一種運(yùn)載裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及面板制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種承載并定位玻璃基板的運(yùn)載裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]低溫多晶娃(Low Temperature Poly-Silic1n，LTPS)是一種多晶娃(多晶娃為單質(zhì)硅的一種形態(tài))技術(shù)的一個(gè)分支，其制作過(guò)程一般在600攝氏度左右，由于通過(guò)LTPS技術(shù)所制成的玻璃基板具有電子迀移率快、薄膜電路面積小、分辨率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定性強(qiáng)等特點(diǎn)，上述玻璃基板已逐漸成為制作諸如手機(jī)屏幕、電腦屏幕等電子設(shè)備屏幕的主要元件。
[0003]在上述玻璃基板的制作過(guò)程中，通常都需要快速熱退火(RapidThermalAnnealing，RTA)工藝，其主要作用為使玻璃基板的內(nèi)部組織達(dá)到或接近平衡狀態(tài)，進(jìn)而獲得良好的工藝性能和使用性能。在進(jìn)行RTA工藝過(guò)程中，現(xiàn)有技術(shù)的一種實(shí)現(xiàn)方式為將玻璃基板放置在一個(gè)置于傳送滾輪上的運(yùn)載裝置中，使得玻璃基板可隨著各傳送滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)經(jīng)過(guò)各個(gè)處理區(qū)來(lái)進(jìn)行RTA，如圖1所示。
[0004]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中玻璃基板放置在運(yùn)載裝置上進(jìn)行RTA的示意圖。
[0005]在圖1中，玻璃基板001放置在運(yùn)載裝置110上，其中，該運(yùn)載裝置110為平板狀，上面含有若干個(gè)通孔111，該通孔111平均對(duì)稱分布在運(yùn)載裝置110的兩側(cè)，其主要用于當(dāng)玻璃基板001完成RTA工藝過(guò)程后，分離設(shè)備可將其設(shè)有的若干個(gè)圓柱插入并穿過(guò)該通孔111，使得各圓柱可將運(yùn)載裝置110上運(yùn)載的玻璃基板001頂起，進(jìn)而可使用抓取玻璃基板001的機(jī)械手臂抓住玻璃基板001的邊緣，將玻璃基板001從運(yùn)載裝置110中取出。
[0006]然而，在上述的現(xiàn)有技術(shù)中，運(yùn)載裝置110通常都是一直隨著傳送滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)的，當(dāng)玻璃基板001放置在運(yùn)動(dòng)中的運(yùn)載裝置110時(shí)，由于其自身存在慣性，因此在放置在運(yùn)載裝置110上時(shí)，通常會(huì)在該運(yùn)載裝置110上出現(xiàn)偏移，并且，由于玻璃基板001的一面是與運(yùn)載裝置110的一面是完全接觸的，且該運(yùn)載裝置110表面不光滑，因此，在玻璃基板001發(fā)生偏移的過(guò)程中，玻璃基板001與運(yùn)載裝置110接觸的一面可能會(huì)產(chǎn)生劃痕，進(jìn)而在其表面上可能會(huì)產(chǎn)生一些顆粒，從而降低了玻璃基板001的良品率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0007]本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種運(yùn)載裝置，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中運(yùn)載裝置在運(yùn)載玻璃基板來(lái)進(jìn)行RTA工藝時(shí)，會(huì)降低玻璃基板的良品率的問(wèn)題。
[0008]本實(shí)用新型提供一種運(yùn)載裝置，其用于承載并定位玻璃基板，其特征在于，所述運(yùn)載裝置包括:具有收容槽的托盤(pán)，以及位于所述托盤(pán)收容槽內(nèi)中且用于承載所述玻璃基板的網(wǎng)狀托架。
[0009]進(jìn)一步地，所述托盤(pán)為長(zhǎng)方體型托盤(pán)。
[0010]進(jìn)一步地，所述網(wǎng)狀托架與所述托盤(pán)收容槽的底面平行，所述網(wǎng)狀托架與所述托盤(pán)收容槽的側(cè)面相連固定。
[0011]進(jìn)一步地，所述托盤(pán)收容槽的側(cè)面與所述托盤(pán)收容槽的底面之間所形成的角度大于90度。
[0012]進(jìn)一步地，用于構(gòu)成所述網(wǎng)狀托架的各個(gè)支撐筋為圓柱體結(jié)構(gòu)。
[0013]進(jìn)一步地，所述托盤(pán)上設(shè)有由其底面延伸至收容槽底面的若干個(gè)通孔。
[0014]進(jìn)一步地，所述托盤(pán)和托架的材料包括陶瓷。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的運(yùn)載裝置內(nèi)由于設(shè)有網(wǎng)狀托架，使得玻璃基板放置在該網(wǎng)狀托架上后，只與該網(wǎng)狀托架中的各個(gè)支撐筋接觸，進(jìn)而降低了玻璃基板與運(yùn)載裝置的接觸面積，從而有效的提高了玻璃基板在進(jìn)行RTA工藝時(shí)的良品率。
