鍵合夾具和鍵合機(jī)器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種鍵合夾具和一種鍵合機(jī)器。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體工藝中，對準(zhǔn)機(jī)是基片鍵合的配套設(shè)備，對準(zhǔn)機(jī)能夠?qū)蓚€(gè)基片根據(jù)對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對準(zhǔn)并且緊緊貼合在一起；用于在基片鍵合之前將兩片基片進(jìn)行對準(zhǔn)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，鍵合夾具吸附第一片基片，通過物鏡和工件臺帶動第一片基片移動，使得第一片基片的標(biāo)記中心處于C⑶相機(jī)視場中心附近，然后在工控機(jī)界面上的標(biāo)記中心畫十字線；通過物鏡和工件臺使第一片基片上升，然后裝載第二片基片，通過手動操作插片裝置將間隔插入兩片基片之間，然后移動工件臺，使得第二片基片的標(biāo)記中心與十字線重合，使兩片基片的標(biāo)記對準(zhǔn)；手動操作蓋板夾持裝置，將兩片基片夾緊。手動操作蓋板夾持裝置和插片裝置，導(dǎo)致工作強(qiáng)度大，工作效率低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為了降低工作強(qiáng)度，提高工作效率，本實(shí)用新型提供一種鍵合夾具。
[0005]為了解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種鍵合夾具，所述鍵合夾具為可拆卸式，所述鍵合夾具可自動完成插入間隔片和夾緊兩片預(yù)鍵合的基片的工作。
[0006]作為優(yōu)選，所述鍵合夾具包括上下兩塊可吸附所述基片的蓋板、水平定位夾緊機(jī)構(gòu)和垂直夾緊機(jī)構(gòu)。
[0007]作為優(yōu)選，所述蓋板包括蓋板定位裝置、蓋板夾持裝置、插片裝置以及驅(qū)動裝置。
[0008]作為優(yōu)選，所述蓋板定位裝置為兩塊V形塊，用于所述蓋板的水平方向定位；所述插片裝置包括第一開關(guān)桿和第一組滾輪撥叉，所述蓋板定位后，所述第一組滾輪撥叉控制所述第一開關(guān)桿，所述第一開關(guān)桿控制在上下兩片已對準(zhǔn)的所述基片中間插入間隔片；所述蓋板夾持裝置包括第二開關(guān)桿和第二組滾輪撥叉，所述間隔片被插入后，所述第二組滾輪撥叉控制所述第二開關(guān)桿，所述第二開關(guān)桿控制所述上下蓋板的夾持運(yùn)動，從而將兩片所述基片夾緊。
[0009]作為優(yōu)選，所述第一組滾輪撥叉和第二組滾輪撥叉均由所述驅(qū)動裝置來控制，所述驅(qū)動裝置為擺動氣缸或者直線電機(jī)。
[0010]作為優(yōu)選，所述水平定位夾緊機(jī)構(gòu)與所述蓋板的基片吸附圓帽的圓周面相切，所述水平定位夾緊機(jī)構(gòu)包括滾輪、直線導(dǎo)軌、雙向作用氣缸，所述雙向作用氣缸在所述直線導(dǎo)軌中推壓，并在所述滾輪的共同作用下，促使所述基片吸附圓帽在水平方向上定位夾緊。
[0011]作為優(yōu)選，所述垂直夾緊機(jī)構(gòu)在所述兩片基片對準(zhǔn)后，在所述兩片基片中被插入間隔片后，負(fù)責(zé)夾緊所述上下蓋板。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型所提供的鍵合夾具可自動完成插入間隔片和夾緊兩片預(yù)鍵合的基片的工作，無需手動操作蓋板夾持裝置和插片裝置，降低了勞動強(qiáng)度，提高了工作效率。
[0013]為了解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型還公開了一種鍵合機(jī)器，包括對準(zhǔn)系統(tǒng)和可拆卸式鍵合夾具，所述可拆卸式鍵合夾具包括上下蓋板，所述上下蓋板各吸附一片基片，所述對準(zhǔn)系統(tǒng)探測所述基片的對準(zhǔn)標(biāo)記，驅(qū)使所述上下蓋板運(yùn)動，完成兩片所述基片的對準(zhǔn)工作，所述可拆卸式鍵合夾具自動完成插入間隔片和夾緊兩片預(yù)鍵合的所述基片的工作。
