本發(fā)明涉及一種致動器，特別涉及一種安裝于構(gòu)件組裝用的機(jī)器人等的線性致動器。

背景技術(shù)：

一直以來，將末端執(zhí)行器安裝到機(jī)器人的頂端部來進(jìn)行構(gòu)件組裝等各種作業(yè)，作為驅(qū)動末端執(zhí)行器的致動器，有時也使用可動部相對于固定部自由進(jìn)行直線運動的線性致動器。

不具有減速器而直接驅(qū)動可動部的、所謂的“直接驅(qū)動致動器”被用于該線性致動器。

直接驅(qū)動致動器能夠高速且高精度地進(jìn)行動作控制，通過與機(jī)器人聯(lián)動，能夠擴(kuò)大作業(yè)范圍，但另一方面，存在難以小型化、高輸出化的問題。另外，能夠安裝到機(jī)器人的頂端部的重量有限，所以要求小型且高輸出的致動器。

作為直接驅(qū)動致動器之一，存在僅線圈在釹磁鐵等永磁鐵產(chǎn)生的強(qiáng)勁的磁場中進(jìn)行往返運動的音圈馬達(dá)(voicecoilmotor，vcm)。音圈馬達(dá)能夠?qū)⒖蓜硬吭O(shè)計成小型，但另一方面，由于是直接驅(qū)動馬達(dá)，所以存在每單位體積的輸出低的問題。

與此相對地，在專利文獻(xiàn)1以及專利文獻(xiàn)2中公開了并排設(shè)置多個音圈型線性馬達(dá)單元而成的線性馬達(dá)。通過該構(gòu)造，專利文獻(xiàn)1以及專利文獻(xiàn)2的線性馬達(dá)在抑制體積增加的同時，實現(xiàn)高輸出化。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2004－282833號公報

專利文獻(xiàn)2：日本專利第3683199號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的技術(shù)問題

參照圖8以及圖9，說明專利文獻(xiàn)1的線性馬達(dá)。專利文獻(xiàn)1的線性馬達(dá)并排設(shè)置有2根內(nèi)磁軛20a、20b。相互之間設(shè)有間隙21a、21b地將第1線圈22a、22b以及第2線圈23a、23b卷繞于內(nèi)磁軛20a、20b。

內(nèi)磁軛20a、20b插入貫通于與第1線圈22a、22b對置的第1外磁軛30a、30b。第1磁體31a、31b設(shè)置于第1外磁軛30a、30b的內(nèi)周部。2個第1外磁軛30a、30b在相互磁連結(jié)的狀態(tài)下固定。

內(nèi)磁軛20a、20b插入貫通于與第2線圈23a、23b對置的第2外磁軛32a、32b。將第2磁體33a、33b設(shè)置于第2外磁軛32a、32b的內(nèi)周部。2個第2外磁軛32a、32b在相互磁耦合的狀態(tài)下固定。

第1外磁軛30a、30b與第2外磁軛32a、32b通過4個連結(jié)部34來連結(jié)。

在這里，將第1磁體31a以及第2磁體33b的磁極與第1磁體31b以及第2磁體33a的磁極設(shè)為相互反向。另外，將在第1線圈22a以及第2線圈23b中流過的電流與在第1線圈22b以及第2線圈23a中流過的電流設(shè)為相互反向。

在專利文獻(xiàn)1的線性馬達(dá)中，當(dāng)由于來自磁體側(cè)面的漏磁通的影響而第1磁體31a、31b接近于第2線圈23a、23b時，產(chǎn)生斥力，并且當(dāng)?shù)?磁體33a、33b接近于第1線圈22a、22b時，產(chǎn)生斥力。由于該斥力，存在針對輸入電流或者軸向的可動部位置的產(chǎn)生推力特性的直線性(以下稱為“推力線性度”)變差的問題。

另外，為了抑制斥力的影響，需要增大第1線圈22a、22b與第2線圈23a、23b間的間隙21a、21b。因此，存在包括第1外磁軛30a、30b以及第2外磁軛32a、32b的可動部的可動范圍受到限制、或者使內(nèi)磁軛20a、20b大型化的問題。

進(jìn)一步地，在專利文獻(xiàn)1的線性馬達(dá)中，通過鄰接的2個第1外磁軛30a、30b和鄰接的2個第2外磁軛32a、32b形成主磁路φ1、φ2，因此不需要另行設(shè)置用于使磁通折返的磁軛(所謂的“返回磁軛”)，與一般的線性馬達(dá)相比能夠小型化，但相對于使用1根內(nèi)磁軛的線性馬達(dá)，寬度變成2倍，存在無法使線性馬達(dá)充分地小型化的問題。

