太陽(yáng)能電池的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本公開(kāi)內(nèi)容的實(shí)施方式涉及太陽(yáng)能電池器件。
【背景技術(shù)】
[0002]用于制造用于利用太陽(yáng)能發(fā)電的太陽(yáng)能電池器件的方法可以為如下:首先，制備其上形成有背電極層的基板。然后，利用激光器對(duì)電極層進(jìn)行圖案化以形成若干背子電極。
[0003]之后，在背子電極上依次形成光吸收層、緩沖層以及高電阻緩沖層。為了形成光吸收層，已經(jīng)廣泛地采用兩種方法:在第一種方法中，通過(guò)同時(shí)或單獨(dú)地蒸發(fā)銅、銦、鎵以及砸來(lái)形成銅-銦-鎵-砸(Cu(In，Ga)Se25CIGS)基光吸收層；以及在第二方法中，形成金屬前體層，并且之后對(duì)前體層執(zhí)行砸化工藝以形成光吸收層。光吸收層具有約IeV至1.SeV的能帶間隙。
[0004]然后，在光吸收層上，利用濺射工藝形成包含硫化鎘(CdS)的緩沖層。緩沖層具有約2.2eV至2.4eV的能帶間隙。然后，在緩沖層上，利用濺射工藝形成包含氧化鋅(ZnO)的高電阻緩沖層。高電阻緩沖層具有約3.1eV至3.3eV的能帶間隙。
[0005]此后，在光吸收層、緩沖層和高電阻緩沖層的疊層中形成溝槽圖案。
[0006]然后，在高電阻緩沖層上，設(shè)置透明導(dǎo)電材料以填充溝槽圖案。以這樣的方式，在高電阻緩沖層上形成透明電極層，并且同時(shí)，填充溝槽圖案的導(dǎo)電材料分別用作連接線。透明電極層和連接線可以由例如摻有鋁的氧化鋅制成。透明電極層具有約3.1eV至3.3eV的能帶間隙。
[0007]然后，在透明電極層上，形成另外的溝槽圖案以形成若干太陽(yáng)能電池。透明電極和高電阻緩沖層中的每個(gè)可以與每個(gè)太陽(yáng)能電池對(duì)應(yīng)。透明電極和高電阻緩沖層可以以條帶或矩陣形式布置。
[0008]透明電極和背子電極是彼此不對(duì)準(zhǔn)的。因而，透明電極和背子電極可以分別經(jīng)由連接線電耦接至彼此。以這樣的方式，若干太陽(yáng)能電池可以以串聯(lián)方式電耦接至彼此。
[0009]光吸收層形成有背電極層。具體地，在圖案化背電極層上形成光吸收層。
[0010]然而，在沉積光吸收層之后，由于在光吸收層與背電極層之間和/或在背電極層的圖案化區(qū)域中光吸收層與支持基板之間的差的結(jié)合力，光吸收層可能從背電極層和支持基板剝離。這可以導(dǎo)致太陽(yáng)能電池的總電阻的增加，從而，導(dǎo)致太陽(yáng)能電池的總發(fā)電效率的劣化。
[0011]因此，存在具有防止光吸收層被剝離的太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)的需要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]本公開(kāi)內(nèi)容提供了一種具有提高的光伏效率的新穎的太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)。
[0013]在本公開(kāi)內(nèi)容的一個(gè)方面中，提供了一種太陽(yáng)能電池器件，其包括:支持基板;基板上的背電極層;背電極層上的光吸收層;光吸收層上的前電極層;并且其中，在背電極層中限定有第一通孔;其中，在基板的經(jīng)由第一通孔露出的頂面上形成有至少一個(gè)凸起。
[0014]根據(jù)本公開(kāi)內(nèi)容，可以配置該太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)，使得通過(guò)第一通槽形成在支持基板的露出的頂面上的凸起包含鉬和二砸化鉬的混合物。
[0015]具體地，每個(gè)凸起可以具有含量配置，使得二砸化鉬含量朝著其頂部，即光吸收層，增加。這可以導(dǎo)致在每個(gè)第一通槽中的光吸收層與支持基板之間的提高的結(jié)合力。
[0016]以這樣的方式，支持基板與光吸收層之間的提高的結(jié)合力可以防止所沉積的光吸收層被剝離。本公開(kāi)內(nèi)容的太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)可以具有提高的總光伏效率。
【附圖說(shuō)明】
[0017]附圖圖示了本公開(kāi)內(nèi)容的實(shí)施方式并且與說(shuō)明書(shū)一起用于說(shuō)明本公開(kāi)內(nèi)容的原理，其中，附圖被包括以提供對(duì)本公開(kāi)內(nèi)容的進(jìn)一步理解，并且附圖被并入本說(shuō)明書(shū)而且構(gòu)成本說(shuō)明書(shū)的一部分。在附圖中:
[0018]圖1圖示了本公開(kāi)內(nèi)容的一個(gè)實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池面板的頂視圖；
[0019]圖2圖示了本公開(kāi)內(nèi)容的一個(gè)實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)的橫截面視圖；
[0020]圖3圖示了圖2的“A”部分的放大的橫截面視圖；
