一種存儲(chǔ)裝置內(nèi)部硅片盒mapping方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工中的物料傳輸設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種存儲(chǔ)裝置內(nèi)部娃片盒的mapping方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，300mm娃片已經(jīng)逐步取代200mm娃片成為主流產(chǎn)品，裝載有硅片的硅片盒每盒重量也由原來(lái)的約4公斤增加為約9公斤。在此狀況下，如果仍然借助人力進(jìn)行硅片盒的手工搬運(yùn)，不僅會(huì)降低生產(chǎn)效率，而且還存在造成搬運(yùn)人員人身傷害的安全隱患。同時(shí)，半導(dǎo)體制造廠對(duì)于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求也越來(lái)越嚴(yán)苛。因此，半導(dǎo)體制造廠已開(kāi)始大量運(yùn)用自動(dòng)化生產(chǎn)系統(tǒng)，尤其在300mm工廠，自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)(Automated Material Handling Systems，簡(jiǎn)稱AMHS)已開(kāi)始被廣泛使用，并取代了大部分人力搬運(yùn)硅片盒的工作。并且，其作為連接各個(gè)制造模塊之間輸送硅片的紐帶作用的重要性也日益突顯出來(lái)。
[0003]在AMHS系統(tǒng)中，存儲(chǔ)裝置(Stocker)用于硅片盒的集中存儲(chǔ)，并將硅片盒存儲(chǔ)信息實(shí)時(shí)反映給MCS(Material Control System，物料控制系統(tǒng))，由MCS控制AMHS系統(tǒng)中搬送小車對(duì)硅片盒進(jìn)行搬運(yùn)及存儲(chǔ)至相應(yīng)位置。
[0004]請(qǐng)參閱圖1，圖1是現(xiàn)有技術(shù)的一種Stocker結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，在Stocker 100中，一般具有上百個(gè)甚至幾百個(gè)硅片盒存儲(chǔ)位101 ο當(dāng)每個(gè)硅片盒存儲(chǔ)進(jìn)StockerlOO后，其會(huì)占據(jù)一個(gè)存儲(chǔ)位101，從而在StockerlOO的所有存儲(chǔ)位101中產(chǎn)生被占據(jù)的存儲(chǔ)位101-1和空置的存儲(chǔ)位101-2兩種狀態(tài)。StockerlOO會(huì)將每個(gè)被占據(jù)的存儲(chǔ)位101-1和空置的存儲(chǔ)位11-2的mapp i ng (映射)信息匯總，傳送給MCS系統(tǒng)。
[0005]請(qǐng)參閱圖2，圖2是圖1中Stocker的存儲(chǔ)位結(jié)構(gòu)放大俯視圖。如圖2所示，現(xiàn)有技術(shù)中，在Stocker的每個(gè)存儲(chǔ)位101上面均安裝有一個(gè)壓力傳感器102，通過(guò)壓力傳感器102可以檢測(cè)每個(gè)存儲(chǔ)位101上是否有硅片盒放置。當(dāng)硅片盒放置于存儲(chǔ)位101后，壓力傳感器102即產(chǎn)生相應(yīng)的信號(hào)，以表征此存儲(chǔ)位被占據(jù)。Stocker根據(jù)每個(gè)存儲(chǔ)位的壓力傳感器信號(hào)，統(tǒng)計(jì)出所有被占據(jù)及空置的存儲(chǔ)位匯總信息，并由Stocker形成mapping信息后定期或者實(shí)時(shí)刷新給MCS系統(tǒng)。
[0006]在上述現(xiàn)有的Stocker中，需要在每個(gè)存儲(chǔ)位安裝壓力傳感器，這樣，每臺(tái)Stocker至少需安裝上百個(gè)甚至數(shù)百個(gè)壓力傳感器，不但增加了 Stocker的結(jié)構(gòu)復(fù)雜度，而且在設(shè)備維護(hù)及裝機(jī)調(diào)試時(shí)，需要對(duì)每個(gè)傳感器逐個(gè)進(jìn)行調(diào)試，這些重復(fù)性的動(dòng)作增加了工作量，從而也提高了 Stocker的維護(hù)管理成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種存儲(chǔ)裝置內(nèi)部硅片盒mapping方法，以降低存儲(chǔ)裝置的復(fù)雜度及成本。
