雙腔時(shí)序采集裝置和雙腔準(zhǔn)分子激光器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型屬于雙腔準(zhǔn)分子激光器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種適于高頻高壓快脈沖 的雙腔時(shí)序采集裝置，以及包括該雙腔時(shí)序采集裝置的雙腔準(zhǔn)分子激光器。
【背景技術(shù)】
[0002] 采用雙腔結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)分子激光器中一個(gè)腔稱之為主震蕩腔（MO腔），另一個(gè)稱之為 放大腔（PA腔）。MO腔產(chǎn)生的種子光需要在時(shí)序上精確地（抖動小于±5ns)傳到PA腔， 此時(shí)PA腔放電激勵將來自于MO腔的種子光能量放大。因此這就需要對兩個(gè)放大腔的放電 時(shí)序進(jìn)行精確地控制。雙腔準(zhǔn)分子激光器放電抖動主要是由（1)雙腔電源起始放電電壓抖 動、（2)放電腔內(nèi)的隨機(jī)抖動、（3)放電時(shí)電源的固有抖動和⑷雙腔電源溫度抖動和腔內(nèi) 氣壓波動四部分組成。其中第（4)部分問題的解決依賴于雙腔準(zhǔn)分子同步控制技術(shù)。也就 是說，對于雙腔準(zhǔn)分子激光器的電源來講，需要采用雙腔準(zhǔn)分子激光器同步技術(shù)將雙腔放 電抖動控制在±5ns之內(nèi)才可以實(shí)現(xiàn)兩個(gè)腔體的同步放電。
[0003] 實(shí)現(xiàn)雙腔激光器放電時(shí)序控制的前提是對雙腔出光信號的采集，一種雙腔時(shí)序采 集方法在專利US7203216中被公開，其中采用的傳感器采集時(shí)序比如用光電二極管。然而 該方法的缺點(diǎn)是需要光路分光，從而損失了輸出能量。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004] (一）要解決的技術(shù)問題
[0005] 本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有的雙腔準(zhǔn)分子激光器中對于雙腔放電的 同步控制需要采集雙腔出射的光信號帶來的能量損失問題。
[0006] (二）技術(shù)方案
[0007] 為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出一種雙腔時(shí)序采集裝置，該裝置用于采集 脈沖時(shí)序發(fā)射裝置產(chǎn)生的脈沖，包括互感器和信號輸出接口（15)，所述互感器包括至少一 個(gè)由絕緣膜和金屬片構(gòu)成的疊層，各絕緣膜和金屬片交替疊置；所述信號輸出接口（15)通 過傳輸線分別與最上方的金屬片和脈沖時(shí)序發(fā)射裝置的外表面連接，并將所獲得的感應(yīng)信 號傳輸給外部裝置。
[0008] 根據(jù)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，所述裝置還包括阻抗匹配電路（16)，其連接于 最上層的金屬片與所述脈沖時(shí)序發(fā)射裝置的外表面之間。
[0009] 根據(jù)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，所述傳輸線是導(dǎo)體，其寬度和厚度滿足如下公
面之間絕緣物質(zhì)的相對介電常數(shù)，h為所述傳輸線到所述脈沖時(shí)序發(fā)射裝置的外表面的距 離，W為所述傳輸線的寬度，t為所述傳輸線的厚度。
[0010] 根據(jù)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，所述絕緣膜是高分子絕緣薄膜材料。
[0011] 根據(jù)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，所述高分子絕緣薄膜材料為聚乙烯或聚酰亞 胺。
[0012] 根據(jù)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，所述金屬片的材料為銅或鋁。
[0013] 本實(shí)用新型還提出包括上述雙腔時(shí)序采集裝置的雙腔準(zhǔn)分子激光器。
[0014] (三）有益效果
[0015] 本實(shí)用新型應(yīng)用在采用雙腔結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)分子放電同步技術(shù)中，可滿足雙腔準(zhǔn)分子激 光器的能量放大要求。
【附圖說明】
[0016] 圖IA是本實(shí)用新型的雙腔時(shí)序采集裝置的一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017] 圖IB是本實(shí)用新型的雙腔時(shí)序采集裝置的第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018] 圖IC是本實(shí)用新型的雙腔時(shí)序采集裝置的第三實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019] 圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例中的互感器的安裝位置示意圖；
[0020] 圖3A是本實(shí)用新型實(shí)施例的采集單元的附視圖；
[0021] 圖3B是本實(shí)用新型實(shí)施例的傳輸線的放大示電圖；
[0022] 圖4是本實(shí)用新型提出的雙腔時(shí)序采集裝置的應(yīng)用于雙腔準(zhǔn)分子激光器中的作 為雙腔電源同步控制裝置的模塊圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023] 本實(shí)用新型提出一種雙腔時(shí)序采集裝置，該裝置用于采集脈沖時(shí)序發(fā)射裝置產(chǎn)生 的高頻高壓快脈沖。本實(shí)用新型可應(yīng)用在采用雙腔結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)分子激光器的放電同步技術(shù) 中，其原理是通過特殊設(shè)計(jì)的高壓互感器采集放電腔的放電時(shí)序信號，并用此互感器代替 現(xiàn)有技術(shù)中使用光電二極管采集光信號。
[0024] 所述雙腔時(shí)序采集方法包括如下步驟：將互感器的一端與和脈沖時(shí)序發(fā)射裝置的 外表面貼合；將互感器的另一端與信號輸出接口通過傳輸線連接；將信號輸出接口與所述 脈沖時(shí)序發(fā)射裝置的外表面電連接；處用信號輸出接口將獲得的感應(yīng)信號輸出。
[0025] 為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并 參照附圖，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0026] 圖IA是本實(shí)用新型的雙腔時(shí)序采集裝置的一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖IA所 示，該實(shí)施例中，采集裝置使用高電壓電容耦合方式的互感器檢測脈沖信號，該互感器包括 相互貼合的第一絕緣膜11和第一金屬片12。采集裝置還包括一個(gè)信號輸出接口 15。其中， 第一絕緣膜11與脈沖時(shí)序發(fā)射裝置的外表面緊密連接，信號輸出接口 15通過傳輸線分別 與所述第一金屬片12和脈沖時(shí)序發(fā)射裝置的外表面連接，并將所獲得的感應(yīng)信號傳輸給 外部裝置。
[0027] 第一絕緣膜11可以采用熱穩(wěn)定性及電氣性能優(yōu)越的高分子絕緣薄膜材料，如超 高分子量聚乙烯或聚酰亞胺等。第一金屬片12的材料可以是鋁、銅等。
[0028] 在該實(shí)施例中，第一絕緣膜11為高分子絕緣薄膜材料，其貼附于雙腔準(zhǔn)分子激光 器的放電腔A的外表面，放電腔A的外表面接地。第一絕緣膜11上再貼上鋁制或銅制的第 一金屬片12。這樣，放電腔A、第一絕緣膜12和第一金屬片11就構(gòu)成了一個(gè)親合電容。
[0029] 圖IB是本實(shí)用新型的雙腔時(shí)序采集裝置的第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。與圖IA顯 示的結(jié)構(gòu)不同的是，該第二實(shí)施例中的絕緣膜和金屬片均具有兩層并交替疊置。具體來說， 在第一金屬片12的上方再依次貼附有第二絕緣膜13和第二金屬片14,信號輸出接口 15的 一端連接至該第二金屬片。第二絕緣膜13和第二金屬片14的材料選擇與第一絕緣膜11 和第一金屬片12的選擇相仿。為了提高信號的信噪比，該脈沖時(shí)序采集裝置距離高壓放