另外，如專利文獻(xiàn)1以及專利文獻(xiàn)2那樣，在采用將2根內(nèi)磁軛收容到有底箱狀的固定臺、并且通過設(shè)置于固定臺的開口部的滑塊以使外磁軛自由進(jìn)行直線運動的方式支承支承外磁軛的構(gòu)造(所謂的“外軸承構(gòu)造”)的情況下，存在線性馬達(dá)進(jìn)一步地大型化的問題。

本發(fā)明是為了解決上述問題而完成的，其目的在于，提供一種更加小型且高效的致動器。

解決技術(shù)問題的技術(shù)手段

本發(fā)明涉及一種致動器，具備：1根棒狀的內(nèi)磁軛，其插入貫通于1個筒狀的外磁軛；支承構(gòu)件，其以使外磁軛沿著內(nèi)磁軛的軸向自由進(jìn)行直線運動的方式支承外磁軛；第1線圈以及第2線圈，其相互之間設(shè)有間隙地卷繞于內(nèi)磁軛，并且流過相互反向的電流；第1磁鐵，其以與第1線圈對置的方式設(shè)置于外磁軛的內(nèi)周部；以及第2磁鐵，其以與第2線圈對置的方式設(shè)置于外磁軛的內(nèi)周部，并且具有與第1磁鐵反向的磁極。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠得到更加小型且高效的致動器。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的實施方式1的致動器的分解立體圖。

圖2是本發(fā)明的實施方式1的致動器的立體圖。

圖3是沿著圖2所示的致動器的a－b－c－d面的截面圖。

圖4是本發(fā)明的實施方式1的固定部的立體圖。

圖5是本發(fā)明的實施方式1的可動部的立體圖。

圖6的(a)是示出本發(fā)明的實施方式1的致動器的相對于軸向的坐標(biāo)的磁通密度的大小的特性圖；圖6的(b)是示出本發(fā)明的實施方式1的致動器的磁通密度的分布的說明圖。

圖7的(a)是示出本發(fā)明的實施方式1的致動器的可動范圍的說明圖；圖7的(b)是示出不具有第3線圈的作為比較對象的致動器的可動范圍的說明圖。

圖8是專利文獻(xiàn)2的線性馬達(dá)的立體圖。

圖9是示出專利文獻(xiàn)2的線性馬達(dá)的磁通密度的分布的說明圖。

圖10是本發(fā)明的實施方式2的致動器的分解立體圖。

圖11是本發(fā)明的實施方式2的致動器的立體圖。

具體實施方式

以下，為了更詳細(xì)地說明本發(fā)明，依照附圖，說明用于實施本發(fā)明的方式。

實施方式1.

參照圖1～圖5，說明本發(fā)明的實施方式1的致動器。

在圖中，1是中心磁軛(內(nèi)磁軛)。中心磁軛1由大致棒狀的磁性體構(gòu)成。

相互之間設(shè)有間隙地將第1線圈2以及第2線圈3卷繞于中心磁軛1。第1線圈2以及第2線圈3串聯(lián)或者并聯(lián)連接于未圖示的電流源，流過相互反向的電流。

在第1線圈2與第2線圈3間的間隙，卷繞有第3線圈4。第3線圈4經(jīng)由未圖示的切換控制部連接于電流源，與第1線圈2以及第2線圈3相獨立地、自由地切換所流過的電流的方向。

沿著中心磁軛1的軸心，形成有中空的軸承部5。將軸承構(gòu)件6a、6b分別插入貫通于軸承部5的兩端部。將比中心磁軛1細(xì)長的軸7插入貫通于軸承構(gòu)件6a、6b的中空部。軸7以相對于中心磁軛1在軸向上自由進(jìn)行直線運動并且以軸為中心自由轉(zhuǎn)動或者不轉(zhuǎn)動的方式被支承。

在這里，軸承構(gòu)件6a、6b在設(shè)成自由轉(zhuǎn)動的情況下，由球軸套等構(gòu)成，為了設(shè)成不轉(zhuǎn)動，由花鍵螺母等構(gòu)成。在中心磁軛1與軸7之間，通過軸承構(gòu)件6a、6b具有的支承部而熱分離。

