一種條形半導(dǎo)體激光器端面鍍膜夾具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種條形半導(dǎo)體激光器端面鍍膜夾具，屬于半導(dǎo)體激光器芯片制造工藝的技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]條形半導(dǎo)體激光器(LD)具有體積小、重量輕、轉(zhuǎn)換效率高、工作壽命長等優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于固體激光器栗浦、工業(yè)加工、激光醫(yī)療和軍事等領(lǐng)域，有著非常廣泛的應(yīng)用前景和市場價值。
[0003]在條形半導(dǎo)體激光器芯片生產(chǎn)的工藝過程中，針對激光器巴條的端面鍍膜是非常重要的工藝步驟之一。針對條形半導(dǎo)體激光器巴條的端面鍍膜主要有兩個目的:1、實現(xiàn)對腔面的保護，避免激光器端面被大氣環(huán)境中水氣、油污、灰塵等污染，并防止因解離產(chǎn)生的晶體懸掛鍵與氧化性氣體發(fā)生反應(yīng)，而這種反應(yīng)將降低激光器性能和壽命；2、合理的調(diào)整條形激光器兩個端面的反射率，優(yōu)化激光器閾值電流、出射效率，最終實現(xiàn)單面的最大激光功率輸出。
[0004]現(xiàn)有的條形半導(dǎo)體激光器巴條端面鍍膜夾具種類繁多，應(yīng)用于鍍膜工藝中，主要目的是夾持一定數(shù)量并行排列的條形激光器巴條。
[0005]中國專利CN204333598U公開了一種半導(dǎo)體激光器芯片腔面鍍膜夾具，包括基體、滑塊、夾持機構(gòu)和底座，基體中部設(shè)有貫穿的通孔，通孔的中部設(shè)有垂直的一對平行滑軌，內(nèi)置第一滑塊和第二滑塊，緊貼第一滑塊設(shè)置有螺栓，穿過基體上的螺紋與滑塊垂直；底座的頂面上方為設(shè)有凹槽的載臺，凹槽的寬度小于芯片的長度，用來承載芯片，芯片的兩端設(shè)有限位塊，防止芯片歪斜，所述載臺位于通孔內(nèi)，所述底座的頂面、載臺的頂面與基體的底面相互平行。本實用新型采用堆疊-夾持的方式固定芯片，但是該夾具采用螺栓驅(qū)動對激光器芯片進行堆疊夾緊；無夾持端和墊片之分，易出現(xiàn)鍍膜材料的污染，還需要更換部件；只具有導(dǎo)向槽，無導(dǎo)向桿，容易造成夾持部支撐變形，影響夾持力度；所示夾具的上邊框較短，需要多個固定栓進行固定；整個滑塊底部無滑軌，夾持平整度難以保證；基座只提供載臺和限位臺對夾具進行固定，其固定效果較差。
[0006]中國專利CN104218446公開了一種半導(dǎo)體激光器裝條裝置及裝條方法，該裝置包括支座和夾具，夾具置于支座上，支座上帶有間隔的四條脊，兩個外側(cè)脊的高度相同，中間兩個脊的高度相同，中間兩個脊的高度小于兩個外側(cè)脊的高度；夾具包括固定夾板、活動夾板和導(dǎo)柱，固定夾板上設(shè)置有導(dǎo)柱，活動夾板安裝在導(dǎo)柱上，活動夾板和固定夾板之間設(shè)置有彈簧，活動夾板上設(shè)置有與支座上四條脊相對應(yīng)的四條槽；裝條時，將夾具放置到支座上，使夾具的固定夾板和活動夾板處于支座上的四條脊之間，使支座傾斜放置，自下至上陪條和巴條逐次相間地放置在支座上并夾在固定夾板和活動夾板之間。該專利的技術(shù)不足在于，所述導(dǎo)向用的滑桿由彈簧控制，且未完全包覆，如果出現(xiàn)鍍膜材料污染，將導(dǎo)致阻塞引發(fā)夾持力不足，且需要整體更換或清潔。
[0007]中國專利CN203747237公開一種新型半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具，包括T型栓，夾具外殼和內(nèi)嵌組合模塊，夾具外殼的中央設(shè)置有第一矩形通槽，在第一矩形通槽的中下部設(shè)置有向夾具外殼的兩側(cè)延伸的凹槽，夾具外殼的上表面與第一矩形通槽之間設(shè)置有橫梁，橫梁中間設(shè)置有貫穿橫梁的貫穿通孔，橫梁上設(shè)置有與夾具外殼垂直的、穿過貫穿通孔的第一螺孔，內(nèi)嵌組合模塊為與第一矩形通槽相契合的矩形形狀，內(nèi)嵌組合模塊的中下部設(shè)置有向兩側(cè)延伸的槽型凸起；內(nèi)嵌組合模塊嵌入夾具外殼內(nèi)部的第一矩形通槽中，T型栓插入貫穿通孔中并用插入第一螺孔的螺釘固定。該專利的技術(shù)不足在于，無夾持端和墊片之分，易出現(xiàn)鍍膜材料的污染；僅靠滑動部件和固定螺栓對芯片進行夾緊，無法實現(xiàn)對芯片的平整固定。
