域，如激光驅動產(chǎn)生極紫外輻射、高次諧波、四波混頻、光譜展寬等領域，具有操作簡單、靈活性強和適用范圍廣等特點。
【附圖說明】
[0015]圖1為本發(fā)明的結構示意圖；
圖2為本發(fā)明中的入射窗和出射窗的結構示意圖；
圖3為本發(fā)明中的細鋼管支架結構示意圖；
圖4為本發(fā)明的使用狀態(tài)圖；
其中，I為腔體直通管、2為入射觀察直通管、3為出射觀察直通管、4為入射可彎曲波紋管、5為出射可彎曲波紋管、6為三通管、7為直通管、8為入射窗、9為出射窗、10為入射二維平移臺一、11為出射二維平移臺一、12為入射二維平移臺二、13為出射二維平移臺二、14為空心細鋼管、15為細鋼管支架、151為內(nèi)圓環(huán)、152為外圓環(huán)、16為光波導毛細管、17為接入端、18為激光、19為聚焦透鏡、20為四通管、21為進氣微調閥、22為進氣鋼管、23為儲氣鋼瓶、24為真空栗、25為擋板閥、26為真空計。
【具體實施方式】
[0016]下面結合具體實施例對本發(fā)明作進一步的說明，但本發(fā)明的保護范圍并不限于此。
[0017]如圖1-3所示，本發(fā)明的真空光波導校準裝置，包括腔體直通管I，腔體直通管I內(nèi)安裝有空心細鋼管14，空心細鋼管14內(nèi)設有光波導毛細管16，空心細鋼管14的兩端均設有細鋼管支架15，細鋼管支架15位于腔體直通管I的內(nèi)部;細鋼管支架15包括內(nèi)圓環(huán)151和外圓環(huán)152，內(nèi)圓環(huán)151咬住空心細鋼管14，外圓環(huán)152將空心細鋼管14固定于腔體直通管I的中心軸位置。
[0018]本發(fā)明中的腔體直通管I的兩端分別安裝有入射窗8和出射窗9，入射窗8和出射窗9均采用KF盲板結構，盲板的圓心設挖孔，挖空位置通過透明窗片覆蓋密封。
[0019]本發(fā)明中的入射窗8與腔體直通管I之間設有入射調節(jié)裝置，出射窗9和腔體直通管I之間設有出射調節(jié)裝置。
[0020]本發(fā)明中的入射調節(jié)裝置包括入射二維平移臺一10、入射二維平移臺二 12、入射觀察直通管2、入射波紋管4和三通管6，入射二維平移臺一 10位于光波導毛細管16的入口處，入射二維平移臺二 12與入射窗8相鄰，入射觀察直通管2與腔體直通管I連接，空心細鋼管14和光波導毛細管16的端部位于入射觀察直通管2內(nèi)部，入射波紋管4的一端與入射觀察直通管2連接，入射波紋管4的另一端與三通管6連接，入射窗8位于三通管6上，且三通管6上設有接入端17，使用時接入抽氣、進氣、測氣等裝置。
[0021]本發(fā)明中的出射調節(jié)裝置包括出射二維平移臺一11、出射二維平移臺二 13、出射觀察直通管3、出射波紋管5和直通管7，出射二維平移臺一11位于光波導毛細管16的出口處，出射二維平移臺二 13與出射窗9相鄰，出射觀察直通管3與腔體直通管I連接，空心細鋼管14和光波導毛細管16的端部位于出射觀察直通管3內(nèi)部，出射波紋管5的一端與出射觀察直通管3連接，出射波紋管5的另一端與直通管7連接，出射窗9位于直通管7上。
[0022]本發(fā)明中的入射觀察直通管2和入射觀察直通管3需采用透明材料定制，以方便觀察激光準直情況。
[0023]本發(fā)明中的