[0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0009]—種存儲(chǔ)裝置內(nèi)部娃片盒mapping方法，包括以下步驟:
[0010]步驟SO1:利用一存儲(chǔ)裝置，所述存儲(chǔ)裝置內(nèi)部設(shè)有用于存儲(chǔ)硅片盒的多數(shù)個(gè)存儲(chǔ)位，每個(gè)存儲(chǔ)位包括被占據(jù)和空置兩種存儲(chǔ)狀態(tài)，建立存儲(chǔ)裝置存儲(chǔ)位總體存儲(chǔ)狀態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)參照?qǐng)D形；
[0011 ]步驟S02:對(duì)存儲(chǔ)位總體的實(shí)際存儲(chǔ)狀態(tài)進(jìn)行拍照，并將得到的存儲(chǔ)位實(shí)際存儲(chǔ)狀態(tài)圖形與標(biāo)準(zhǔn)參照?qǐng)D形進(jìn)行比對(duì)，得到所有存儲(chǔ)位的被占據(jù)和空置存儲(chǔ)狀態(tài)的mapping圖；[00?2]步驟S03:將mapping圖信息傳送至物料控制系統(tǒng)。
[0013]優(yōu)選地，在存儲(chǔ)裝置中設(shè)置一圖形比對(duì)單元，通過(guò)拍照建立存儲(chǔ)裝置存儲(chǔ)位總體存儲(chǔ)狀態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)參照?qǐng)D形，并進(jìn)行存儲(chǔ)，然后，再對(duì)存儲(chǔ)位總體的實(shí)際存儲(chǔ)狀態(tài)進(jìn)行拍照，并與標(biāo)準(zhǔn)參照?qǐng)D形進(jìn)行比對(duì)，根據(jù)比對(duì)結(jié)果得到所有存儲(chǔ)位的被占據(jù)和空置存儲(chǔ)狀態(tài)的mapping圖。
[0014]優(yōu)選地，所述標(biāo)準(zhǔn)參照?qǐng)D形包括存儲(chǔ)位全部被占據(jù)的存儲(chǔ)狀態(tài)圖形或全部空置的存儲(chǔ)狀態(tài)圖形。
[0015]優(yōu)選地，所述標(biāo)準(zhǔn)參照?qǐng)D形為部分被占據(jù)、部分空置的特定存儲(chǔ)狀態(tài)圖形。
[0016]優(yōu)選地，每次從存儲(chǔ)裝置取出硅片盒后，對(duì)存儲(chǔ)位總體的實(shí)際存儲(chǔ)狀態(tài)進(jìn)行一次拍照及圖形比對(duì)。
[0017]優(yōu)選地，每次向存儲(chǔ)裝置存儲(chǔ)硅片盒后，對(duì)存儲(chǔ)位總體的實(shí)際存儲(chǔ)狀態(tài)進(jìn)行一次拍照及圖形比對(duì)。
[0018]優(yōu)選地，定時(shí)對(duì)存儲(chǔ)位總體的實(shí)際存儲(chǔ)狀態(tài)進(jìn)行拍照及圖形比對(duì)。
[0019]優(yōu)選地，定時(shí)對(duì)存儲(chǔ)位總體的實(shí)際存儲(chǔ)狀態(tài)進(jìn)行拍照時(shí)的時(shí)間間隔為1-60秒。
[0020]優(yōu)選地，在每次完成圖形比對(duì)后，將得到的mapping圖信息以通訊方式實(shí)時(shí)傳送至物料控制系統(tǒng)。
[0021 ] 優(yōu)選地，所述存儲(chǔ)裝置用于200mm、300mm或450mm規(guī)格娃片盒的存儲(chǔ)。
[0022]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明通過(guò)將存儲(chǔ)裝置存儲(chǔ)位總體的實(shí)際存儲(chǔ)狀態(tài)圖形與標(biāo)準(zhǔn)參照?qǐng)D形進(jìn)行比對(duì)，得到所有存儲(chǔ)位的被占據(jù)和空置存儲(chǔ)狀態(tài)的mapping圖，無(wú)需再在存儲(chǔ)裝置的每個(gè)存儲(chǔ)位安裝壓力傳感器，即可得到實(shí)時(shí)的存儲(chǔ)信息，從而降低了存儲(chǔ)裝置的復(fù)雜度；同時(shí)，每臺(tái)存儲(chǔ)裝置可以少安裝上百個(gè)甚至數(shù)百個(gè)壓力傳感器，在設(shè)備維護(hù)及裝機(jī)調(diào)試時(shí)可以減少工作量，減少每個(gè)傳感器調(diào)試的重復(fù)動(dòng)作，因而也能在一定程度上降低存儲(chǔ)裝置的成本。
