0可為具有固定盒來固持多個(gè)基板的容器。FOUP 110可各自具有前 開孔接口，所述前開孔接口配置來與工廠接口 108-起使用。在其他實(shí)施方式中，任何合適 種類的艙及/或負(fù)載接口可用來取代FOUP 110。工廠接口 108可具有一或更多個(gè)機(jī)器人(未 圖示），一或更多個(gè)機(jī)器人配置來經(jīng)由FOUP 110與負(fù)載鎖定腔室106之間的線性、旋轉(zhuǎn)的、 及/或垂直移動，W任何順序或方向來傳送基板。電子裝置制造系統(tǒng)100可具有其他合適數(shù) 量的 FOUP 110。
[0042] 控制器112可控制基板的某些或全部的處理與傳送進(jìn)與通過電子裝置制造系統(tǒng) 100?？刂破?12可為例如通用目標(biāo)計(jì)算機(jī)，及/或控制器112可包括微處理器或其他合適的 CPlK中央處理單元）、用于存儲控制電子裝置制造系統(tǒng)100的軟件例程的存儲器、輸入/輸出 周邊、與支持電路(像是例如，電源、頻率電路、用于驅(qū)動機(jī)器人的電路、快取、及/或類似 者)。
[0043] 在其他實(shí)施方式中，電子裝置制造系統(tǒng)100可具有其他合適數(shù)量與配置的傳送腔 室1〇2(包括其他合適的形狀）、處理腔室104、及/或負(fù)載鎖定腔室106,每個(gè)腔室可為傳統(tǒng)的 設(shè)計(jì)及/或架構(gòu)。
[0044] 傳送腔室102W及每個(gè)處理腔室104與負(fù)載鎖定腔室106可具有一或更多個(gè)腔室端 口 114。腔室端口 114可為腔室的側(cè)壁中的開孔，配置來允許水平定向的基板經(jīng)由機(jī)器人或 其他合適的機(jī)構(gòu)而傳送通過其中。每個(gè)腔室端口 114可為例如伸長的狹孔或狹縫。腔室端口 114可具有其他合適的配置。每個(gè)腔室端口 114可配置成禪接于腔室端口組件116的一側(cè)。
[0045] 多個(gè)腔室端口組件116可包括于電子裝置制造系統(tǒng)100中。腔室端口組件116可配 置來在腔室的對應(yīng)腔室端口 114處接合（interface)-個(gè)腔室與另一腔室。例如，如同圖1所 示，個(gè)別的腔室端口組件116可接合傳送腔室102與處理腔室104及/或負(fù)載鎖定腔室106。一 個(gè)腔室可禪接于腔室端口組件116的一側(cè)，且另一腔室可禪接于腔室端口組件116的相對 側(cè)。腔室端口組件116可具有基板傳送區(qū)域在其中，通過基板傳送區(qū)域可經(jīng)由機(jī)器人或其他 合適的機(jī)構(gòu)將水平定向的基板傳送于相鄰的腔室之間。腔室端口組件116可包括流量閥機(jī) 構(gòu)或其他合適的裝置，用于打開與關(guān)閉至基板傳送區(qū)域的開孔。
[0046] 圖2根據(jù)一或更多個(gè)實(shí)施方式，繪示禪接于處理腔室204(其中移除了蓋體)的腔室 端口組件216。腔室端口組件216可包括框體218，框體218具有多個(gè)禪接位置220(圖2中僅標(biāo) 示出=個(gè))形成于框體218接合于腔室的每一側(cè)上。禪接位置220可為例如螺孔，配置來接收 對應(yīng)的螺紋緊固件。例如，腔室端口組件216可利用多個(gè)緊固件而禪接于處理腔室204,緊固 件可具有螺紋部，緊固件插設(shè)通過處理腔室204的側(cè)壁中的對應(yīng)通孔并且被接收于框體218 上所形成的個(gè)別多個(gè)禪接位置220中。一或更多個(gè)0形環(huán)可設(shè)置于腔室端口組件216與處理 腔室204之間，W提供防空氣的密封于其間。防空氣的密封允許基板通過腔室之間，而不會 使任一腔室喪失其中的真空壓力。腔室端口組件216可用任何其他合適的方式禪接于處理 腔室204。
