多探針時(shí)序測(cè)試系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體測(cè)試、LED測(cè)試、集成電路測(cè)試領(lǐng)域，尤其涉及一種點(diǎn)測(cè)機(jī)測(cè)試系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]點(diǎn)測(cè)機(jī)是一種用于集成電路、LED晶圓、二極管晶圓等半導(dǎo)體電性測(cè)試設(shè)備。點(diǎn)測(cè)機(jī)測(cè)試電性是半導(dǎo)體制造工藝當(dāng)中的一個(gè)不可或缺的工序，近年來，隨著光電，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，高集成和高性能的半導(dǎo)體晶圓需求也越來越大，在晶圓大批量生產(chǎn)中，往往在一片晶圓同時(shí)制作成百上千個(gè)芯片，通過點(diǎn)測(cè)機(jī)進(jìn)行晶圓切割前的電性測(cè)試。
[0003]隨著技術(shù)的發(fā)展，晶圓的尺寸也越來越大，同時(shí)一片晶圓內(nèi)所集成的芯片也越來越多，這就需要更多的測(cè)試時(shí)間來完成一片晶圓的測(cè)試。
[0004]傳統(tǒng)的測(cè)試方式是使用I臺(tái)點(diǎn)測(cè)機(jī)+測(cè)試儀表，點(diǎn)測(cè)機(jī)負(fù)責(zé)測(cè)試機(jī)構(gòu)的機(jī)械運(yùn)動(dòng)，外接儀表負(fù)責(zé)所需的電性測(cè)試，但是由于目前傳統(tǒng)點(diǎn)測(cè)機(jī)測(cè)試探針只有一根，故每次機(jī)械部分移動(dòng)結(jié)束，只能測(cè)試一顆芯片，然后就再次進(jìn)行機(jī)械部分的移動(dòng)，這就致使整個(gè)測(cè)試效率比較低下，導(dǎo)致機(jī)械部分磨損較大，壽命相對(duì)較短。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題，提供一種多探針時(shí)序測(cè)試系統(tǒng)，以克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0007]一種多探針時(shí)序測(cè)試系統(tǒng)，包括測(cè)試儀表和點(diǎn)測(cè)機(jī)，所述點(diǎn)測(cè)機(jī)包括點(diǎn)測(cè)機(jī)座和設(shè)于點(diǎn)測(cè)機(jī)座上的測(cè)試探針，其特征在于包括:所述點(diǎn)測(cè)機(jī)座上設(shè)有多個(gè)測(cè)試探針，還包括有時(shí)序控制器和測(cè)試電路切換裝置，所述時(shí)序控制器分別通過第一線組、第二線組和第三線組與點(diǎn)測(cè)機(jī)座、測(cè)試儀表以及測(cè)試電路切換裝置連接，所述測(cè)試電路切換裝置還通過第四線組、第五線組分別連接測(cè)試儀表和各個(gè)測(cè)試探針。
[0008]還包括有標(biāo)識(shí)機(jī)構(gòu)，所述時(shí)序控制器通過第六線組連接所述標(biāo)識(shí)機(jī)構(gòu)。
[0009]所述點(diǎn)測(cè)機(jī)座由Y軸組件、設(shè)于Y軸組件上的X軸組件、設(shè)于X軸組件上Z軸組件以及設(shè)于Z軸組件上的Θ軸組件構(gòu)成。
[0010]所述第一線組由第一連接線、第二連接線、第三連接線以及第四連接線組成。
[0011]所述第二線組由第五連接線、第六連接線和第七連接線組成。
[0012]所述第三線組由第八連接線和第九連接線組成。
[0013]所述第四線組僅包括第十連接線，所述第五線組由第十一連接和第十二連接線組成。
[0014]點(diǎn)測(cè)機(jī)在進(jìn)行測(cè)試時(shí):通常儀表測(cè)試時(shí)間只有幾十毫秒，機(jī)械移動(dòng)時(shí)間占據(jù)大部分。本實(shí)用新型由于同時(shí)采用了多個(gè)測(cè)試探針，相對(duì)安裝測(cè)試探針數(shù)量，每增加I根測(cè)試探針，機(jī)械機(jī)構(gòu)減少I次移動(dòng)，故測(cè)試時(shí)減少了機(jī)械的移動(dòng)時(shí)間，大幅度提高了測(cè)試效率，同時(shí)又延長(zhǎng)機(jī)械機(jī)構(gòu)的使用壽命，在原點(diǎn)測(cè)機(jī)設(shè)備上直接外掛改造，能夠提高設(shè)備的測(cè)試效率，同時(shí)延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命的目的，市場(chǎng)前景廣闊。