【附圖說(shuō)明】
[0023]圖1是現(xiàn)有技術(shù)的一種Stocker結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2是圖1中Stocker的存儲(chǔ)位結(jié)構(gòu)放大俯視圖；
[0025]圖3是本發(fā)明的一種存儲(chǔ)裝置內(nèi)部娃片盒mapping方法流程圖；
[0026]圖4-圖5是本發(fā)明一較佳實(shí)施例中根據(jù)圖3的方法得到的存儲(chǔ)裝置存儲(chǔ)位總體存儲(chǔ)狀態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)參照?qǐng)D形；
[0027]圖6是本發(fā)明一較佳實(shí)施例中根據(jù)圖3的方法得到的存儲(chǔ)裝置存儲(chǔ)位總體的實(shí)際存儲(chǔ)狀態(tài)圖形。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0029]需要說(shuō)明的是，在下述的【具體實(shí)施方式】中，在詳述本發(fā)明的實(shí)施方式時(shí)，為了清楚地表示本發(fā)明的結(jié)構(gòu)以便于說(shuō)明，特對(duì)附圖中的結(jié)構(gòu)不依照一般比例繪圖，并進(jìn)行了局部放大、變形及簡(jiǎn)化處理，因此，應(yīng)避免以此作為對(duì)本發(fā)明的限定來(lái)加以理解。
[0030]在以下本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】中，請(qǐng)參閱圖3，圖3是本發(fā)明的一種存儲(chǔ)裝置內(nèi)部娃片盒mapping方法流程圖。如圖3所示，本發(fā)明的一種存儲(chǔ)裝置內(nèi)部娃片盒mapping方法，包括以下步驟:
[0031]步驟S01:利用一存儲(chǔ)裝置，所述存儲(chǔ)裝置內(nèi)部設(shè)有用于存儲(chǔ)硅片盒的多數(shù)個(gè)存儲(chǔ)位，每個(gè)存儲(chǔ)位包括被占據(jù)和空置兩種存儲(chǔ)狀態(tài)，建立存儲(chǔ)裝置存儲(chǔ)位總體存儲(chǔ)狀態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)參照?qǐng)D形。
[0032]請(qǐng)參閱圖1，圖1是現(xiàn)有技術(shù)的一種Stocker結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，在存儲(chǔ)裝置10(Stocker)中，一般具有上百個(gè)甚至幾百個(gè)硅片盒存儲(chǔ)位101。當(dāng)硅片盒存儲(chǔ)進(jìn)存儲(chǔ)裝置100后，其會(huì)占據(jù)一個(gè)存儲(chǔ)位101，從而在存儲(chǔ)裝置100的所有存儲(chǔ)位101中產(chǎn)生被占據(jù)的存儲(chǔ)位101-1和空置的存儲(chǔ)位101-2兩種狀態(tài)。
[0033]在實(shí)施本發(fā)明的方法時(shí)，首先需要建立存儲(chǔ)裝置存儲(chǔ)位總體存儲(chǔ)狀態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)參照?qǐng)D形。請(qǐng)參閱圖4-圖5，圖4-圖5是本發(fā)明一較佳實(shí)施例中根據(jù)圖3的方法得到的存儲(chǔ)裝置存儲(chǔ)位總體存儲(chǔ)狀態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)參照?qǐng)D形。作為一可選的實(shí)施方式，如圖4所示，可按照所有的存儲(chǔ)位都沒(méi)有存儲(chǔ)硅片盒時(shí)的存儲(chǔ)狀態(tài)作為形成標(biāo)準(zhǔn)參照?qǐng)D形的依據(jù)，即圖示的標(biāo)準(zhǔn)參照?qǐng)D形201為存儲(chǔ)位全部