一種掩膜提籃的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種掩膜提籃。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體晶片制作工藝過(guò)程中，固定晶片鍍膜需要用到掩膜，因此掩膜是必不可少的工具，并且需要的數(shù)量很大。掩膜在不同工序間搬運(yùn)的過(guò)程中，一般是通過(guò)提籃完成的?，F(xiàn)有的提籃包括盒體，盒體的前側(cè)面開(kāi)口設(shè)置，其余各側(cè)面均為封閉設(shè)置，盒體的頂部設(shè)有提手，在盒體的左側(cè)板內(nèi)側(cè)面上和右側(cè)板內(nèi)側(cè)面上從上到下間隔設(shè)有若干個(gè)一一對(duì)應(yīng)設(shè)置的左凸臺(tái)和右凸臺(tái)。使用時(shí)，將掩膜從盒體的前側(cè)面插入盒體內(nèi)，并放置在相對(duì)應(yīng)的左凸臺(tái)和右凸臺(tái)上，然后工人手拿提手將裝有掩膜的盒體移至下一道工序。然而，現(xiàn)有的提籃存在以下缺點(diǎn):一、由于掩膜在盒體內(nèi)是上下正對(duì)應(yīng)排列設(shè)置，相鄰兩掩膜之間的距離較小，工人在操作時(shí)都帶著膠皮手套，因此操作時(shí)工人不易從盒體中抽出掩膜，尤其是工人的手較大時(shí)，影響了工作效率；二、在使用過(guò)程中，左凸臺(tái)和右凸臺(tái)上很容易存儲(chǔ)污染物，裝載的晶片很容易粘上這些污染物，從而對(duì)晶片造成污染。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型提供了一種掩膜提籃，它結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，在充分利用盒體內(nèi)空間的情況下，使用時(shí)增加了上下相鄰兩掩膜之間的距離，從而便于工人抽出掩膜，提高了工作效率，并且不易使污染物存儲(chǔ)在左凸臺(tái)、右凸臺(tái)處，不會(huì)對(duì)晶片造成污染，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的冋題。
[0004]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:它包括盒體，盒體的前側(cè)面開(kāi)口設(shè)置，在盒體的頂板外側(cè)面上設(shè)有提手，在盒體內(nèi)中部設(shè)有垂直于盒體后側(cè)板的立板，立板從上到下間隔設(shè)有若干個(gè)向左凹的左凹槽，立板從上到下間隔設(shè)有若干個(gè)向右凹的右凹槽，左凹槽和右凹槽交錯(cuò)設(shè)置，在與每個(gè)左凹槽的開(kāi)口正對(duì)應(yīng)的盒體右側(cè)板內(nèi)側(cè)面上設(shè)有右凸臺(tái)，在與每個(gè)右凹槽的開(kāi)口正對(duì)應(yīng)的盒體左側(cè)板內(nèi)側(cè)面上設(shè)有左凸臺(tái)，在立板的左凹槽和右凹槽上密布有若干個(gè)第一漏孔，在盒體的左側(cè)板、右側(cè)板、后側(cè)板上密布有若干個(gè)第二漏孔。
[0005]所述盒體的左側(cè)板、右側(cè)板、后側(cè)板、頂板、底板均為鋁復(fù)合板；鋁復(fù)合板包括芯層板、在芯層板的兩側(cè)設(shè)有第一表層板和第二表層板，在芯層板上均勻壓制有若干個(gè)凸起，若干個(gè)凸起的凸起高度和凸起方向相同，第一表層板通過(guò)第一膠粘層與芯層板粘接，第二表層板通過(guò)第二膠粘層與芯層板粘接。
[0006]所述第一表層板和第二表層板為招板。
[0007]所述凸起為球面凸起或橢球面凸起。
[0008]還包括提籃罩，提籃罩包括罩體，罩體的底部開(kāi)口設(shè)置，罩體的頂部對(duì)應(yīng)于提手的位置設(shè)有與提手相適應(yīng)的插孔。
[0009]所述罩體為透明設(shè)置。
[0010]所述左凹槽的下側(cè)面與右凸臺(tái)的頂面平齊，所述右凹槽的下側(cè)面與左凸臺(tái)的頂面平齊。
[0011]在盒體的底板上設(shè)有固定孔。
[0012]本實(shí)用新型采用上述方案，具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0013]1、正對(duì)應(yīng)的左凹槽與右凸臺(tái)、相對(duì)應(yīng)的右凹槽與左凸臺(tái)在盒體內(nèi)上下交錯(cuò)設(shè)置，當(dāng)掩膜放置在盒體內(nèi)時(shí)是上下交錯(cuò)排列的，本實(shí)用新型在充分利用盒體內(nèi)空間的情況下，增加了上下相鄰兩掩膜之間的距離，從而便于工人抽出掩膜，提高了工作效率。
