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      半導(dǎo)體裝置和顯示裝置的制造方法_2

      文檔序號:9930453閱讀:來源:國知局
      行調(diào)制。例如,液晶層6采用諸如扭曲向列(Twisted Nematic,TN)模式、垂直配向(Vertical Alignment,VA)模式和電控雙折射(Electrically Controlled Birefringence,ECB)模式等各種模式的液晶?;蛘?,液晶層6還可以采用諸如邊緣場轉(zhuǎn)換(Fringe Field Switching,FFS)模式、平面轉(zhuǎn)換(In-PlaneSwitching,IPS)模式等橫向電場模式的液晶。
      [0058]另外,取向膜(alignment film)布置在液晶層6與像素基板2之間以及液晶層6與對向基板4之間,入射側(cè)偏光板布置在像素基板2的下表面?zhèn)?。然而,圖4中未示出取向膜和入射側(cè)偏光板。
      [0059 ]公共電極43和傳感器檢測電極44的具體結(jié)構(gòu)的示例
      [0060]圖5示出了像素基板2中的公共電極43和對向基板4中的傳感器檢測電極44的立體結(jié)構(gòu)示例。在該示例中,公共電極43被分割成在附圖的水平方向上延伸的多個條帶形電極圖案(在此示例中,其由η個公共電極431?43η構(gòu)成,η為大于或等于2的整數(shù))。如下所述,通過公共電極驅(qū)動器43D向各個電極圖案順序提供公共驅(qū)動信號V。.,從而以分時(timedivis1n)的方式進行線序掃描驅(qū)動。另一方面,傳感器檢測電極44由在垂直于公共電極43電極圖案的方向上延伸的多個條帶形電極圖案構(gòu)成。檢測信號Vdet由傳感器檢測電極44的各個電極圖案輸出,并輸入到下述檢測電路8。
      [0061]像素結(jié)構(gòu)和驅(qū)動器的構(gòu)造示例
      [0062]圖6和圖7示出了顯示裝置I中的像素結(jié)構(gòu)和各種驅(qū)動器的構(gòu)造示例。在顯示裝置I中,包括TFT元件Tr和液晶元件LC的多個顯示像素20(像素)以矩陣形式布置在有效顯示區(qū)域1A中。即,具有多個顯示像素20的顯示部布置在有效顯示區(qū)域1A中。此外,包括下述半導(dǎo)體裝置和檢測電路S(DET)的顯示驅(qū)動器(驅(qū)動部)布置在框架區(qū)域(非顯示區(qū)域HOB中,其中框架區(qū)域位于有效顯示區(qū)域1A的外緣(外周)。另外,在圖6和圖7中,X軸方向?qū)?yīng)于水平線方向(H方向和第二方向)4軸方向?qū)?yīng)于垂直方向(V方向和第一方向)。后面的其他附圖亦是如此。
      [0063]具體地,在圖6所示的示例中,作為顯示驅(qū)動器的柵極驅(qū)動器26D(掃描線驅(qū)動電路)、公共電極驅(qū)動器43D和數(shù)據(jù)驅(qū)動器25D(信號線驅(qū)動電路)以及檢測電路8布置在框架區(qū)域1B中。柵極驅(qū)動器26D是用于沿垂線方向(Y軸方向和第一方向)順序驅(qū)動多個顯示像素20的電路。數(shù)據(jù)驅(qū)動器25D是用于向作為驅(qū)動對象的顯示像素20提供視頻信號的電路。此示例中的柵極驅(qū)動器26D、公共電極驅(qū)動器43D和數(shù)據(jù)驅(qū)動器2?對應(yīng)于本發(fā)明實施例中“驅(qū)動部”的具體示例。此示例中的數(shù)據(jù)驅(qū)動器25D對應(yīng)于本發(fā)明實施例中“水平驅(qū)動電路”的具體示例。
      [0064]顯示像素20與連接到柵極驅(qū)動器26D的柵極線26、連接到數(shù)據(jù)驅(qū)動器2f5D的信號線(數(shù)據(jù)線)25和連接到公共電極驅(qū)動器43D的公共電極431?43η相連接。如上所述,公共電極驅(qū)動器43D向公共電極431?43η順序提供公共驅(qū)動信號Vc?(Vccim(I)?Vc?(n))。例如,公共電極驅(qū)動器43D包括移位寄存器43DUC0M選擇部43D2、電平轉(zhuǎn)換器43D3和COM緩沖器43D4。
