基板表面的連接 端子的電連接性的評(píng)價(jià)方法的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0053] 以下對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。此外，本說(shuō)明書(shū)中的"(甲基)丙烯酸 酯"是指"丙烯酸酯"以及"甲基丙烯酸酯"。同樣地，"（甲基）丙烯酸"是指"丙烯酸"以及"甲 基丙烯酸"，"(甲基)丙烯?；?是指"丙烯酰基"以及"甲基丙烯?；?。另外，用"~"表示的 數(shù)值范圍表示將記載于"~"前后的數(shù)值分別作為最小值及最大值并包括在內(nèi)的范圍。 [0054]本實(shí)施方式的感光性導(dǎo)電膜具備支撐膜、含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層、以及含有感 光性樹(shù)脂及無(wú)機(jī)填料的感光性樹(shù)脂層。
[0055] 另外，本實(shí)施方式的導(dǎo)電圖案的形成方法具備下述工序:對(duì)于上述感光性導(dǎo)電膜， 將導(dǎo)電層及感光性樹(shù)脂層按照導(dǎo)電層密合在基材上的方式層壓的工序;和通過(guò)將基材上的 感光性樹(shù)脂層及導(dǎo)電層進(jìn)行曝光及顯影，從而形成導(dǎo)電圖案的工序。
[0056] 本說(shuō)明書(shū)中，導(dǎo)電層與感光性樹(shù)脂層的邊界無(wú)需一定明確。導(dǎo)電層只要是在感光 層的面方向上得到導(dǎo)電性即可，也可以為在導(dǎo)電層中混合了感光性樹(shù)脂層的形態(tài)。例如，可 以在導(dǎo)電層中含浸構(gòu)成感光性樹(shù)脂層的組合物，或者可以構(gòu)成感光性樹(shù)脂層的組合物存在 于導(dǎo)電層的表面上。
[0057] 圖1是表示感光性導(dǎo)電膜的一個(gè)例子的示意截面圖。圖1所示的感光性導(dǎo)電膜10具 備:第一膜(覆膜）1、設(shè)置在第一膜1上的感光層4和設(shè)置在感光層4上的第二膜(支撐膜)5。 感光層4由設(shè)置在覆膜1上的含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層2和設(shè)置在導(dǎo)電層2上的含有感光性 樹(shù)脂及無(wú)機(jī)填料的感光性樹(shù)脂層3構(gòu)成。
[0058] 以下，對(duì)構(gòu)成感光性導(dǎo)電膜10的覆膜1、含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層2、感光性樹(shù)脂層 3、感光性樹(shù)脂層3中所含的感光性樹(shù)脂及無(wú)機(jī)填料、以及支撐膜5分別詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。 [0059]作為覆膜1，可以列舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜、聚碳酸酯 膜等具有耐熱性和耐溶劑性的聚合物膜。這些之中，從透明性、耐熱性等觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為 聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜以及聚丙烯膜。
[0060] 上述聚合物膜優(yōu)選進(jìn)行了脫模處理以使得之后從導(dǎo)電層2上的剝離變得容易。
[0061] 本實(shí)施方式中，可以使覆膜1比支撐膜5更優(yōu)先地剝離。為此，支撐膜5與感光性樹(shù) 脂層3的粘接強(qiáng)度優(yōu)選大于導(dǎo)電層2與覆膜1的粘接強(qiáng)度。這些聚合物膜為了比支撐膜5更容 易剝離，優(yōu)選實(shí)施了厚度的調(diào)節(jié)、材質(zhì)的選擇以及表面處理。在調(diào)節(jié)厚度的情況下，覆膜1的 厚度與支撐膜5的厚之比優(yōu)選為1:1~1:10、更優(yōu)選為1:1.5~1:5、進(jìn)一步優(yōu)選為1:2~1:5。