[0047] 腔室端口組件216可具有第一腔室側(cè)部322，第一腔室側(cè)部322可為處理腔室側(cè)部， 如同圖3A與圖3B所示。第一腔室側(cè)部322可配置來禪接于例如如同上述的處理腔室204,及/ 或禪接于任一處理腔室104。第一腔室側(cè)部322可具有第一開孔324,第一開孔324的尺寸經(jīng) 過設(shè)計(jì)，W允許水平定向的基板經(jīng)由機(jī)器人或其他合適的機(jī)構(gòu)而傳送通過其中。如同上述， 第一腔室側(cè)部322可具有多個(gè)禪接位置220(圖3A中標(biāo)示出屯個(gè))形成于框體218上，用于禪 接于處理腔室。第一腔室側(cè)部322也可具有一或更多個(gè)0形環(huán)326設(shè)置于其上，W提供與處理 腔室的防空氣密封。
[004引腔室端口組件216可具有第二腔室側(cè)部328，第二腔室側(cè)部328可為傳送腔室側(cè)部， 如同圖3C與圖3D所示。第二腔室側(cè)部328可配置來禪接于例如傳送腔室102。第二腔室側(cè)部 328可具有一或更多個(gè)O形環(huán)327(僅圖示一個(gè))設(shè)置于其上，W提供腔室端口組件216與傳送 腔室之間的防空氣密封。第二腔室側(cè)部328可具有第二開孔330,第二開孔330的尺寸經(jīng)過設(shè) 計(jì)，W允許水平定向的基板經(jīng)由機(jī)器人或其他合適的機(jī)構(gòu)而傳送通過其中。第二開孔330可 大于第一開孔324?；鍌魉蛥^(qū)域332可位于第一腔室側(cè)部322與第二腔室側(cè)部328之間，且 更具體地，位于第一開孔324與第二開孔330之間。當(dāng)基板經(jīng)由機(jī)器人或其他合適的機(jī)構(gòu)通 過腔室端口組件216從第一腔室傳送至第二腔室（其可為處理腔室與傳送腔室，或反之亦 然)時(shí)，基板傳送區(qū)域332可配置來接收通過其中的基板。
[0049] 腔室端口組件216可包括流量閥機(jī)構(gòu)234。流量閥機(jī)構(gòu)234可包括流量閥口 336 (見 圖3B與圖3D)與致動汽缸238，所述致動汽缸238用于操縱流量閥口 336。在某些實(shí)施方式中， 流量閥口336與致動汽缸238可位于基板傳送區(qū)域332中。流量閥口336可配置成具有打開與 關(guān)閉位置。在打開位置中，基板可經(jīng)由機(jī)器人或其他合適的機(jī)構(gòu)通過基板傳送區(qū)域332W及 第一與第二開孔324與330傳送。在關(guān)閉位置中，流量閥口336可密封第一開孔324, W提供禪 接于腔室端口組件216的相鄰腔室之間的防空氣界線。在某些實(shí)施方式中，流量閥機(jī)構(gòu)234 可為L形移動流量閥機(jī)構(gòu)。流量閥機(jī)構(gòu)234可另外為任何合適及/或傳統(tǒng)的架構(gòu)。其他合適的 裝置可替代地用于打開與關(guān)閉腔室端口組件216。
[0050] 圖4A至圖4E根據(jù)一或更多個(gè)實(shí)施方式，繪示腔室端口組件216的子組件400,子組 件400可配置來提供凈化氣體功能給基板傳送區(qū)域332。基板傳送區(qū)域332中與周圍的凈化 氣體功能可減少腔室端口組件部件與密封組件的氧化及/或腐蝕，可減少基板傳送區(qū)域332 中產(chǎn)生的微粒狀物質(zhì)，及/或可凈化基板傳送區(qū)域332的微粒狀物質(zhì)，微粒狀物質(zhì)來自腔室 硬件并且可能遷移至正傳送通過腔室端口組件216的基板上。腔室端口組件216的子組件 400可包括蓋體440、一或更多個(gè)氣體導(dǎo)管構(gòu)件442、框插件444、與一或更多個(gè)氣體噴嘴446 (在圖4A與圖4B的每一圖中僅標(biāo)示四個(gè)）。圖4A與圖4B繪示來自腔室端口組件216的第一腔 室側(cè)部322的蓋體440、框插件444、與氣體噴嘴446,而圖4C、圖4D與圖4E繪示來自腔室端口 組件216的第二腔室側(cè)部328的蓋體440、氣體導(dǎo)管構(gòu)件442、與框插件444。