      [0065]移位寄存器43D1是用于順序傳輸輸入脈沖的邏輯電路。具體地,將傳輸觸發(fā)脈沖(啟動脈沖)輸入到移位寄存器43DI,從而啟動時鐘傳輸。此外,當(dāng)在一個幀周期內(nèi)多次輸入啟動脈沖時,能夠在每次輸入啟動脈沖時重復(fù)傳輸。另外,移位寄存器43D1可以是彼此獨立的傳輸邏輯電路以分別控制多個公共電極431?43η。然而,在此情況下,控制電路的尺寸增加。因此,如下述圖7所示,期望傳輸邏輯電路由柵極驅(qū)動器和公共電極驅(qū)動器共用。此外,還期望移位寄存器43D1是與公共電極43的個數(shù)無關(guān)的單個傳輸邏輯電路。
      [0066]COM選擇部43D2是用于控制是否向有效顯示區(qū)域1A內(nèi)的各個顯示像素20輸出公共驅(qū)動信號V。?的邏輯電路。即,COM選擇部43D2根據(jù)有效顯示區(qū)域1A中的位置等控制公共驅(qū)動信號V。?的輸出。此外,如下所述,例如,通過使輸入到COM選擇部43D2的控制脈沖可變,能夠針對各個水平線任意地改變公共驅(qū)動信號V。?的輸出位置,或者在多個水平周期之后改變輸出位置。
      [0067]電平轉(zhuǎn)換器43D3是將提供自COM選擇部43D2的控制信號轉(zhuǎn)換成足以控制公共驅(qū)動信號V。?的電位電平的電路。
      [0068]COM緩沖器43D4是順序提供公共驅(qū)動信號V_(V_(l)?V_(n))的最終邏輯電路。COM緩沖器43D4包括下述緩沖電路(圖8)。另外,向COM緩沖器43D4提供在產(chǎn)生公共驅(qū)動信號V。?(例如,下述電源線Lvl和Lv2的電位)時所使用的預(yù)定COM電壓。
      [0069]另一方面,在圖7所示的示例中,T/G-DC/DC轉(zhuǎn)換器20D、柵極-公共電極驅(qū)動器40D和數(shù)據(jù)驅(qū)動器25D以及檢測電路8布置在框架區(qū)域1B中,其中T/G-DC/DC轉(zhuǎn)換器20D、柵極-公共電極驅(qū)動器40D和數(shù)據(jù)驅(qū)動器2?作為顯示驅(qū)動器。T/G-DC/DC轉(zhuǎn)換器20D作為T/G(時序發(fā)生器)和DC/DC(直流-直流)轉(zhuǎn)換器。柵極-公共電極轉(zhuǎn)換器40D通過柵極線26向各個顯示像素20提供柵極驅(qū)動信號,并向公共電極431至43η順序提供公共驅(qū)動信號Vccim(Vccim(l)?1?(11))。此示例中的柵極-公共電極轉(zhuǎn)換器400和數(shù)據(jù)驅(qū)動器250對應(yīng)于本發(fā)明實施例中“驅(qū)動部”的具體示例。
      [0070]顯示像素20與連接到柵極-公共電極轉(zhuǎn)換器40D的柵極線26和公共電極431?43η相連接,并與連接到數(shù)據(jù)驅(qū)動器25D的數(shù)據(jù)線25相連接。例如,柵極-公共電極轉(zhuǎn)換器40D包括移位寄存器40D1、啟動-控制部40D2、柵極/COM選擇部40D3、電平轉(zhuǎn)換器40D4和柵極/COM緩沖器40D5。
      [0071]除了移位寄存器40D1由柵極驅(qū)動器和公共電極驅(qū)動器共用之外,移位寄存器40D1還具有與上述移位寄存器43D1類似的功能。
      [0072]啟動-控制部40D2通過利用傳輸自移位寄存器40D1的時鐘脈沖來捕捉啟動脈沖,從而產(chǎn)生用于控制柵極線26的脈沖。
      [0073]柵極/COM選擇部40D3是用于控制是否向有效顯示區(qū)域1A中的各個顯示像素20輸出公共驅(qū)動信號V。?和柵極信號VG中各者的邏輯電路。即,柵極/COM選擇部40D3根據(jù)有效顯示區(qū)域1A中的位置等控制公共驅(qū)動信號V。?和柵極信號VG中各者的輸出。
      [0074]電平轉(zhuǎn)換器40D4是用于將提供自柵極/COM選擇部40D3的控制信號轉(zhuǎn)換成足以控制柵極信號VG和公共驅(qū)動信號V。?中各者的電位電平的電路。
      [0075]柵極/COM緩沖器40D5是用于順序提供公共驅(qū)動信號V_(V_(1)?V_(n))和柵極信號VG(VG(1)?VG(n))中各者的最終輸出電路。柵極/COM緩沖器40D5包括下述緩沖電路(圖8)。另外,向柵極/COM緩沖器40D5提供在產(chǎn)生公共驅(qū)動信號V_和柵極信號VG(例如,下述電源線Lvl和Lv2的電位)時所使用的預(yù)定COM/柵極電壓。
      [0076]緩沖電路的電路結(jié)構(gòu)示例