[0014]2、在立板的左凹槽和右凹槽上密布有若干個(gè)第一漏孔，在盒體的左側(cè)板、右側(cè)板、后側(cè)板上密布有若干個(gè)第二漏孔。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不易使污染物存儲(chǔ)在左凸臺(tái)、右凸臺(tái)處，污染物能夠通過(guò)第一漏孔、第二漏孔漏出，從而不會(huì)對(duì)晶片造成污染。
[0015]3、鋁復(fù)合板包括芯層板、在芯層板的兩側(cè)設(shè)有第一表層板和第二表層板，在芯層板上均勻壓制有若干個(gè)凸起，若干個(gè)凸起的凸起高度和凸起方向相同，第一表層板通過(guò)第一膠粘層與芯層板粘接，第二表層板通過(guò)第二膠粘層與芯層板粘接。凸起的成型非常方便，直接在芯層板上利用壓輥可壓制出來(lái)，然后利用第一膠粘層將第一表層板與芯層板粘接、第二膠粘層將第二表層板與芯層板粘接。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在保證一定強(qiáng)度的情況下，通過(guò)凸起使鋁復(fù)合板的厚度增加，使鋁復(fù)合板單位厚度的重量降低，從而使整個(gè)鋁復(fù)合板的重量降低，減輕了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度。
[0016]4、在裝有掩膜的盒體移至下一道工序時(shí)，將提籃罩罩設(shè)在盒體上，即將提籃罩從盒體上方向下移動(dòng)，使盒體上的提手穿過(guò)提籃罩的插孔，使提籃罩罩設(shè)在盒體上。提籃罩的作用有:一、由于盒體的前側(cè)面開(kāi)口設(shè)置，在搬運(yùn)的過(guò)程中，掩膜容易從盒體的前側(cè)面滑出，從而造成掩膜上晶片的損壞；二、通過(guò)提籃罩使提籃內(nèi)裝載的掩膜保持相對(duì)密閉的環(huán)境，避免在搬運(yùn)的過(guò)程中污染物對(duì)掩膜上的晶片造成污染。
[0017]5、罩體為透明設(shè)置，從而便于工人觀察掩膜的狀況。
[0018]6、左凹槽的下側(cè)面與右凸臺(tái)的頂面平齊，右凹槽的下側(cè)面與左凸臺(tái)的頂面平齊，當(dāng)掩膜放置在左凹槽、右凸臺(tái)及右凹槽、左凸臺(tái)上時(shí)，掩膜處于水平位置。
[0019]7、在盒體的底板上設(shè)有固定孔。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)有利于半導(dǎo)體晶片的機(jī)械自動(dòng)化加工，即當(dāng)盒體放置在工作臺(tái)上時(shí)，工作臺(tái)上的定位凸起能夠穿過(guò)盒體的固定孔，從而使盒體固定在工作臺(tái)上，有利于下一步機(jī)械手抓取掩膜。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1為本實(shí)用新型的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖2為圖1的左視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖3為圖1的后視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖4為鋁復(fù)合板的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖5為提籃罩的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖6為提籃罩罩設(shè)在盒體上的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖中，1、盒體，2、提手，3、立板，4、左凹槽，5、右凹槽，6、右凸臺(tái)，7、左凸臺(tái)，8、第一漏孔，9、第二漏孔，10、芯層板，11、第一表層板，12、第二表層板，13、凸起，14、第一膠粘層，15、第二膠粘層，16、罩體，17、插孔，18、固定孔，19、掩膜。
【具體實(shí)施方式】
[0027]為能清楚說(shuō)明本方案的技術(shù)特點(diǎn)，下面通過(guò)【具體實(shí)施方式】，并結(jié)合其附圖，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)闡述。
[0028]如圖1?圖6所示，本實(shí)用新型包括盒體1，盒體1的前側(cè)面開(kāi)口設(shè)置，在盒體1的頂板外側(cè)面上設(shè)有提手2。在盒體1內(nèi)中部設(shè)有垂直于盒體1后側(cè)板的立板3，立板3從上到下間隔設(shè)有若干個(gè)向左凹的左凹槽4，立板3從上到下間隔設(shè)有若干個(gè)向右凹的右凹槽5，左凹槽4和右凹槽5交錯(cuò)設(shè)置。在與每個(gè)左凹槽4的開(kāi)口正對(duì)應(yīng)的右側(cè)板內(nèi)側(cè)面