[0008]中國專利CN 101748367公開一種用于半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜的裝置和方法，所述的裝置由三個以傾斜角固定在蒸鍍平臺上的承片臺構(gòu)成，使用時首先將解理出腔面的激光器置于承片臺上，腔面貼近承片臺邊緣；然后利用彈簧片固定激光器，激光器的上表面被彈簧片保護；最后將承片臺安裝在蒸鍍平臺上，將安裝好的蒸鍍平臺放入蒸鍍腔體中進行蒸鍍。在蒸鍍過程中，由于激光器上表面被彈簧片覆蓋，下表面緊貼承片臺，并且激光器腔面與蒸發(fā)平面成一定傾斜角，激光器的上下表面都受到保護而不會被蒸鍍薄膜，有效避免了蒸鍍時引入金屬短路或者金屬電極被絕緣薄膜覆蓋的可能性。該專利的技術(shù)不足在于，僅記載利用彈簧片對芯片進行固定，未記載具體的夾持架構(gòu)。
[0009]中國專利CN 2741238公開用于半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜的夾具，屬于半導(dǎo)體激光器工藝技術(shù)領(lǐng)域?，F(xiàn)有的夾具結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，加工比較困難，而且裝條極為麻煩很容易對腔面造成污染或損傷，夾持的薄板還容易對激光條造成機械損傷。本實用新型提供的用于半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜的夾具由三塊平行凹形板(5)和一長方形薄板(8)及起固定和夾緊作用的方框組成。該專利的技術(shù)不足在于，利用凹形板和方形板組合固定，但是對芯片的尺寸要求較為單一，如尺寸不適，則難以實現(xiàn)平整固定鍍膜；且鍍膜時會造成夾具污染。
[0010]如中國專利CN103225068A公開一種半導(dǎo)體激光器芯片端面鍍膜夾緊夾具，該裝置包括:固定件，所述固定件的兩端分別固定有兩個連接軸，所述固定件通過兩個連接軸活動連接有拉伸件，所述拉伸件與固定件之間連接有彈簧。還包括輔助裝條工具，所述輔助裝條工具包括基座，所述基座連接有手柄座，所述手柄座上設(shè)置有絲杠，所述基座表面設(shè)置有左導(dǎo)軌和右導(dǎo)軌，左導(dǎo)軌和右導(dǎo)軌之間連接有拉桿，所述拉桿與所述絲杠連接。該對比專利存在夾具活動端易受鍍膜膜料影響導(dǎo)致活動性變差、無法根據(jù)巴條寬度調(diào)整相應(yīng)夾持端厚度的問題，以及夾具活動端在鍍膜中易受夾持夾具影響引發(fā)對巴條夾持力不足，導(dǎo)致巴條掉落的問題。除此以外，裝條基座勾拉件采用旋轉(zhuǎn)手柄操作靈活性差，工作效率偏低。
[0011]綜上而言，已發(fā)表專利中不可避免的存在以下缺點:
[0012]1、夾具構(gòu)造設(shè)計不合理，在夾具安裝至鍍膜爐支架裝配過程中容易因操作不當(dāng)而發(fā)生巴條整體掉落，同時在鍍膜過程中由于夾具夾持巴條活動端被鍍膜爐支架固定端加緊而無法有效夾持巴條，導(dǎo)致所夾巴條掉落。
[0013]2、巴條裝入夾具時裝配困難，需要操作中手動按住夾具活動端，對人員技能要求較高，因而工作效率較低，裝條成功率不高，容易導(dǎo)致產(chǎn)品損失。
[0014]3、夾具夾持巴條端寬度或厚度固定，針對不同寬度或厚度的巴條無法進行相應(yīng)調(diào)節(jié)。尤其是針對巴條厚度，如果巴條寬度小于夾條端厚度，在鍍膜過程中巴條因受到夾條端遮擋而導(dǎo)致所鍍薄膜厚度不均勻；反之，如果巴條寬度較夾持端厚度厚很多，則容易引起巴條翹曲，增加巴條間的間隙，導(dǎo)致鍍膜膜料滲入。