將頂橋接部(第1橋接部)8嵌合到軸7的一端部并固定。將底橋接部(第2橋接部)9嵌合到軸7的另一端部并固定。頂橋接部8以及底橋接部9具有從大致十字形的主體部81、91的頂端部向相互的相對方向延伸的4根臂部82、92。通過軸7、頂橋接部8以及底橋接部9構(gòu)成所謂的“中軸承構(gòu)造”的支承構(gòu)件。

在頂橋接部8的臂部82的頂端部與底橋接部9的臂部92的頂端部之間，固定有外部磁軛(外磁軛)10。即，外部磁軛10以相對于中心磁軛1自由進(jìn)行直線運動并且自由轉(zhuǎn)動或者不轉(zhuǎn)動的方式被支承。外部磁軛10由大致筒狀的磁性體構(gòu)成。

此外，主體部81、91的形狀不限定于十字形，臂部82、92的根數(shù)不限定于4根。頂橋接部8以及底橋接部9只要是以使外部磁軛10至少自由進(jìn)行直線運動的方式支承外部磁軛10的構(gòu)件，則可以使用任意的形狀的構(gòu)件。

在外部磁軛10的一端部的內(nèi)周部，遍布整周地設(shè)置有第1磁體陣列(第1磁鐵)11。第1磁體陣列11由多個永磁鐵構(gòu)成。第1磁體陣列11設(shè)有間隙地與第1線圈2對置。另外，第1磁體陣列11根據(jù)外部磁軛10的直線運動位置，還與第3線圈4對置。

在外部磁軛10的另一端部的內(nèi)周部，遍布整周地設(shè)置有第2磁體陣列(第2磁鐵)12。第2磁體陣列12由多個永磁鐵構(gòu)成。第2磁體陣列12設(shè)有間隙地與第2線圈3對置。另外，第2磁體陣列12根據(jù)外部磁軛10的直線運動位置，還與第3線圈4對置。

在這里，第1磁體陣列11與第2磁體陣列12具有相互反向的磁極。例如，第1磁體陣列11在與外部磁軛10的抵接面?zhèn)染哂衝極，在與第1線圈2以及第3線圈4的對置面?zhèn)染哂衧極。另一方面，第2磁體陣列12在與外部磁軛10的抵接面?zhèn)染哂衧極，在與第2線圈3以及第3線圈4的對置面?zhèn)染哂衝極。

在中心磁軛1的一端部，固定有凸緣狀的底板13。將4個貫通孔131設(shè)置于底板13，底橋接部9的臂部92分別自由滑動地插入貫通于貫通孔131。

以覆蓋底橋接部9的方式，將有底筒狀的安裝夾具14固定于底板13。安裝夾具14的底部141被形成為相對于構(gòu)件組裝用的機(jī)器人的頂端部等外部裝置自由安裝。

通過中心磁軛1、第1線圈2、第2線圈3、第3線圈4、軸承構(gòu)件6a、6b、底板13以及安裝夾具14構(gòu)成固定部200。通過軸7、頂橋接部8、底橋接部9、外部磁軛10、第1磁體陣列11以及第2磁體陣列12構(gòu)成可動部201。通過固定部200以及可動部201構(gòu)成致動器202。

接下來，參照圖6，說明致動器202的磁通密度的分布。

圖6的(a)是示出相對于可動部201的軸向的位置坐標(biāo)的、由第1磁體陣列11以及第2磁體陣列12產(chǎn)生的磁通密度的大小的特性圖。圖6的(b)在沿著圖2的a－b－c－d面的致動器202的截面處示出第1磁體陣列11以及第2磁體陣列12形成的磁通φ。

如圖6的(b)所示，第1磁體陣列11以及第2磁體陣列12形成的磁通φ為通過外部磁軛10的整周以及中心磁軛1內(nèi)部的環(huán)路狀的磁通。

在一般的音圈馬達(dá)中，為了形成環(huán)路狀的磁通，與中心磁軛1以及外部磁軛10相獨立地設(shè)置用于使磁通折返的返回磁軛。實施方式1的致動器202是串聯(lián)連接2個馬達(dá)而成的構(gòu)造，并且通過中心磁軛1以及外部磁軛10使磁通折返，所以能夠不需要返回磁軛。通過該構(gòu)造，能夠使致動器202小型化。

