過(guò)濾裝置、過(guò)濾系統(tǒng)及半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其是一種過(guò)濾裝置、過(guò)濾系統(tǒng)及半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)O
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓的各項(xiàng)制程需要在機(jī)臺(tái)上的反應(yīng)腔內(nèi)完成，所述反應(yīng)腔與一干泵連接，所述反應(yīng)腔中的廢氣中含有大量的液態(tài)或固態(tài)的制程副產(chǎn)物，這些液態(tài)或固態(tài)的制程副產(chǎn)物會(huì)隨著廢氣進(jìn)入到所述干泵中，導(dǎo)致所述干泵卡死，每年約有25%的所述干泵因?yàn)橐簯B(tài)或固態(tài)的制程副產(chǎn)物卡死，造成所述反應(yīng)腔內(nèi)的晶圓報(bào)廢，降低了產(chǎn)品的良率，增加了成本。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種過(guò)濾裝置、過(guò)濾系統(tǒng)及半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)，已解決現(xiàn)有技術(shù)中泵因制程副產(chǎn)物卡死而失效的問(wèn)題。
[0004]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種過(guò)濾裝置、過(guò)濾系統(tǒng)及半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)，其中，所述過(guò)濾裝置包括:主體結(jié)構(gòu)，所述主體結(jié)構(gòu)的一端設(shè)置有進(jìn)氣口，另一端設(shè)置有出氣P ；
[0005]冷凝柱，所述冷凝柱位于所述主體結(jié)構(gòu)內(nèi)；
[0006]過(guò)濾網(wǎng)，所述過(guò)濾網(wǎng)位于所述冷凝柱和所述主體結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁之間，所述過(guò)濾網(wǎng)的一端與所述出氣口連接。
[0007]優(yōu)選的，在上述的過(guò)濾裝置中，所述過(guò)濾裝置還包括一冷凝管，所述冷凝管沿著所述冷凝柱的外壁設(shè)置。
[0008]優(yōu)選的，在上述的過(guò)濾裝置中，所述冷凝管設(shè)置有一進(jìn)水端和一出水端，所述進(jìn)水端和所述出水端位于所述主體結(jié)構(gòu)的外部。
[0009]優(yōu)選的，在上述的過(guò)濾裝置中，所述冷凝管呈U型裝套于所述冷凝柱的外壁上。
[0010]優(yōu)選的，在上述的過(guò)濾裝置中，所述冷凝管呈螺旋狀沿著所述冷凝柱的側(cè)壁設(shè)置。
[0011]優(yōu)選的，在上述的過(guò)濾裝置中，所述進(jìn)氣口位于所述主體結(jié)構(gòu)一端的中心，所述出氣口位于所述主體結(jié)構(gòu)的另一端的中心。
[0012]優(yōu)選的，在上述的過(guò)濾裝置中，所述主體結(jié)構(gòu)呈柱體形。
[0013]優(yōu)選的，在上述的過(guò)濾裝置中，所述冷凝柱的一端與所述進(jìn)氣口正對(duì)，另一端與所述出氣口正對(duì)。
[0014]優(yōu)選的，在上述的過(guò)濾裝置中，所述進(jìn)氣口的橫截面呈圓形，所述出氣口的橫截面呈圓形。
[0015]優(yōu)選的，在上述的過(guò)濾裝置中，所述進(jìn)氣口的橫截面呈多邊形，所述出氣口的橫截面呈多邊形。
[0016]本實(shí)用新型又提供了一種過(guò)濾系統(tǒng)，包括如上所述的過(guò)濾裝置，反應(yīng)腔以及一泵，所述反應(yīng)腔的出氣口與所述過(guò)濾裝置的進(jìn)氣口連接，所述過(guò)濾裝置的出氣口與所述泵的進(jìn)氣口連接。
[0017]本實(shí)用新型更提供了一種半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)，包括如上所述的過(guò)濾系統(tǒng)。
