一種用于太陽能電池制程的多段組合式處理槽的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及太陽能電池制造領域，尤其涉及一種用于太陽能電池制程的多段組合式處理槽。
【背景技術】
[0002]太陽能電池的制造過程分為幾個階段：硅片切割，材料準備；去除損傷層；制絨；擴散制結(jié)；邊緣刻蝕、清洗；沉積減反射層；絲網(wǎng)印刷上下電極；共燒形成金屬接觸；電池片測試。其中，去除損傷層；制絨；擴散制結(jié)；邊緣刻蝕、清洗等工藝需要在處理槽中用藥液進行處理。
[0003]去除損傷層：硅片在切割過程會產(chǎn)生大量的表面缺陷，這就會產(chǎn)生兩個問題，首先表面的質(zhì)量較差，另外這些表面缺陷會在電池制造過程中導致碎片增多。因此要將切割損傷層去除，一般采用堿或酸腐蝕，腐蝕的厚度約l〇um。
[0004]制絨：制絨，就是把相對光滑的原材料硅片的表面通過酸或堿腐蝕，使其凸凹不平，變得粗糙，形成漫反射，減少直射到硅片表面的太陽能的損失。對于單晶硅來說一般采用NaOH加醇的方法腐蝕，利用單晶硅的各向異性腐蝕，在表面形成無數(shù)的金字塔結(jié)構(gòu)，堿液的溫度約80度，濃度約1?2%，腐蝕時間約15分鐘。對于多晶來說，一般采用酸法腐蝕。
[0005]擴散制結(jié)：擴散的目的在于形成PN結(jié)。普遍采用磷做η型摻雜。由于固態(tài)擴散需要很高的溫度，因此在擴散前硅片表面的潔凈非常重要，要求硅片在制絨后要進行清洗，即用酸來中和硅片表面的堿殘留和金屬雜質(zhì)。
[0006]邊緣刻蝕、清洗：擴散過程中，在硅片的周邊表面也形成了擴散層。周邊擴散層使電池的上下電極形成短路環(huán)，必須將它除去。周邊上存在任何微小的局部短路都會使電池并聯(lián)電阻下降，以至成為廢品。目前，工業(yè)化生產(chǎn)用等離子干法腐蝕，在輝光放電條件下通過氟和氧交替對硅作用，去除含有擴散層的周邊。擴散后清洗的目的是去除擴散過程中形成的磷娃玻璃。
[0007]太陽能電池片制造時，上述需要用多種化學藥液處理的過程，在不同的處理槽內(nèi)完成?，F(xiàn)有技術的做法是做多個處理槽，每種處理槽完成一步制程，然后多個處理槽拼接到一起。這種多處理槽的方式會增加安裝工作，造成拼接縫過多，增加藥液泄漏的風險。
【實用新型內(nèi)容】
[0008]為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種用于太陽能電池制程的多段組合式處理槽，通過在一個槽體內(nèi)設置多個隔板、固定半隔板和活動板將槽體分隔為多個獨立工作、功能不同的處理區(qū)，使處理槽更加靈活。
[0009]本實用新型提供的一種用于太陽能電池制程的多段組合式處理槽包括槽體和設置在槽體內(nèi)的若干個隔板、固定半隔板、活動板和活動隔板，其中，
[0010]所述槽體由前壁板、后壁板、左壁板、右壁板和底板圍合形成；
[0011]所述隔板、固定半隔板和活動隔板的兩側(cè)均分別與所述前壁板和后壁板連接；
[〇〇12]所述隔板和固定半隔板的下部與所述底板連接，用于將所述槽體分隔成不同的處理區(qū)；
[0013]所述固定半隔板的高度低于所述隔板的高度；
[0014]所述活動隔板可拆卸地設置在所述固定半隔板的上方；
[0015]所述活動板設置在所述固定半隔板的上部，所述活動板可伸縮。
[0016]進一步地，所述底板上設置有若干個底板進液口和圓形的回流孔。
[0017]進一步地，所述底板的中部向下凹陷。
[0018]進一步地，所述隔板的頂部與所述左壁板或右壁板平齊，所述固定半隔板的高度為所述隔板的一半。
[0019]進一步地，所述前壁板和/或所述后壁板上設置有若干個活動隔板安裝槽，所述活動隔板可拆卸地安裝在所述活動隔板安裝槽內(nèi)。
[0020]進一步地，所述隔板和活動隔板上均開設有用于電池片通過的電池片孔。
[0021]進一步地，所述槽體內(nèi)還設置有前擋板，所述前擋板平行于所述前壁板，所述前擋板上設置有若干個前擋板回流口和前擋板進液孔。
[0022]進一步地，由兩個所述固定半隔板分隔形成的處理區(qū)內(nèi)的底板的高度高于其他處理區(qū)的底板的高度；還包括傾斜板，所述傾斜板的一側(cè)與固定半隔板連接，另一側(cè)與底板連接。
[0023]進一步地，所述底板在于所述傾斜板連接的部位設置有若干個條形回流孔。
[0024]進一步地，所述后壁板上還設置有若干個廢氣孔。
[0025]實施本實用新型，具有如下有益效果：
[0026](1)使用本實用新型的方案，可以制作較長的連通槽體，在槽體內(nèi)通過隔板、固定半隔板將槽體分隔為不同的功能區(qū)域，每個區(qū)域可以添加不同的藥液或采取不同的方式對太陽能電池片進行處理，分隔方式靈活，提高了槽體的通用性，并且由于在隔板和活動隔板上設置電池片孔，能夠有效避免藥液在各槽體間的泄露。
[0027](2)在固定半隔板上設置活動板，可以靈活地根據(jù)需要調(diào)節(jié)固定半隔板形成的處理區(qū)內(nèi)的液位。
[0028](3)在固定半隔板上方設置可拆卸的活動隔板，可以根據(jù)需要選擇是否安裝該活動隔板，在有較多氣體或液體溢出時，安裝該活動隔板能有效阻擋氣液進入氣體處理區(qū)。
【附圖說明】
[0029]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案和優(yōu)點，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單的介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它附圖。
[0030]圖1是本發(fā)明實施例提供的用于太陽能電池制程的多段組合式處理槽的俯視圖；
[0031 ]圖2是圖1的A-A向的剖面圖；
[0032]圖3是圖1的C-C向的剖面圖；
[0033]圖4是本發(fā)明實施例提供的用于太陽能電池制程的多段組合式處理槽的活動隔板的不意圖；
[0034]圖5是本發(fā)明實施例提供的用于太陽能電池制程的多段組合式處理槽的隔板的示意圖；
[0035]圖6是本發(fā)明實施例提供的用于太陽能電池制程的多段組合式處理槽的固定半隔板的示意圖；
[0036]圖中：1_前壁板，后壁板，左壁板，4_右壁板，底板，6_隔板，7_固定半隔板，8-活動板，9-活動隔板，10-回流孔，11-底板進液口，12-活動隔板安裝槽，13-電池片孔，14-前擋板，15-前擋板回流口，16-前擋板進液孔，17-傾斜板，18-條形回流孔，19-廢氣孔。
【具體實施方式】
[0037]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0038]實施例：
[0039]請參見圖1-圖6,本實用新型實施例提供了一種用于太陽能電池制程的多段組合式處理槽，包括槽體和設置在槽體內(nèi)的若干個隔板6、固定半隔板7、活動板8和活動隔板9，其中，
[0040]所述槽體由前壁板1、后壁板2、左壁板3、右壁板4和底板5圍合形成；
[0041]所述隔板6、固定半隔板7和活動隔板9的兩側(cè)均分別與所述前壁板1和后壁板2連接；<