另外，通過遍布外部磁軛10的兩端部的整周地設(shè)置第1磁體陣列11以及第2磁體陣列12，能夠?qū)⑼獠看跑?0的整周用作磁回路，降低磁阻。因此，能夠使外部磁軛10的壁厚變薄，能夠使致動器202輕質(zhì)化。

進(jìn)一步地，中心磁軛1的中心部由于磁通密度低，所以對磁回路形成貢獻(xiàn)的比例少。因此，即使將中空的軸承部5設(shè)置于中心磁軛1的軸心，致動器202的效率也不怎么降低。因此，通過采用由軸7、頂橋接部8以及底橋接部9構(gòu)成的中軸承構(gòu)造，與采用由固定臺以及滑塊構(gòu)成的外軸承構(gòu)造的以往的線性馬達(dá)相比，能夠不使效率降低地實現(xiàn)小型化。

接下來，參照圖6以及圖7，說明致動器202的直線運動動作的可動范圍。

如圖6的(a)所示，由于從第1磁體陣列11的側(cè)部泄漏的磁通，軸向的位置坐標(biāo)為約－10～－6毫米(mm)的范圍以及約+6～+10mm的范圍內(nèi)的磁通密度的大小增大到0.05～0.5特斯拉(t)左右。同樣地，由于從第2磁體陣列12的側(cè)部泄漏的磁通，軸向的坐標(biāo)為約+18～+22mm的范圍以及約+34～+38mm的范圍內(nèi)的磁通密度的大小增大到0.05～0.5t左右。

在圖7的(b)中，作為比較對象，示出不具有圖1～圖5所示的第3線圈4的致動器的可動范圍。與致動器的直線運動動作相應(yīng)地，當(dāng)?shù)?磁體陣列11接近于第2線圈3時，由于從第1磁體陣列11的側(cè)部泄漏的磁通，在第1磁體陣列11與第2線圈3之間產(chǎn)生軸向的斥力。同樣地，當(dāng)?shù)?磁體陣列12接近于第1線圈2時，由于從第2磁體陣列12的側(cè)部泄漏的磁通，在第2磁體陣列12與第1線圈2之間產(chǎn)生軸向的斥力。

一般來說，第1線圈2與第2線圈3串聯(lián)或者并聯(lián)連接于同一電流源，無法相互獨立地控制所流過的電流的方向。因此，特別是在第1磁體陣列11接近于第2線圈3的位置以及第2磁體陣列接近于第1線圈2的位置處，由于斥力而成為致動器的推力線性度劣化的原因。

另外，為了降低該斥力的影響，需要使第1線圈2與第2線圈3間的寬度寬到該影響在實用上不成為問題的程度。這成為限制可動部201的可動范圍的原因，或者，成為固定部200的大型化的原因。

與此相對地，如圖7的(a)所示，實施方式1的致動器202在第1線圈2與第2線圈3之間設(shè)置有第3線圈4。在這里，如果用l表示第1磁體陣列11與第2磁體陣列12間的沿著軸向的間隔，用p表示由于從第1磁體陣列11以及第2磁體陣列12的一側(cè)部泄漏的磁通而產(chǎn)生斥力的區(qū)域的沿著軸向的寬度，則將第3線圈4的沿著軸向的寬度設(shè)定為l－2p。

當(dāng)?shù)?磁體陣列11從第1線圈2側(cè)接近第3線圈4而第1磁體陣列11與第3線圈4間的寬度變成規(guī)定值以下時(在圖7的(a)的例子中，當(dāng)?shù)?磁體陣列11與第3線圈4間的距離變成和第2磁體陣列12與第3線圈4間的距離相等的距離時)，未圖示的切換控制部將在第3線圈4中流過的電流的方向切換成與在第1線圈2中流過的電流的方向相同的方向。由此，在抑制第1磁體陣列11與第2線圈3間的斥力的同時，外部磁軛10能夠使第1磁體陣列11移動至與第3線圈4對置的區(qū)域。

另一方面，當(dāng)?shù)?磁體陣列12從第2線圈3側(cè)接近第3線圈4而第2磁體陣列12與第3線圈4間的寬度變成規(guī)定值以下時(在圖7(a)的例子中，當(dāng)?shù)?磁體陣列12與第3線圈4間的距離變成和第1磁體陣列11與第3線圈4間的距離相等的距離時)，未圖示的切換控制部將在第3線圈4中流過的電流的方向切換成與在第2線圈3中流過的電流的方向相同的方向。由此，在抑制第2磁體陣列12與第1線圈2間的斥力的同時，外部磁軛10能夠使第2磁體陣列12移動至與第3線圈4對置的區(qū)域。