[0062] 作為導(dǎo)電層2中含有的導(dǎo)電性纖維，可以列舉出金、銀、鉑等金屬纖維以及碳納米 管等碳纖維等。這些可以單獨(dú)使用1種或組合使用2種以上。從導(dǎo)電性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用 金纖維和/或銀纖維，從可以容易地調(diào)節(jié)所形成的導(dǎo)電圖案的導(dǎo)電性的觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選使 用銀纖維。金纖維以及銀纖維可以單獨(dú)使用1種或組合使用2種以上。
[0063] 上述金屬纖維例如可以通過(guò)用NaBH4等還原劑還原金屬離子的方法或多元醇法來(lái) 制備。另外，上述碳納米管可以使用Unidym公司的Hipco單層碳納米管等市售品。
[0064] 導(dǎo)電性纖維的纖維直徑優(yōu)選為1~50nm，更優(yōu)選為2~20nm，特別優(yōu)選為3~10nm。 另外，導(dǎo)電性纖維的纖維長(zhǎng)優(yōu)選為1~I OOwn，更優(yōu)選為2~50μηι，特別優(yōu)選為3~1 Ομπι。纖維 直徑以及纖維長(zhǎng)可以通過(guò)掃描型電子顯微鏡測(cè)定。
[0065] 導(dǎo)電層2的厚度也會(huì)根據(jù)使用本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膜而形成的導(dǎo)電圖案或其用 途、所要求的導(dǎo)電性等而不同，但優(yōu)選為Iwn以下，更優(yōu)選為Inm~0.5μηι，特別優(yōu)選為5nm~ 0· Ιμπι。導(dǎo)電層2的厚度為Ιμπι以下時(shí)，在450~650nm的波長(zhǎng)區(qū)域內(nèi)的透光率高，圖案形成性 也優(yōu)良，特別適合于制作透明電極。導(dǎo)電層2的厚度是指通過(guò)掃描型電子顯微鏡照片測(cè)定的 值。
[0066] 導(dǎo)電層2優(yōu)選具有導(dǎo)電性纖維彼此接觸而成的網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)。具有這樣的網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)的 導(dǎo)電層2可以形成在感光性樹(shù)脂層3的覆膜側(cè)表面上，但只要在剝離覆膜時(shí)露出的表面上在 其面方向上可得到導(dǎo)電性，則也可以以在感光性樹(shù)脂層3的支撐膜側(cè)表層中含有的形態(tài)形 成。
[0067] 含有導(dǎo)電性纖維的導(dǎo)電層2例如可以如下形成:將上述導(dǎo)電性纖維加入了水和/或 有機(jī)溶劑、根據(jù)需要的表面活性劑等分散穩(wěn)定劑等的導(dǎo)電性纖維分散液涂布到覆膜1上，然 后進(jìn)行干燥，由此形成。另外，干燥后，可以對(duì)所形成的導(dǎo)電層2進(jìn)一步加壓。通過(guò)加壓形成 導(dǎo)電層，導(dǎo)電性纖維間的接觸點(diǎn)增加，從而可以使導(dǎo)電性提高。作為此時(shí)的線壓，優(yōu)選為0.6 ~2. OMPa，更優(yōu)選為1.0 ~1.5MPa。導(dǎo)電層2中，導(dǎo)電性纖維也可以與表面活性劑、分散穩(wěn)定 劑等共存。
[0068] 涂飾例如可以通過(guò)輥涂法、逗號(hào)涂布法、凹版涂布法、氣刀涂布法、模涂法、棒涂 法、以及噴涂法等公知的方法進(jìn)行。另外，干燥可以通過(guò)在30~150°C下用熱風(fēng)對(duì)流式干燥 機(jī)等進(jìn)彳丁1~30分鐘左右。
[0069] 感光性樹(shù)脂層3是含有感光性樹(shù)脂及無(wú)機(jī)填料的層。作為感光性樹(shù)脂層3,可以列 舉出例如由含有(A)粘合劑聚合物、（B)具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物、（C)光聚合引 發(fā)劑以及(D)無(wú)機(jī)填料的感光性樹(shù)脂組合物形成的感光性樹(shù)脂層。