[0021]圖4和圖5圖示了描述各種形式的凸起的相應(yīng)頂視圖；
[0022]圖6至圖12分別圖示了描述制造本公開(kāi)內(nèi)容的一個(gè)實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)的方法的橫截面視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]在附圖和下面進(jìn)一步所描述的中圖示了各種實(shí)施方式的示例。將理解的是，本文中的描述不意在將權(quán)利要求限制為所描述的【具體實(shí)施方式】。相反，意在覆蓋替代、修改及其等同方式，就像可以包括在由所附權(quán)利要求所限定的本公開(kāi)內(nèi)容的精神和范圍內(nèi)一樣。
[0024]將參照附圖更加詳細(xì)地描述示例實(shí)施方式。然而，可以以各種形式實(shí)現(xiàn)本公開(kāi)內(nèi)容，并且本公開(kāi)內(nèi)容不應(yīng)該被解讀為僅限于本文所圖示的實(shí)施方式。相反，提供這些實(shí)施方式作為示例，使得對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員而言本公開(kāi)內(nèi)容將是全面和完整的，并且將完全覆蓋本公開(kāi)內(nèi)容的各個(gè)方面和特征。
[0025]將理解的是，盡管在本文中可以使用術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”等來(lái)描述各種元件、部件、區(qū)域、層和/或部分，但是這些元件、部件、區(qū)域、層和/或區(qū)域不應(yīng)該受這些術(shù)語(yǔ)的限制。使用這些術(shù)語(yǔ)來(lái)區(qū)分一個(gè)元件、部件、區(qū)域、層和/或部分與另一個(gè)元件、部件、區(qū)域、層和/或部分。因而，下面所描述的第一元件、部件、區(qū)域、層和/或部分可以在不偏離本公開(kāi)內(nèi)容的精神和范圍的情況下被稱(chēng)為第二元件、部件、區(qū)域、層和/或部分。
[0026]將理解的是，當(dāng)元件或?qū)颖环Q(chēng)為被“連接至”或“耦接至”另一元件或?qū)訒r(shí)，它可以是直接另一元件或?qū)由希蛘哌B接至另一元件或?qū)?，或者耦接至另一元件或?qū)?，或者可以存在一個(gè)或更多個(gè)中間元件或?qū)?。另外，還將理解的是，當(dāng)元件或?qū)颖环Q(chēng)為在兩個(gè)元件或?qū)印爸g”時(shí)，它可以是兩個(gè)元件或?qū)又g的僅有的元件或?qū)樱蛘哌€可以存在一個(gè)或更多個(gè)中間元件或?qū)印?br>[0027]本文中所使用的術(shù)語(yǔ)是僅是為了描述特定的實(shí)施方式而不意在限制本公開(kāi)內(nèi)容。如本文所使用的，除非上下文另外指出，否則單數(shù)形式意在也包括復(fù)數(shù)形式。還將理解的是，當(dāng)在說(shuō)明書(shū)中使用時(shí)，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”具體說(shuō)明所陳述的特征、整體、操作、元件和/或部件的存在，但是不排除一個(gè)或更多個(gè)其他的特征、整體、操作、元件、部件和/或其部分的存在或添加。如本文所使用的，術(shù)語(yǔ)“和/或”包括一個(gè)或更多個(gè)相關(guān)聯(lián)所列項(xiàng)的任何或所有組合。在元件的列表之前時(shí)，諸如“至少之一”的表達(dá)可以修飾元件的整個(gè)列表并且可以不修飾該列表中的單個(gè)元件。
[0028]為了便于描述可以在本文中使用諸如“下方”、“之下”、“下部”、“下”、“之上”、“上部”等的空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)，以描述如在圖中所圖示的一個(gè)元件或特征與另一元件或特征的關(guān)系。將理解的是，空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)意在除了圖中描述的取向之外，還包括在使用中或在工作中的器件的不同的取向。例如，如果圖中的器件被翻轉(zhuǎn)，則描述為在其他元件或特征的“之下”或“下面”或“下方”的元件將被取向?yàn)槠渌蛱卣鞯摹爸稀?。因而，示例術(shù)語(yǔ)“之下”和“下方”可以包括之上和之下的兩個(gè)取向。除此之外，可以對(duì)器件進(jìn)行取向。器件還可以例如以90度或其他取向被旋轉(zhuǎn)，并且應(yīng)該相應(yīng)的解讀本文中所使用的空間相對(duì)描述符。
[0029]除非另外限定，否則本文中所使用的包括技術(shù)術(shù)語(yǔ)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)的所有術(shù)語(yǔ)具有與本發(fā)明構(gòu)思所屬領(lǐng)域普通技術(shù)人員通常理解的意思相同的意思。將還理解的是，諸如在通常所使用的詞典中所定義的那些術(shù)語(yǔ)的術(shù)語(yǔ)應(yīng)該被解讀為具有與在