通過這樣，根據(jù)外部磁軛10的軸向的位置，切換在第3線圈4中流過的電流的方向，能夠使外部磁軛10的直線運動方向的可動范圍變寬。相對于圖7的(b)所示的作為比較對象的致動器的可動范圍x1，圖7的(a)所示的實施方式1的致動器202的可動范圍x2變寬了差分δx。

如上所述，實施方式1的致動器202具有：1根棒狀的中心磁軛1，其插入貫通于1個筒狀的外部磁軛10；支承構(gòu)件，其以使外部磁軛10沿著中心磁軛1的軸向自由進(jìn)行直線運動的方式支承外部磁軛10；第1線圈2以及第2線圈3，其相互之間設(shè)有間隙地卷繞于中心磁軛1并且流過相互反向的電流；第1磁體陣列11，其以與第1線圈2對置的方式設(shè)置于外部磁軛10的內(nèi)周部；以及第2磁體陣列12，其以與第2線圈3對置的方式設(shè)置于外部磁軛10的內(nèi)周部，并且具有與第1磁體陣列11反向的磁極。通過該構(gòu)造，能夠在提高致動器202的動作效率，同時，由于不需要返回磁軛而得到更加小型的致動器202。

另外，第1磁體陣列11遍布外部磁軛10的一端部的內(nèi)周部的整周地設(shè)置，第2磁體陣列12遍布外部磁軛10的另一端部的內(nèi)周部的整周地設(shè)置。通過該構(gòu)造，將外部磁軛10的整周用作磁回路，從而能夠降低磁阻。

另外，致動器202具有沿著中心磁軛1的軸心的中空的軸承部5。支承構(gòu)件通過插入貫通于軸承部5并且以相對于中心磁軛自由進(jìn)行直線運動的方式被支承的軸7、嵌合于軸7的一端部并且抵接于外部磁軛10的一端部的頂橋接部8以及嵌合于軸7的另一端部并且抵接于外部磁軛10的另一端部的底橋接部9而構(gòu)成。通過該構(gòu)造，能夠?qū)幼餍什辉斐捎绊懀c采用外軸承構(gòu)造的以往的線性馬達(dá)相比，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。

另外，致動器202具有卷繞在第1線圈2與第2線圈3之間的第3線圈4以及根據(jù)外部磁軛10的軸向的位置而切換在第3線圈4中流過的電流的方向的切換控制部。切換控制部當(dāng)?shù)?磁體陣列11與第3線圈4間的距離變成規(guī)定值以下時，將第3線圈4的電流的方向切換成與第1線圈2相同的方向，并且當(dāng)?shù)?磁體陣列12與第3線圈4間的距離變成規(guī)定值以下時，將第3線圈4的電流的方向切換成與第2線圈3相同的方向。由此，能夠使外部磁軛10的直線運動方向的可動范圍變寬。另外，能夠提高致動器202的推力線性度。

另外，支承構(gòu)件以使外部磁軛10相對于中心磁軛1的軸心自由轉(zhuǎn)動或者不轉(zhuǎn)動的方式支承外部磁軛10。由此，能夠得到小型且2個自由度的致動器202。

此外，中心磁軛1以及外部磁軛10的截面的形狀不限定于圓形形狀。特別是，在以使外部磁軛10不轉(zhuǎn)動的方式支承外部磁軛10的情況下，截面的形狀也可以設(shè)為四邊形形狀或者三角形形狀。

實施方式2.

參照圖10以及圖11，說明除與實施方式1同樣地小型且高效率之外還進(jìn)一步地提高了結(jié)構(gòu)上的強(qiáng)度的致動器。此外，在圖10以及圖11中，對與圖1～圖5所示的實施方式1的致動器相同的構(gòu)成構(gòu)件附加同一符號，省略說明。

在底板13的貫通孔131上，自由轉(zhuǎn)動地安裝有相互對置的2個圓筒形狀的支承部132a、132b。底橋接部9的臂部92形成為大致圓柱狀，插入貫通于支承部132a、132b之間。

