一種smif激光傳感器檢測及調(diào)整輔助工具的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于半導體制造領域，涉及一種SMIF激光傳感器檢測及調(diào)整輔助工具。
【背景技術】
[0002]在現(xiàn)今的半導體制造工藝中，晶圓從生產(chǎn)制造到運送，都需要在密閉無塵條件下進行。相比于傳統(tǒng)的將生產(chǎn)設備設置潔凈室內(nèi)的晶圓生產(chǎn)方式，新的晶圓隔離技術則是將潔凈室直接設置于生產(chǎn)設備中。晶圓隔離技術又稱為標準機械接口(Standard MechanicalInterface，SMIF)，SMIF被集成到半導體設備中。在半導體制造工藝中，SMIF作為一個界面接口，在該界面接口中，晶圓被裝進晶圓盒；接著將晶圓盒裝載并封閉在SMIF，SMIF為晶圓提供一個極端潔凈的凈化級別的微環(huán)境。后續(xù)，裝有晶圓的晶圓盒會被運輸至相應的半導體設備，以完成相應制程，之后再被運輸至SMIF中存儲起來。
[0003]SMIF中設有若干激光傳感器(laser sensor)，用于感應晶圓(wafer)、凹槽(slot)、凸起(protrus1n)等的位置。SMIF激光傳感器應滿足的標準:激光需射到接收傳感器的中心位置，這需要通過不斷調(diào)整SMIF激光傳感器來實現(xiàn)。
[0004]如圖1所示，顯示為一種SMIF的俯視結構示意圖，其中，SMIF框架上設有晶圓位置激光傳感器101、晶舟位置激光傳感器102及晶圓凸起激光傳感器103，其中，晶圓位置激光傳感器(wafer posit1n sensor)用于偵測晶舟里是否有晶圓，晶舟位置激光傳感器(cassette slot sensor)用于偵測SMIF底盤上是否有晶舟，晶圓凸起激光傳感器(waferprotrus1n sensor)用于偵測晶舟里的晶圓有沒有凸出來。偵測激光通過激光二極管(laser d1de) 104發(fā)出，并經(jīng)晶圓位置分光鏡((wafer posit1n beamsplitter) 105、晶舟位置分光鏡(cassette slot beamsplitters) 106及反射鏡(mirrors) 107的透射、反射作用，通過三個路徑分別射入所述晶圓位置激光傳感器101、晶舟位置激光傳感器102及晶圓凸起激光傳感器103。
[0005]當前激光傳感器的調(diào)整主要是通過調(diào)節(jié)分光鏡及反射鏡的位置使激光射到相應的接收傳感器。接收傳感器的位置是固定的，且位置隱蔽不易被觀察，調(diào)節(jié)時觀察很不方便，同時存在眼睛被激光照射到的風險。特別的，工廠內(nèi)往往有數(shù)千臺SMIF，同時每臺SMIF都需要做定時檢查，由此將造成極大的人力資源的浪費。
[0006]因此，提供一種SMIF激光傳感器檢測及調(diào)整輔助工具，以便于工程師高效完成對SMIF激光傳感器的檢測和調(diào)整，節(jié)約人力和時間，同時保護操作人員的眼睛實屬必要。
【實用新型內(nèi)容】
[0007]鑒于以上所述現(xiàn)有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種SMIF激光傳感器檢測及調(diào)整輔助工具，用于解決現(xiàn)有技術中對SMIF激光傳感器的調(diào)整耗費大量人力和時間，并容易傷害操作人員眼睛的問題。
[0008]為實現(xiàn)上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種SMIF激光傳感器檢測及調(diào)整輔助工具，包括:
[0009]基座，所述基座上設有激光照射靶柱；所述激光照射靶柱上設有靶心通孔，所述靶心通孔的中心位置與SMIF上設置的激光傳感器的激光接收中心位置相對應。
[0010]可選地，所述激光照射靶柱為長方體。
[0011]可選地，所述靶心通孔為圓孔或多邊形孔。
[0012]可選地，所述激光照射靶柱的數(shù)目為三個，分別對應SMIF上設置的晶圓位置激光傳感器、晶舟位置激光傳感器及晶圓凸起激光傳感器。
[0013]可選地，所述基座上還設有開口，所述開口的位置對應SMIF底盤上的凸起。
[0014]可選地，所述開口為圓孔。
[0015]可選地，所述基座上還連接有把手。
[0016]可選地，所述把手跨越所述開口。
[0017]可選地，所述基座上設有貫穿所述基座的孔洞，所述孔洞的位置與所述SMIF底盤上的針腳位置相對應。
[0018]可選地，所述基座的外形與SMIF底盤的外形相匹配。
[0019]如上所述，本實用新型的SMIF激光傳感器檢測及調(diào)整輔助工具，具有以下有益效果:本實用新型的輔助工具可以用于檢測SMIF激光傳感器的位置是否正確，并有效地幫助SMIF激光傳感器位置的調(diào)整(通過調(diào)整分光鏡及反射鏡的位置間接調(diào)整)，對于工廠內(nèi)數(shù)量巨大的SMIF來說，既節(jié)省了調(diào)整時間，又節(jié)省了人力，同時可以保護操作人員的眼睛，避免操作人員眼睛被激光照射的風險。
【附圖說明】
[0020]圖1顯示為現(xiàn)有技術中SMIF的俯視結構示意圖。
[0021]圖2顯示為本實用新型的SMIF激光傳感器檢測及調(diào)整輔助工具的結構示意圖。
[0022]圖3顯示為圖2所示結構的俯視圖。
[0023]圖4顯示為激光照射靶柱的結構示意圖。
[0024]圖5顯示為激光照射靶柱另一角度的結構示意圖。
[0025]元件標號說明
[0026]101 晶圓位置激光傳感器
[0027]102 晶舟位置激光傳感器
[0028]103 晶圓凸起激光傳感器
[0029]104 激光二極管
[0030]105 晶圓位置分光鏡
[0031]106 晶舟位置分光鏡
[0032]107 反射鏡
[0033]201 基座
[0034]202 激光照射靶柱
[0035]203 靶心通孔
[0036]204 開口
[0037]205 把手
[0038]206 孔洞
【具體實施方式】
[0039]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。
[0040]請參閱圖2至圖5。須知，本說明書所附圖式所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術上的實質(zhì)意義，任何結構的修飾、比例關系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用新型所揭示的技術內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術內(nèi)容下，當亦視為本實用新型可實施的范疇。
[0041]本實用新型提供一種SMIF激光傳感器檢測及調(diào)整輔助工具，請參閱圖2，顯示為該輔助工具的機構示意圖，包括:
[0042]基座201，所述基座201上設有激光照射靶柱202 ;所述激光照射靶柱202上設有靶心通孔203，所述靶心通孔203的中心位置與SMIF上設置的激光傳感器的激光接收中心位置相對應。此處，所述靶心通孔203的中心位置與SMIF上設置的激光傳感器的激光接收中心位置相對應指的是當各分光鏡、反射鏡處于標準位置，激光發(fā)射器發(fā)出的激光能夠射到激光傳感器的激光接收中心位置時，若將所述輔助工具放置于SMIF底盤上預設位置，則激光會穿過所述靶心通孔到達所述激光接收中心位置。
[0043]具體的，所述激光照射靶柱202固定連接于所述基座201上。作為示例，所述激光照射靶柱202為長方體，當然在其它實施例中，所述激光照射靶柱202也可以為其它形狀，只要能夠突出于所述基座201表面起到靶柱作