【附圖說(shuō)明】
[0016]此處所說(shuō)明的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本實(shí)用新型的一部分，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0017]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中玻璃基板放置在運(yùn)載裝置上進(jìn)行RTA的示意圖；
[0018]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種運(yùn)載裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的長(zhǎng)方體型托盤(pán)的側(cè)視圖；
[0020]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的另一種長(zhǎng)方體型托盤(pán)的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型具體實(shí)施例及相應(yīng)的附圖對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0022]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種運(yùn)載裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]在圖2中顯示了的運(yùn)載裝置的詳細(xì)結(jié)構(gòu)，包括具有收容槽的托盤(pán)210，以及，位于托盤(pán)210中的網(wǎng)狀托架211，其中，該網(wǎng)狀托架211用于承載玻璃基板。
[0024]在實(shí)際應(yīng)用中，玻璃基板由于制作工藝的需求，通常情況下均為長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，因此，上述運(yùn)載裝置為了在玻璃基板進(jìn)行RTA工藝時(shí)能夠平穩(wěn)的運(yùn)送玻璃基板，可根據(jù)玻璃基板的工藝標(biāo)準(zhǔn)，將該托盤(pán)210制成比玻璃基板稍大些的長(zhǎng)方體型結(jié)構(gòu)，即長(zhǎng)方體型托盤(pán)210，進(jìn)而使得玻璃基板放置在該長(zhǎng)方體型托盤(pán)210中后，可隨著傳送滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)而進(jìn)行平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)然，托盤(pán)210也可以是其他形狀的托盤(pán)。
[0025]在該長(zhǎng)方體型托盤(pán)210的收容槽中，設(shè)有網(wǎng)狀托架211，其中，該網(wǎng)狀托架211與長(zhǎng)方體型托盤(pán)中收容槽的底面213平行，并且，該網(wǎng)狀托架211與長(zhǎng)方體型托盤(pán)210中收容槽的側(cè)面相連固定。玻璃基板在進(jìn)行RTA工藝時(shí)，可將其放置在該運(yùn)載裝置的網(wǎng)狀托架211中，進(jìn)而使得玻璃基板可隨著傳送滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)與運(yùn)載裝置一起進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，經(jīng)過(guò)各個(gè)處理區(qū)，來(lái)進(jìn)行RTA工藝。
[0026]由于玻璃基板水平放置在上述網(wǎng)狀托架211時(shí)，其相互接觸的接觸面并不是一個(gè)完整的接觸面，從而降低了玻璃基板與運(yùn)載裝置的接觸面積，有效的提高了玻璃基板在進(jìn)行RTA工藝時(shí)的良品率。
[0027]需要說(shuō)明的是，上述說(shuō)明的運(yùn)載裝置通常都是一直隨著傳送滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)的，當(dāng)玻璃基板放置在運(yùn)動(dòng)中的運(yùn)載裝置時(shí)，可能會(huì)出現(xiàn)玻璃基板并不是水平的放置在該網(wǎng)狀托架211中的情況，即玻璃基板的一端可能會(huì)置于長(zhǎng)方體型托盤(pán)210中收容槽的側(cè)面之上，進(jìn)而會(huì)出現(xiàn)運(yùn)載裝置不能平穩(wěn)運(yùn)送玻璃基板的問(wèn)題。為了有效解決這一問(wèn)題，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，長(zhǎng)方體型托盤(pán)210中收容槽的側(cè)面可以設(shè)計(jì)成帶有一定坡度的結(jié)構(gòu)，如圖3所示。
[0028]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的長(zhǎng)方體型托盤(pán)的側(cè)視圖。
[0029]在圖3中，長(zhǎng)方體型托盤(pán)210中收容槽的側(cè)面為與長(zhǎng)方體型托盤(pán)中收容槽的底面213所成角度大于90度的斜面214，網(wǎng)狀托架211與該斜面214進(jìn)行相連固定。當(dāng)玻璃基板放