      [0077]圖8示出了圖6或圖7所示的緩沖電路(COM緩沖器43D4、柵極/COM緩沖器40D5或柵極驅(qū)動器26D中未圖示的緩沖電路)的電路結(jié)構(gòu)示例。上述緩沖電路對應(yīng)于本發(fā)明實施例中的“垂直驅(qū)動電路”和“半導(dǎo)體裝置”(半導(dǎo)體電路)的具體示例。然而,為了方便說明,將對COM緩沖器43D4中的緩沖電路的電路結(jié)構(gòu)示例進行說明。
      [0078]COM緩沖器43D4沿垂直線方向(Y軸方向)具有多個單元電路46。各個單元電路46均與一對控制信號線CTL和xCTL、一個公共驅(qū)動信號(輸出信號線)V。?以及一對電源線Lvl和Lv2相連接。具體地,位于圖8頂部的單元電路46與控制信號線CTL(I)和xCTL(l)、輸出信號線V_(l)和電源線Lvl和Lv2相連接。類似地,位于圖8中部的單元電路46與控制信號線CTL
      (2)和xCTL(2)、輸出信號線Vc?(2)以及電源線Lvl和Lv2相連接。位于圖8底部的單元電路46與控制信號線CTL(3)和xCTL(3)、輸出信號線Vram(3)和電源線Lvl和Lv2相連接。另外,提供到控制信號線xCTL的控制信號與提供到控制信號線CTL的控制信號邏輯反相。
      [0079]此外,各個單元電路46具有由兩個N型晶體管Tnl和Tn2和兩個P型晶體管Tpl和Tp2構(gòu)成的緩沖電路。具體地,該緩沖電路是通過輸入側(cè)(控制信號線CTL 一側(cè))上的第一級中的由晶體管Tnl和Tpl構(gòu)成的反相器電路以及輸出側(cè)(輸出信號線V。?—側(cè))上的第二級中的由晶體管Τη2和Τρ2構(gòu)成的反相器電路形成的。更具體地,晶體管Tnl的柵極與控制信號線CTL(I)相連接,晶體管Tpl的柵極與控制信號線xCTL(l)相連接。晶體管Tnl和Tpl的源極均與電源線Lvl相連接。晶體管Tnl和Tpl的漏極均與輸出信號線1?(1)相連接。由此在上述第一級中形成反相器電路。此外,晶體管Τρ2的柵極與控制信號線CTL(I)相連接,晶體管Τη2的柵極與控制信號線xCTL( I)相連接。晶體管Τη2和Τρ2的源極均與電源線Lv2相連接。晶體管Τη2和Τρ2的漏極均與輸出信號線1?(1)相連接。由此在上述第二級中形成反相器電路。另外,圖8中所示的“S”和“D”分別表示各個晶體管中的源極(源極區(qū)域)和漏極(漏極區(qū)域)。下述其他附圖亦是如此。
      [0080]電源線Lvl和Lv2對在產(chǎn)生公共驅(qū)動信號V。?時所使用的預(yù)定COM電壓(直流電壓或交流電壓)進行保持。由此,如圖9所示,例如,輸出自緩沖電路的公共驅(qū)動信號V。?呈現(xiàn)由電源線Lvl和Lv2的電位構(gòu)成的脈沖波形。因此,緩沖電路中的多個單元電路46分別根據(jù)提供自控制信號線CTL和xCTL的控制信號沿Y軸方向(垂直線方向和第一方向)順序運行。
      [0081 ]緩沖電路的布置結(jié)構(gòu)的示例
      [0082]圖10示出了圖8所示的COM緩沖器43D4等中的緩沖電路的布置結(jié)構(gòu)的示例(布局結(jié)構(gòu)示例:X-Y平面結(jié)構(gòu)的示例)。圖11示意性地示出了沿圖10的I1-1I線的剖面結(jié)構(gòu)的示例(Y-Z剖面結(jié)構(gòu)的示例)。
      [0083]如圖10所示,在本實施例的緩沖電路中,單元電路46包括兩條電源線Lvl和Lv2(第一布線)、兩條控制信號線CTL和xCTL(第二布線)、一條輸出信號線V_(第三布線)以及四個晶體管Tnl、Tn2、Tpl和Tp2。多個單元電路46沿Y軸方向(垂直線方向和第一方向)布置。此夕卜,電源線Lvl和Lv2、控制信號線CTL和xCTL以及輸出信號線V。?分別形成在彼此不同的層中(如下述圖11所示)。具體地,在此情況下,如下所述,控制信號線CTL和xCTL、電源線Lvl和Lv2和輸出信號線V。?從基板301—側(cè)起沿Z軸的正方向依次形成在各自不同的層中。
      [0084]電源線Lvl和Lv2均沿Y軸方向(垂直線方向和第一方向)延伸。此外,電源線Lvl和Lv2均具有彼此分離地布置的主布線部31和分歧布線部32,主布線部31和分歧布線部32布置成彼此分離。主布線部31是具有相對較大的布線寬度的布線。電源線Lvl的主布線部31具
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