一種硅片頂針的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽能生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種硅片頂針。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，光伏電池產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速。據(jù)2004年數(shù)據(jù)分析，各種太陽能電池中硅基太陽能電池占總廣量的98 %，晶體娃太陽能電池占總廣量的84.6 %，多晶娃太陽能電池占總量的56%。中國政府已經(jīng)把新能源產(chǎn)業(yè)列為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，未來10年投資將達(dá)3萬億，將為新能源產(chǎn)業(yè)創(chuàng)造難得的發(fā)展機(jī)遇。光伏發(fā)電是本世紀(jì)最有市場潛力、最具發(fā)展前景的新能源。光伏產(chǎn)業(yè)以其技術(shù)先進(jìn)性、資源無限性和綠色環(huán)保性，成為全球產(chǎn)業(yè)革命的核心、發(fā)展低碳經(jīng)濟(jì)的方向、應(yīng)對能源危機(jī)和實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展的重要途徑。在太陽能光伏電池制備過程中蝕刻，硅片頂針常用于硅片的搬送和消除靜電。因此，硅片頂針的設(shè)計(jì)，對太陽能光伏電池的發(fā)展有重要影響。
[0003]中國專利CN200710094069.5公開了一種硅片頂針，包括:接觸部、升降部，接觸部具有彈性組件；接觸部通過彈性組件嵌設(shè)、套設(shè)或直接連接在所述升降部的頂部。該發(fā)明的彈性組件可以是由壓縮金屬彈簧組成，或者由可變形的導(dǎo)體彈片組成，也可以用重力方式實(shí)現(xiàn)等。但是該硅片頂針在使用過程中容易對硅片造成損傷，同時不能確保硅片被可靠托起，有時會出現(xiàn)硅片沒有托起，造成硅片損壞，影響生產(chǎn)。
[0004]因此急需一種能將硅片可靠托起、不損傷硅片的硅片頂針。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型針對上述問題，提供一種能將硅片可靠托起、不損傷硅片的硅片頂針。
[0006]本實(shí)用新型解決上述問題所采用的技術(shù)方案是:
[0007]—種硅片頂針，其中，包括:導(dǎo)向套，所述導(dǎo)向套呈圓柱形；頂出裝置，所述頂出裝置包括導(dǎo)桿、若干個連接體和若干個引腳，所述導(dǎo)桿可上下移動地設(shè)置在導(dǎo)向套內(nèi)，所述連接體固定設(shè)置在導(dǎo)桿的上部，所述引腳固定設(shè)置在連接體的一端。
[0008]進(jìn)一步地，所述引腳包括依次相連接的第一桿、第二桿和第三桿，所述第一桿與第二桿之間的夾角為A。
[0009]更進(jìn)一步地，所述夾角A為165°?175°。
[0010]更進(jìn)一步地，所述夾角A為170°。
[0011]更進(jìn)一步地，所述引腳還包括依次相連接的第一支撐體和第二支撐體，所述第一支撐體連接在第三桿的末端，且向?qū)U中心延伸，所述第二支撐體連接在第一支撐體的末端，且向?qū)U中心延伸。
[0012]更進(jìn)一步地，所述第三桿呈弧形，所述第二支撐體呈弧形。
[0013]更進(jìn)一步地，所述第一支撐體和第二支撐體的表面上均設(shè)有若干個凸起。
[0014]更進(jìn)一步地，所述連接體具有過渡壁和凹槽，所述過渡壁位于連接體的下部，所述凹槽位于連接體的上部。
[0015]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是頂出裝置的引腳能夠確保硅片平穩(wěn)的、可靠地被托起，避免發(fā)生跳片現(xiàn)象，能有效防止損壞硅片。
[0016]除了上面所描述的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)之外，本實(shí)用新型還有其它的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)。下面將參照圖，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
