一種復合式圖像傳感器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及圖像傳感技術領域，具體涉及一種復合式圖像傳感器。
【背景技術】
[0002]圖像傳感器是一種將光信號轉換成電信號的設備，其廣泛地應用在相機、具有攝像頭的手機等電子設備中；復合式圖像傳感器是指集成有可感應多個光波并識別出各光波圖像的器件的圖像傳感器，如集成有可感應紅外光和可見光，并識別出紅外光圖像和可見光圖像的紅外光和可見光的復合式圖像傳感器。復合式圖像傳感器由于集成了多光波的感應功能，且可實現(xiàn)器件的小型化，因此在圖像傳感器領域變得尤其重要和實用；如集成有可感應紅外光和可見光的復合式圖像傳感器，可基于對紅外光信號的捕捉，實現(xiàn)人臉識別，指紋識別，虹膜識別等應用，基于對可見光信號的捕捉，實現(xiàn)環(huán)境拍攝，輔助識別等應用。
[0003]本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，由于不同光波的波長相差比較大，這就導致現(xiàn)有復合式圖像傳感器形成的各光波的圖像不在一個平面，各光波的焦距無法兼顧的問題，導致圖像品質下降的現(xiàn)象;如可見光與紅外光的波長相差比較大，圖像傳感器的可見光對焦完美時，紅外光就虛焦，而紅外光對焦完美時，可見光就虛焦，這就導致復合式圖像傳感器形成的可見光圖像和紅外光圖像不在一個平面，圖像品質下降。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]有鑒于此，本發(fā)明實施例提供一種復合式圖像傳感器，以解決復合式圖像傳感器形成的各光波的圖像不在一個平面，各光波的焦距無法兼顧的問題，提升圖像品質。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實施例提供如下技術方案:
[0006]—種復合式圖像傳感器，包括:
[0007]處理電信號的配線層；
[0008]堆疊于所述配線層第一方向的將第一光波信號轉換為電信號的第一光電二極管層；
[0009]堆疊于所述配線層第二方向的將第二光波信號轉換為電信號的第二光電二極管層，所述第一方向與所述第二方向相反。
[0010]其中，所述第一方向為上，所述第一光電二極管層堆疊于所述配線層上;所述第二方向為下，所述第二光電二極管層堆疊于所述配線層下。
[0011]其中，所述配線層的厚度與第一光波圖像和第二光波圖像的像面偏差相應。
[0012]其中，所述復合式圖像傳感器還包括:
[0013]感應第一光波信號的第一微透鏡層；
[0014]感應第二光波信號的第二微透鏡層;所述第一微透鏡層與所述第二微透鏡層處于同一層；
[0015]堆疊于所述第一微透鏡層下的濾光片層；
[0016]堆疊于所述第二微透鏡層下，通過所述第二光波信號的第二光波通過層;所述第二光波通過層不設置濾光片，且所述第二光波通過層與所述濾光片層處于同一層。
[0017]其中，所述第一光電二極管層堆疊于所述濾光片層下；
[0018]所述復合式圖像傳感器還包括:
[0019]堆疊于所述第二光波通過層下，導通所述第二光波信號的第二光波導光層;所述第一光電二極管層與所述第二光波導光層處于同一層。
[0020]其中，所述復合式圖像傳感器還包括:
[0021]堆疊于所述第二光電二極管層下的基板層。
[0022]其中，所述第一光波信號為可見光信號，所述第二光波信號為紅外光信號。
[0023]其中，所述第二微透鏡層為紅外光微透鏡層；
[0024]所述第一微透鏡層包括:
[0025]感應紅光信號的紅光微透鏡層；
[0026]感應綠光信號的綠光微透鏡層；
[0027]感應藍光信號的藍光微透鏡層；
[0028]所述紅光微透鏡層，綠光微透鏡層，藍光微透鏡層和所述紅外光微透鏡層處于同一層；
[0029]所述第二光波通過層為紅外光通過層；
[0030]所述濾光片層包括:
[0031 ]堆疊于所述紅光微透鏡層下的紅光濾光片層；
[0032]堆疊于所述綠光微透鏡層下的綠光濾光片層；
[0033]堆疊于所述藍光微透鏡層下的藍光濾光片層；
[0034]所述紅光濾光片層，綠光濾光片層，藍光濾光片層和所述紅外光通過層處于同一層。
[0035]其中，所述第二光波導光層為紅外光導光層;所述第一光電二極管層包括:
[0036]堆疊于所述紅光濾光片層下的將紅光信號轉換為電信號的紅光電二極管層；
[0037]堆疊于所述綠光濾光片層下的將綠光信號轉換為電信號的綠光電二極管層；
[0038]堆疊于所述藍光濾光片層下的將藍光信號轉換為電信號的藍光電二極管層；
[0039]所述紅光電二極管層，綠光電二極管層，藍光電二極管層和紅外光導光層處于同一層。
[0040]其中，所述第二微透鏡層的曲面弧度小于第一微透鏡層的曲面弧度。
[0041]基于上述技術方案，本發(fā)明實施例提供的復合式圖像傳感器中，將第一光波信號轉換為電信號的第一光電二極管層堆疊于配線層的第一方向，將第二光波信號轉換為電信號的第二光電二極管層堆疊于配線層的第二方向，且第一方向與第二方向相反;通過設置第一光電二極管層和第二光電二極管層不在同一層，且由配線層隔離開，可對第一光波信號和第二光波信號的焦距進行兼顧調(diào)整，能夠使得復合式圖像傳感器形成的第一光波圖像和第二光波圖像處在一個平面，提升圖像品質。
【附圖說明】
[0042]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。
[0043]圖1為本發(fā)明實施例提供的復合式圖像傳感器的結構示意圖；
[0044]圖2為本發(fā)明實施例提供的復合式圖像傳感器的另一結構示意圖；
[0045]圖3為本發(fā)明實施例提供的復合式圖像傳感器的再一結構示意圖；
[0046]圖4為本發(fā)明實施例提供的復合式圖像傳感器的又一結構示意圖；
[0047]圖5為可見光和紅外光的成像面示意圖。
【具體實施方式】
[0048]下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0049]圖1為本發(fā)明實施例提供的復合式圖像傳感器的結構示意圖，參照圖1，本發(fā)明實施例提供的復合式圖像傳感器可以包括:配線層1，第一光電二極管層2，和第二光電二極管層3 ；
[0050]其中，配線層I可用于處理電信號；同時，配線層還可實現(xiàn)電信號的讀??；
[0051]第一光電二極管層2堆疊于配線層I的第一方向，第一光電二極管層2可將第一光波信號轉換為電信號；
[0052]第二光電二極管層3堆疊于配線層I的第二方向，第二光電二極管層3可將第二光波信號轉換為電信號;其中，第一方向與第二方向相反；
[0053]圖1所示中，第一光電二極管層2堆疊于配線層I上，第二光電二極管層3堆疊于配線層I下，即第一方向為上，第二方向為下；
[0054]另一方面，本發(fā)明實施例并不排除第一光電二極管層2堆疊于配線層I下，第二光電二極管層3堆疊于配線層I上的情況，即第一方向為下，第二方向為上。
[0055]本發(fā)明實施例提供的復合式圖像傳感器中，將第一光波信號轉換為電信號的第一光電二極管層堆疊于配線層的第一方向，將第二光波信號轉換為電信號的第二光電二極管層堆疊于配線層的第二方向，且第一方向與第二方向相反;通過設置第一光電二極管層和第二光電二極管層不在同一層，且由配線層隔離開，可對第一光波信號和第二光波信號的焦距進行兼顧調(diào)整，能夠使得復合式圖像傳感器形成的第一光波圖像和第二光波圖像處在一個平面，提升圖像品質。
[0056]可選的，配線層的厚度可根據(jù)第一光波圖像和第二光波圖像的像面偏差調(diào)整，第一光波圖像為第一光波信號相應形成的圖像，第二光波圖像為第二光波信號相應形成的圖像；
[0057]優(yōu)選的，配線層的厚度可與第一光波圖像和第二光波圖像的像面偏差相應；
[0058]如以第一光波信號為可見光信號，第二光波信號為紅外光信號為例，可見光與紅外光的理論像面偏差為18微米，本發(fā)明實施例可設置配線層的厚度與可見光和紅外光的理論像面偏差相應，即可見光與紅外光的理論像面偏差是多少，配線層就是多厚；
[0059]通過設置配線層的厚度與第一光波圖像和第二光波圖像的像面偏差相應，可使得配線層的厚度兼顧第一光波信號和第二光波信號的焦距進行調(diào)整，進一步使得復合式圖像傳感器形成的第一光波圖像和第二光波圖像處在一個平面，提升圖像品質。
[0060]圖2示出了本發(fā)明實施例提供的復合式圖像傳感器的另一結構示意圖，結合圖1和圖2所示，本發(fā)明實施例提供的復合