[0070] 作為(A)粘合劑聚合物，可以列舉出丙烯酸樹(shù)脂、苯乙烯樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、酰胺樹(shù) 月旨、酰胺環(huán)氧樹(shù)脂、醇酸樹(shù)脂、酚醛樹(shù)脂等。這些可以單獨(dú)使用或者組合使用2種以上。
[0071] (A)粘合劑聚合物例如可以通過(guò)使聚合性單體發(fā)生自由基聚合來(lái)制造。作為上述 聚合性單體，可以列舉出：苯乙烯、乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯等α-位或芳香族環(huán)中被取代 的可聚合的苯乙烯衍生物；二丙酮丙烯酰胺等丙烯酰胺；丙烯腈；乙烯基-正丁基醚等乙烯 基醇的醚類；（甲基)丙烯酸烷基酯、（甲基）丙烯酸芳酯、（甲基）丙烯酸四氫糠酯、（甲基）丙 烯酸二甲基氨基乙酯、（甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、（甲基)丙烯酸縮水甘油酯、（甲基)丙 烯酸2,2,2_三氟乙酯、（甲基)丙烯酸2,2,3,3_四氟丙酯等（甲基)丙烯酸酯；（甲基)丙烯酸、 溴丙烯酸、α-氯丙烯酸、β-呋喃基丙烯酸、β-苯乙烯基丙烯酸、馬來(lái)酸、馬來(lái)酸酐、馬來(lái)酸 單甲酯、馬來(lái)酸單乙酯、馬來(lái)酸單異丙酯、馬來(lái)酸環(huán)己酯等馬來(lái)酸單酯、富馬酸、肉桂酸、α-氰基肉桂酸、衣康酸、巴豆酸、丙炔酸等。
[0072]作為上述（甲基)丙烯酸烷基酯，可以列舉出：（甲基)丙烯酸甲酯、（甲基)丙烯酸乙 酯、（甲基)丙烯酸丙酯、（甲基)丙烯酸丁酯、（甲基)丙烯酸戊酯、（甲基)丙烯酸己酯、（甲基） 丙烯酸庚酯、（甲基）丙烯酸辛酯、（甲基）丙烯酸2-乙基己酯、（甲基)丙烯酸壬酯、（甲基）丙 烯酸癸酯、（甲基）丙烯酸十一烷基酯、（甲基）丙烯酸十二烷基酯、（甲基）丙烯酸二環(huán)戊酯 等。
[0073] 作為上述（甲基)丙烯酸芳酯，可以列舉出（甲基)丙烯酸芐酯等。
[0074] 作為上述聚合性單體，除此以外還可以列舉出2官能的（甲基)丙烯酸酯等。具體而 言，可以列舉出乙二醇二（甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二（甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二（甲基） 丙烯酸酯、丙二醇二（甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二（甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二（甲基)丙烯 酸酯。這些可以單獨(dú)使用或者組合使用2種以上。
[0075] 本實(shí)施方式中，（A)粘合劑聚合物優(yōu)選含有來(lái)自（a)(甲基)丙烯酸以及(b)(甲基） 丙烯酸烷基酯的結(jié)構(gòu)單元的共聚物。
[0076] 從使堿顯影性更加良好的觀點(diǎn)出發(fā)，（A)粘合劑聚合物優(yōu)選具有羧基。作為用于得 到這樣的粘合劑聚合物的具有羧基的聚合性單體，可以列舉出如上所述的（甲基）丙烯酸 等。
[0077] (A)粘合劑聚合物所具有的羧基的比率以具有羧基的聚合性單體相對(duì)于用于得到 粘合劑聚合物的全部聚合性單體的比例計(jì)優(yōu)選為10~50質(zhì)量％，更優(yōu)選為12~40質(zhì)量％， 特別優(yōu)選為15~30質(zhì)量％，極其優(yōu)選為15~25質(zhì)量％。從堿顯影性優(yōu)良的方面考慮，優(yōu)選為 10質(zhì)量％以上，從堿耐受性優(yōu)良的方面考慮，優(yōu)選為50質(zhì)量％以下。