【附圖說明】
[0017]構(gòu)成本說明書的一部分、用于進(jìn)一步理解本實(shí)用新型的附圖示出了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，并與說明書一起用來說明本實(shí)用新型的原理。在附圖中:
[0018]圖1是本實(shí)用新型的剖視圖；
[0019]圖2是本實(shí)用新型的頂出裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖3是本實(shí)用新型的頂出裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖4是本實(shí)用新型的頂出裝置的另一局部結(jié)構(gòu)示意圖；以及
[0022]圖5是本實(shí)用新型的頂出裝置的又一局部結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]其中，圖中標(biāo)記為:
[0024]1為吸盤、11為容納腔、2為硅片、3為頂出裝置、31為導(dǎo)桿、32為連接體、321為過渡壁、322為凹槽、33為引腳、331為第一桿、332為第二桿、333為第三桿、334為第一支撐體、335為第二支撐體、336為凸起、4為導(dǎo)向套。
【具體實(shí)施方式】
[0025]以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明，但是本實(shí)用新型可以由權(quán)利要求限定和覆蓋的多種不同方式實(shí)施。
[0026]實(shí)施例一:
[0027]參考圖1至圖5，如圖1所示的一種硅片2頂針，其中，包括導(dǎo)向套4和頂出裝置3，導(dǎo)向套4安裝在吸盤1下端的定位孔內(nèi)，導(dǎo)向套4呈圓柱形，導(dǎo)向套4與定位孔過盈配合，以便安裝牢靠，吸盤1內(nèi)設(shè)有一容納腔11，容納腔11貫穿吸盤1的上面，且與定位孔相貫通，如圖1和圖2所示，頂出裝置3包括導(dǎo)桿31、若干個連接體32和若干個引腳33，導(dǎo)桿31可上下移動地設(shè)置在導(dǎo)向套4內(nèi)，導(dǎo)桿31的上部延伸至容納腔11，連接體32固定設(shè)置在導(dǎo)桿31的上部，連接體32和引腳33均位于容納腔11內(nèi)，引腳33固定設(shè)置在連接體32的一端，硅片2位于容納腔11的上開口，引腳33抵擋在硅片2的下部。
[0028]如圖3和圖4所示，引腳33包括依次相連接的第一桿331、第二桿332和第三桿333，第一桿331連接在連接體32的一端，第二桿332的一端連接在第一桿331的末端，第二桿332的另一端連接在第三桿333的首端，引腳33還包括依次相連接的第一支撐體334和第二支撐體335，第一支撐體334連接在第三桿333的末端，且向?qū)U31中心延伸，第二支撐體335連接在第一支撐體334的末端，且向?qū)U31中心延伸，第二桿332沿導(dǎo)桿31的軸向和徑向向外延伸，第三桿333的首端高于導(dǎo)桿31的上部，第一桿331與第二桿332之間的夾角為A，引腳33可避免發(fā)生硅片2跳片現(xiàn)象，確保硅片2被頂出時平穩(wěn)的、可靠地被托起，能有效防止損壞娃片2。
[0029]優(yōu)選地，夾角A為165°，使得頂出時硅片2受力緩慢，確保平穩(wěn)的、可靠地被托起硅片2。
[0030]優(yōu)選地，第三桿333呈弧形，第二支撐體335呈弧形，弧形結(jié)構(gòu)使得頂出硅片2時接觸緩慢，避免沖擊力，防止損壞硅片2。
[0031]第一支撐體334和第二支撐體335的表面上均設(shè)有若干個凸起336，以確保硅片2在被頂出時不滑落，并且可靠地抵擋在第一支撐體334和第二支撐體335的表面上。
[0032]如圖5所示，優(yōu)選地，連接體32具有過渡壁321和凹槽322，過渡壁321位于連接體32的下部，凹槽322位于連接體32的上部，過渡壁321和凹槽322的設(shè)置防止硅片2被托起時連接體32斷裂。
[0033]實(shí)施例二:
[0034]參考圖1至圖5，如圖1所示的一種硅片2頂針，其中，包括導(dǎo)向套4和頂出裝置3，導(dǎo)向套4安裝在吸盤1下端的定位孔內(nèi)，導(dǎo)向套4呈圓柱形，導(dǎo)向套4與定位孔過盈配合，以便安裝牢靠，吸盤1內(nèi)設(shè)有一容納腔11，容納腔11貫穿吸盤1的上面，且與定位孔相