[0018]在本實(shí)用新型提供的過(guò)濾裝置、過(guò)濾系統(tǒng)以及半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)中，反應(yīng)腔中的廢氣從主體結(jié)構(gòu)的進(jìn)氣口進(jìn)入到主體結(jié)構(gòu)中，廢氣中的粉塵被過(guò)濾網(wǎng)過(guò)濾掉，而廢氣中液態(tài)副產(chǎn)物經(jīng)過(guò)冷凝柱的冷凝沉積在所述冷凝柱上，降低了廢氣中液態(tài)以及固態(tài)制程副產(chǎn)物的濃度，從而使得進(jìn)入泵中的氣體更加清潔，降低了所述泵因液態(tài)或者固態(tài)制程副產(chǎn)物卡死而失效的風(fēng)險(xiǎn)，提高了效率和產(chǎn)品良率，降低了成本。
【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例中過(guò)濾系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中過(guò)濾裝置的剖視圖；
[0021]圖中;101-反應(yīng)腔;102-過(guò)濾裝置;103-泵;
[0022]201-主體結(jié)構(gòu)；202_主體結(jié)構(gòu)的進(jìn)氣口 ；203_主體結(jié)構(gòu)的出氣口 ；204_冷凝柱；205-過(guò)濾網(wǎng)；206_冷凝管；207_進(jìn)水端；208_出水端。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)的描述。根據(jù)下列描述并結(jié)合權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0024]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種過(guò)濾系統(tǒng)，如圖1所示，包括:反應(yīng)腔101、一泵103以及一過(guò)濾裝置102，所述反應(yīng)腔101的出氣口與所述過(guò)濾裝置102的進(jìn)氣口連接，所述反應(yīng)腔101中含有制程副產(chǎn)物的混合氣體從所述反應(yīng)腔101的出氣口進(jìn)入到所述過(guò)濾裝置102中，經(jīng)過(guò)所述過(guò)濾裝置102的過(guò)濾，將其中大部分的制程副產(chǎn)物過(guò)濾掉，然后大大減少制程副產(chǎn)物含量的氣體從所述過(guò)濾裝置102的出氣口進(jìn)入到所述泵103的進(jìn)氣口，減少進(jìn)入所述泵103的氣體中制程副產(chǎn)物的含量，從而減小制程副產(chǎn)物在所述泵103中的沉積，降低所述泵103因制程副產(chǎn)物的沉積而卡死的風(fēng)險(xiǎn)，從而降低所述泵103因制程副產(chǎn)物沉積而失效的風(fēng)險(xiǎn)，提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。
[0025]其中，如圖2所示，所述過(guò)濾裝置102包括:主體結(jié)構(gòu)201，所述主體結(jié)構(gòu)201的一端設(shè)置有進(jìn)氣口 202，另一端設(shè)置有出氣口 203，所述反應(yīng)腔101中的制程副產(chǎn)物濃度較高的廢氣從所述進(jìn)氣口 202進(jìn)入到所述主體結(jié)構(gòu)201中，然后從所述出氣口 203離開(kāi)所述主體結(jié)構(gòu)201。
[0026]所述主體結(jié)構(gòu)201為一柱體，具體的，所述主體結(jié)構(gòu)201的橫截面可以是圓形或者橢圓形，還可以是多邊形。進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣口 202和所述出氣口 203的橫截面也可以是圓形、橢圓形或者多邊形。只要所述進(jìn)氣口 202與所述反應(yīng)腔101的出氣口匹配，所述出氣口 203與所述泵的進(jìn)氣口匹配即可。
[0027]進(jìn)一步的，所述主體結(jié)構(gòu)201為一中空結(jié)構(gòu)，且一冷凝柱位204于所述主體結(jié)構(gòu)201內(nèi)，且在所述冷凝柱204的外壁上設(shè)置有一冷凝管206，即所述冷凝管206也位于所述主體結(jié)構(gòu)201內(nèi)部。
[0028]所述冷凝管206有一進(jìn)水端207和一出水端208，所述進(jìn)水端207和所述出水端208均位于所述主體結(jié)構(gòu)201的外部，所述冷凝管206沿著所述冷凝柱204的外壁設(shè)置，具體的，所述冷凝管206可以以U形狀套于所述冷凝柱204的外壁上，即，所述冷凝管206沿著所述冷凝柱204的側(cè)壁設(shè)置，經(jīng)