[0051] 如同圖4C最佳圖示的，當(dāng)流量閥口336在關(guān)閉位置中時(shí)，流量閥口336可抵接于框 插件444并且密封第一開孔324。也就是說，流量閥口 336可由流量閥機(jī)構(gòu)234的致動汽缸238 而坐落于框插件444中并且偏移相抵于框插件444, W產(chǎn)生防空氣密封于第一開孔324處。 [0化2]圖5A至圖5C繪示蓋體440,蓋體440在某些實(shí)施方式中可坐落于每一氣體導(dǎo)管構(gòu)件 442上或?qū)佑诿恳粴怏w導(dǎo)管構(gòu)件442(注意到，圖4C僅繪示一個(gè)氣體導(dǎo)管構(gòu)件442)。換句話 說，蓋體440可能不是直接機(jī)械性緊固或附接至氣體導(dǎo)管構(gòu)件442。而是，如同圖5A所示，蓋 體440可具有多個(gè)通孔548(僅標(biāo)示出S個(gè))形成于蓋體440的頂表面549中。通孔548可各自 配置來接收緊固件450(見圖4A至圖4E)，緊固件450用于附接蓋體440至腔室端口組件216的 框體218(見圖5B)。緊固件450可為例如有螺紋的螺絲或螺釘。如同圖5C所示，坐落于蓋體 440的底表面559周界周圍的凹槽中的0形環(huán)527可用于提供與框體218的防空氣密封。蓋體 440可用任何其他合適的方式固定至框體218。在其他實(shí)施方式中，蓋體440可替代地或額外 地直接機(jī)械性緊固或附接至氣體導(dǎo)管構(gòu)件442。
[0053] 也如同圖5A所示，蓋體440可具有氣體入口 552形成于頂表面549中。氣體入口 552 可配置來禪接于氣體入口連接器354 (如同圖3A至圖3D所示），氣體入口連接器354接著可禪 接于氣體管線355,氣體管線355可禪接于氣體傳送裝置356。氣體入口連接器354、氣體管線 355、與氣體裝置356的某些或全部可為傳統(tǒng)的設(shè)計(jì)及/或架構(gòu)。在某些實(shí)施方式中，氣體傳 送裝置356可配置來傳送凈化氣體(像是例如，氮)至腔室端口組件216,如同下面另外敘述 的。
[0054] 圖5B繪示蓋體440(其中沿著圖5A的截面線5A-5B而移除頂表面549)，蓋體440附接 于框體218。蓋體440可具有氣體通道557內(nèi)部地且縱向地延伸通過蓋體440。氣體通道558可 流體連通于氣體入口 552 W及氣體出口 558a與558b。如同圖5C所示，氣體出口 558a與558b可 延伸通過蓋體440的底表面559。蓋體440可由侶、不誘鋼、一或更多個(gè)鐵類材料及/或任何其 他合適的材料制成。
[0055] 圖6A至圖6B根據(jù)一或更多個(gè)實(shí)施方式，繪示氣體導(dǎo)管構(gòu)件442。在某些實(shí)施方式 中，一或更多個(gè)氣體導(dǎo)管構(gòu)件442可設(shè)置于蓋體440與框插件444之間，如同也許圖4E最佳繪 示的。氣體導(dǎo)管構(gòu)件442可利用螺釘或螺絲而附接于框插件444。例如，氣體導(dǎo)管構(gòu)件442可 具有多個(gè)通孔648,多個(gè)通孔648配置成對準(zhǔn)于框插件444上所形成的禪接位置460a-d(見例 如圖4D)。禪接位置460a-d可各自為有螺紋的孔，配置來接收有螺紋的螺釘或螺絲，有螺紋 的螺釘或螺絲可為例如頭部為六角形的螺釘或螺絲，為了方便性，利用中空、頭部為六角形 的鎖鑰工具來安裝與移除。在某些實(shí)施方式中，例如，四個(gè)禪接位置的兩個(gè)禪接位置460a與 460c可為對準(zhǔn)的暗禪，配置成被接收于四個(gè)對準(zhǔn)的通孔648的兩個(gè)中，其中螺釘或螺絲可拴 緊通過另兩個(gè)通孔648進(jìn)入對準(zhǔn)的禪接位置46化與460d。氣體導(dǎo)管構(gòu)件442可用任何其他合 適的方式附接于框插件444或腔室端口組件216的任何其他合適部件。氣體導(dǎo)管構(gòu)件442可 為