[0015]4、夾具滑動端與滑動導(dǎo)軌間隙小，活動性較差，容易因鍍膜膜料滲漏導(dǎo)致阻塞，弓丨發(fā)夾具活動端無法移動。
[0016]5、夾具不利于使用后的清洗和維護，導(dǎo)致磨損嚴(yán)重、精度下降快，縮短使用壽命。【實用新型內(nèi)容】
[0017]針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供一種條形半導(dǎo)體激光器端面鍍膜夾具。
[0018]本實用新型的技術(shù)方案如下:
[0019]—種條形半導(dǎo)體激光器端面鍍膜夾具，包括巴條鍍膜夾具和輔助裝條工具，所述巴條鍍膜夾具包括滑動部和組合框，在所述組合框內(nèi)兩側(cè)設(shè)置有滑道，所述滑動部的兩端分別為凸字形嵌入部，所述滑道與所述凸字形嵌入部相配合。本實用新型所述的夾具采用半封閉的滑道，并與凸字形嵌入部相配合，不但保證滑動部在滑道內(nèi)平穩(wěn)滑動，避免出現(xiàn)脫軌、傾斜錯位等現(xiàn)象，而且還能避免在鍍膜過程中原料對夾具的污損，實現(xiàn)靈活、快速并可靠的完成各種規(guī)格的條形半導(dǎo)體激光器巴條的裝配，且夾具易于清洗和維護，使用壽命長。
[0020]根據(jù)本實用新型優(yōu)選的，所述組合框包括U形底框和上橫框，在所述U形底框的兩側(cè)柱內(nèi)分別設(shè)置有滑道，所述滑動部的兩端分別為凸字形嵌入部，所述滑道與所述凸字形嵌入部相配合。
[0021]根據(jù)本實用新型優(yōu)選的，在所述滑動部上安裝有可拆卸的上巴條夾持端，在所述U形底框的底部上安裝有可拆卸的下巴條夾持端，所述上巴條夾持端和下巴條夾持端相對設(shè)置。所述上巴條夾持端通過墊片和螺栓固定在所述滑動部的中央凹臺上；所述下巴條夾持端通過墊片和螺栓固定在所述U形底框底部的中央凹臺上。此處設(shè)計的優(yōu)點在于，將夾持端設(shè)計為可拆卸式的巴條夾持端，利于巴條夾持端在出現(xiàn)鍍膜污染、磨損或尺寸不適配時能夠被及時更換，提高鍍膜夾持精度。
[0022]根據(jù)本實用新型優(yōu)選的，所述滑動部通過限位部件與輔助裝條工具連接。此處設(shè)計的優(yōu)點在于，所述滑動部在裝條前通過所述限位部件加以固定，將滑動部與輔助裝條工具限位裝配，增加了裝配效率，簡化了人員操作，提高了裝條成功率。
[0023]根據(jù)本實用新型優(yōu)選的，所述組合框整體為矩形，所述上橫框嵌入設(shè)置在所述U形底框的開口端。
[0024]根據(jù)本實用新型優(yōu)選的，在所述滑道內(nèi)設(shè)置有伸縮導(dǎo)向桿，所述伸縮導(dǎo)向桿的一端與上橫框相連，所述伸縮導(dǎo)向桿的另一端與所述凸字形嵌入部相連。此處設(shè)計的優(yōu)點在于，采用伸縮導(dǎo)向桿對所述的滑動部提供壓力，使上、下巴條夾持端精確平穩(wěn)對合，實現(xiàn)對條形半導(dǎo)體激光器的有效夾持。
[0025]根據(jù)本實用新型優(yōu)選的，所述伸縮導(dǎo)向桿的驅(qū)動方式為機械傳動、液壓傳動或氣壓傳動，但不限于此。
[0026]根據(jù)本實用新型優(yōu)選的，所述凸字形嵌入部包括滾珠和與滾珠匹配的球槽。此處設(shè)計的優(yōu)點在于，在所述嵌入部引入滾珠，實現(xiàn)所述滑動部在組合框內(nèi)的順暢滑動，避免機械摩擦或污物堵塞而引起的機械故障。
[0027]根據(jù)本實用新型優(yōu)選的，所述巴條鍍膜夾具和輔助裝條工具之間通過第二螺栓桿固定連接。此處設(shè)計的優(yōu)點在于，所述第二螺栓桿為可拆卸形式，可根據(jù)實際需要安裝相應(yīng)數(shù)量螺栓桿。
[0028]根據(jù)本實用新型優(yōu)選的，在所述輔助裝條工具的上表面設(shè)置有巴條支撐軌和限位孔；所述滑動部的背面設(shè)置有與所述巴條支撐軌相配合的凹槽；所述限位部件為第一螺栓桿，在所述滑動部上貫穿設(shè)置有固定孔，所述滑動部通過第一螺栓桿穿過固定孔并插入限位孔與所述輔助裝條工具連接。此處設(shè)計的優(yōu)點在于，將需要裝配的巴條直接擺放于巴條