[0014]作為優(yōu)選，所述對準(zhǔn)系統(tǒng)包括基片楔形誤差補(bǔ)償系統(tǒng)、運(yùn)動臺系統(tǒng)和機(jī)器視覺系統(tǒng)。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型所提供的鍵合機(jī)器可以自動完成對準(zhǔn)工作，由于設(shè)置了可拆卸式鍵合夾具，能夠自動完成插入間隔片和夾緊兩片預(yù)鍵合的所述基片的工作，無需手動操作蓋板夾持裝置和插片裝置，降低了勞動強(qiáng)度，提高了工作效率。并且先將兩片預(yù)鍵合的基片對準(zhǔn)，然后再插入間隔片，提高了兩片預(yù)鍵合的基片對準(zhǔn)的精度。
【附圖說明】
[0016]圖1是本實(shí)用新型所提供的鍵合夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2是圖1的立體圖；
[0018]圖3是蓋板定位裝置和水平定位夾緊機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖4是蓋板夾持裝置工作原理圖；
[0020]圖5是插片裝置工作原理圖；
[0021]圖6是插入間隔片后鍵合夾具的狀態(tài)示意圖；
[0022]圖7是兩片基片夾緊后鍵合夾具的狀態(tài)不意圖。
[0023]圖中所示:1、鍵合夾具，2、基片，3、蓋板，3-1、真空吸槽，4-1、滾輪，4-2、直線導(dǎo)軌，4-3、雙向作用氣缸，5、垂直夾緊機(jī)構(gòu)，6、蓋板定位裝置，7、蓋板夾持裝置，7-1、第二開關(guān)桿，
7-2、第二組滾輪撥叉，8、插片裝置，8-1、第一開關(guān)，8-2、第一組滾輪撥叉，9、驅(qū)動裝置，10、基片吸附圓帽，11、間隔片。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作詳細(xì)描述:請參考圖1至圖3，一種鍵合夾具1，所述鍵合夾具I為可拆卸式，所述鍵合夾具I可自動完成插入間隔片和夾緊兩片預(yù)鍵合的基片2的工作。
[0025]所述鍵合夾具I包括上下兩塊可吸附所述基片2的蓋板3、水平定位夾緊機(jī)構(gòu)和垂直夾緊機(jī)構(gòu)5。優(yōu)選的，所述蓋板3上可以設(shè)有真空吸槽3-1，用于吸附所述基片2。
[0026]所述蓋板3包括蓋板定位裝置6、蓋板夾持裝置7、插片裝置8以及驅(qū)動裝置9。
[0027]所述蓋板定位裝置6為兩塊V形塊，用于所述蓋板3的水平方向定位；所述插片裝置8包括第一開關(guān)桿8-1和第一組滾輪撥叉8-2，所述蓋板3定位后，所述第一組滾輪撥叉
8-2控制所述第一開關(guān)桿8-1，所述第一開關(guān)桿8-1控制在上下兩片已對準(zhǔn)的所述基片2中間插入間隔片11 ;所述蓋板夾持裝置7包括第二開關(guān)桿7-1和第二組滾輪撥叉7-2，所述間隔片11被插入后，所述第二組滾輪撥叉7-2控制所述第二開關(guān)桿7-1，所述第二開關(guān)桿7-1控制所述上下蓋板3的夾持運(yùn)動，從而將兩片所述基片2夾緊。所述第一組滾輪撥叉8-2和第二組滾輪撥叉7-2均由所述驅(qū)動裝置9來控制，所述驅(qū)動裝置9為擺動氣缸或者直線電機(jī)。
[0028]所述水平定位夾緊機(jī)構(gòu)與所述蓋板3的基片吸附圓帽10的圓周面相切，所述水平定位夾緊機(jī)構(gòu)包括滾輪4-1、直線導(dǎo)軌4-2、雙向作用氣缸4-3，所述雙向作用氣缸4-3在所述直線導(dǎo)軌4-2中推壓，并在所述滾輪4-1的共同作用下，促使所述基片吸附圓帽10在水平方向上定位夾緊。
[0029]作為優(yōu)選，所述垂直夾緊機(jī)構(gòu)5在所述兩片基片2對準(zhǔn)后，在所述兩片基片2中被插入間隔片11后，負(fù)責(zé)夾緊所述上下蓋