[0078] (A)粘合劑聚合物的重均分子量?jī)?yōu)選為10000~200000,從分辨率的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu) 選為15000~150000,更優(yōu)選為30000~150000,進(jìn)一步優(yōu)選為30000~100000。需要說(shuō)明的 是，重均分子量可以在與本申請(qǐng)說(shuō)明書(shū)的實(shí)施例相同的條件下測(cè)得。
[0079] 作為(B)成分即光聚合性化合物，可以使用具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物。
[0080] 作為具有烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物，可以列舉出單官能乙烯基單體、二官 能乙烯基單體、具有至少三個(gè)可聚合的烯屬不飽和鍵的多官能乙烯基單體等。
[0081] 作為上述單官能乙烯基單體，例如可以列舉出：作為上述(A)成分的優(yōu)選例子即共 聚物的合成中使用的上述聚合性單體。
[0082]作為上述二官能乙烯基單體，可以列舉出：聚乙二醇二（甲基)丙烯酸酯、三羥甲基 丙烷二（甲基）丙烯酸酯、聚丙二醇二（甲基）丙烯酸酯；雙酚A聚氧乙烯二（甲基）丙烯酸酯 (2,2_雙(4-(甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基苯基)丙烷）、雙酚A二縮水甘油基醚二（甲基)丙烯 酸酯；多元羧酸(鄰苯二甲酸酐等)與具有羥基和烯屬不飽和鍵的物質(zhì)(丙烯酸羥乙酯、甲 基丙烯酸羥乙酯等）的酯化物等。
[0083]作為上述具有至少三個(gè)可聚合的烯屬不飽和鍵的多官能乙烯基單體，可以列舉 出：三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、四羥甲基甲烷三（甲基）丙烯酸酯、四羥甲基甲烷四 (甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五（甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六（甲基)丙烯酸酯等使多元 醇與α，β-不飽和羧酸反應(yīng)而得到的化合物;三羥甲基丙烷三縮水甘油基醚三丙烯酸酯等使 含有縮水甘油基的化合物與α，β_不飽和羧酸加成而得到的化合物等。
[0084]作為(C)光聚合引發(fā)劑，可以列舉出：二苯甲酮、Ν，Ν，Ν'，Ν'_四甲基_4,4'_二氨基 二苯甲酮(米氏酮）、Ν，Ν，Ν'，Ν'_四乙基_4,4'_二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4'-二甲基氨基 二苯甲酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基）-丁酮-1、2-甲基-1-[4-(甲硫基）苯 基]-2-嗎啉代-丙酮-1等芳香族酮;苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻苯基醚等苯偶姻 醚化合物;苯偶姻、甲基苯偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻化合物；1，2-辛二酮，1-[4-(苯硫基） 苯基-,2-(0-苯甲?；浚、乙酮，1-[9_乙基-6-(2-甲基苯甲?；?9Η-咔唑-3-基]-，1-(0-乙?；浚┑入旷セ衔铮?,4,6_三甲基苯甲?；?二苯基-膦氧化物等膦氧化物化合 物;芐基二甲基縮酮等芐基衍生物;2-(鄰氯苯基)-4,5_二苯基咪唑二聚物、2-(鄰氯苯基)-4,5_二（甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(鄰氟苯基)-4,5_二苯基咪唑二聚物、2-(鄰甲氧基苯 基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(對(duì)甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物等2，4,5-三芳基 咪唑二聚物;9-苯基吖啶、1，7-雙(9，9 吖啶基)庚烷等吖啶衍生物;N-苯基甘氨酸、N-苯基 甘氨酸衍生物、噁唑化合物等。另外，可以提供二個(gè)2,4,5_三芳