【附圖說明】
[0015]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明(以下說明測(cè)試探針和標(biāo)識(shí)機(jī)構(gòu)僅以2點(diǎn)測(cè)試為例，但本專利不限制為2點(diǎn)；點(diǎn)測(cè)機(jī)僅以I臺(tái)為例，但本專利不限制為I臺(tái)；測(cè)試儀表僅以I臺(tái)為例，但本專利不限制為I臺(tái)):
[0016]圖1為本實(shí)用新型的方框示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]如圖1所示，本實(shí)用新型的多探針時(shí)序測(cè)試系統(tǒng)，包括點(diǎn)測(cè)機(jī)和測(cè)試儀表102，點(diǎn)測(cè)機(jī)由點(diǎn)測(cè)機(jī)座100和設(shè)于點(diǎn)測(cè)機(jī)座100上的多個(gè)測(cè)試探針構(gòu)成。在點(diǎn)測(cè)機(jī)座100與測(cè)試儀表102之間的增加部分，包括時(shí)序控制器101、測(cè)試電路切換裝置103、標(biāo)識(shí)機(jī)構(gòu)。
[0018]點(diǎn)測(cè)機(jī)座100由Y軸組件、設(shè)于Y軸組件上的X軸組件、設(shè)于X軸組件上Z軸組件以及設(shè)于Z軸組件上的Θ軸組件構(gòu)成。X軸組件與Y軸組件分別提供晶圓片左右、前后的移動(dòng)，Θ軸組件提供晶圓片的旋轉(zhuǎn)，Z軸組件提供晶圓片上下移動(dòng)
[0019]時(shí)序控制器101分別通過第一線組、第二線組、第三線組和第六線組與點(diǎn)測(cè)機(jī)座100、測(cè)試儀表102、測(cè)試電路切換裝置103以及標(biāo)識(shí)機(jī)構(gòu)連接，測(cè)試電路切換裝置103還通過第四線組、第五線組分別連接測(cè)試儀表101、各個(gè)測(cè)試探針。
[0020]其中，第一線組由第一連接線110、第二連接線111、第三連接線112以及第四連接線123組成。
[0021]第一連接線110用于傳輸點(diǎn)測(cè)機(jī)座100通知時(shí)序控制器101測(cè)試開始的信號(hào):SOTo
[0022]第二連接線111用于傳輸指時(shí)序控制器101通知點(diǎn)測(cè)機(jī)座100測(cè)試完成的信號(hào):EOT。
[0023]第三連接線112用于傳輸時(shí)序控制器101通知點(diǎn)測(cè)機(jī)座100的結(jié)果信號(hào):BIN?？梢岳斫猓摰谌B接線112可以為多根。
[0024]第四連接線123用于傳輸點(diǎn)測(cè)機(jī)座100通知時(shí)序控制器101的標(biāo)識(shí)信號(hào):BIN?？梢岳斫?，該第四連接線123可以為多根。
[0025]第二線組包括由第五連接線113、第六連接線114和第七連接線115組成。
[0026]第五連接線113用于傳輸時(shí)序控制器101通知測(cè)試儀表102開始測(cè)試的信號(hào):SOT ；
[0027]第六連接線114用于傳輸測(cè)試儀表102通知時(shí)序控制器101測(cè)試完成的信號(hào):EOT ；
[0028]第七連接線115用于傳輸測(cè)試儀表102通知時(shí)序控制器101的結(jié)果信號(hào):BIN?？梢岳斫猓摰谄哌B接線115可以為多根。
[0029]所述第三線組由第八連接線118和第九連接線119組成。
[0030]第八連接線118用于傳輸時(shí)序控制器101給測(cè)試切換裝置103的切換控制信號(hào):
Klo
[0031]第九連接線119用于傳輸時(shí)序控制器101給測(cè)試切換裝置103的切換控制信號(hào):K2o
[0032]所述第四線組僅包括第十連接線120。該第十連接線120用于測(cè)試儀表102給測(cè)試切換裝置103的測(cè)試信號(hào):TEST。
[0033]第五線組由第十一連接線121和第十二連接線122組成。
[0034]第十一連接線121用于傳輸測(cè)試切換裝置103給第一個(gè)測(cè)試