由此，底橋接部9的臂部92成為實現(xiàn)了以使可動部201相對于固定部200自由進(jìn)行直線運動的方式支承可動部201的軸的功能。通過插入貫通于中心磁軛1的軸7與插入貫通于支承部132a、132b之間的臂部92這2根軸來支承可動部201，從而與僅使用1根軸7的結(jié)構(gòu)相比，能夠提高致動器202的結(jié)構(gòu)上的強(qiáng)度。

另外，將2個支承部132a、132b間的寬度設(shè)定得比臂部92的直徑稍大(例如20μm左右)。由此，在未被施加使可動部201相對于固定部200繞軸7轉(zhuǎn)動的力(以下稱為“扭轉(zhuǎn)載荷”)的狀態(tài)下，在臂部92與支承部132a、132b之間形成間隙，另一方面，在施加了扭轉(zhuǎn)載荷的狀態(tài)下，臂部92抵接于2個支承部132a、132b中的某一方，從而限制可動部201相對于固定部200的轉(zhuǎn)動。

在實施方式1中，在將滾珠花鍵用于軸承構(gòu)件6a、6b的情況下，致動器202針對扭轉(zhuǎn)載荷的強(qiáng)度(以下稱為“耐扭轉(zhuǎn)強(qiáng)度”)根據(jù)軸7以及軸承構(gòu)件6a、6b的臨界值來確定。因此，在實施方式1中，例如還考慮通過使軸7變細(xì)，從而抑制中心磁軛1的體積的減少，使致動器202實現(xiàn)小型化且高效率，但在該情況下，產(chǎn)生軸7的臨界值變低而致動器202的耐扭轉(zhuǎn)強(qiáng)度降低的問題。

因此，實施方式2的致動器202在被施加扭轉(zhuǎn)載荷的情況下，通過臂部92抵接于支承部132a、132b，限制可動部201的轉(zhuǎn)動，將軸7相對于軸承構(gòu)件6a、6b的轉(zhuǎn)動角度抑制在容許范圍內(nèi)。即，將2個支承部132a、132b間的寬度設(shè)定為通過臂部92與外部磁軛10的轉(zhuǎn)動相應(yīng)地抵接于支承部132a、132b來將軸7的轉(zhuǎn)動角度抑制在容許范圍內(nèi)這樣的寬度。由此，能夠提高致動器202的耐扭轉(zhuǎn)強(qiáng)度，也能夠解決在如上所述使軸7變細(xì)的情況下的問題。

如上所述，實施方式2的致動器202具備設(shè)置于中心磁軛1的另一端部的底板13以及對置配置于底板13的貫通孔131的支承部132a、132b。底橋接部9具有嵌合于軸7的另一端部的主體部91以及從主體部91延伸并抵接于外部磁軛10的另一端部的臂部92，臂部92插入貫通于支承部132a、132b之間。由于臂部92起到軸的功能，從而與僅使用1根軸7的構(gòu)成相比，能夠提高致動器202的強(qiáng)度。

另外，在臂部92與支承部132a、132b之間形成有間隙。將支承部132a、132b間的寬度設(shè)定為通過臂部92與外部磁軛10的轉(zhuǎn)動相應(yīng)地抵接于支承部132a、132b來將軸7的轉(zhuǎn)動角度抑制在容許范圍內(nèi)的寬度。由此，能夠在通過使軸7變細(xì)而抑制中心磁軛1的體積的同時，提高致動器202的耐扭轉(zhuǎn)強(qiáng)度。

此外，作為軸而發(fā)揮功能的橋接部的臂部不限定于底橋接部9具有的4根臂部92中的某一根臂部。也可以將支承部132a、132b分別安裝到設(shè)置于底板13的4個貫通孔131中的多個貫通孔，使底橋接部9具有的4根臂部92中的多根臂部作為軸而發(fā)揮功能。

另外，也可以將底板設(shè)置于中心磁軛1的頂橋接部8側(cè)的端部并且將貫通孔以及支承部設(shè)置于該底板，使頂橋接部8的臂部作為軸而發(fā)揮功能。

另外，作為軸而發(fā)揮功能的構(gòu)件不限定于橋接部的臂部。只要在對致動器202施加了扭轉(zhuǎn)載荷時能夠限制可動部201的轉(zhuǎn)動即可，也可以在固定部200的任意構(gòu)件所設(shè)置的孔部上安裝支承部，并將可動部201的任意構(gòu)件插入貫通。

另外，支承作為軸而發(fā)揮功能的臂部的機(jī)構(gòu)不限定于圖10以及圖11所示的2個支承部132a、132b。只要是在2點處支承臂部的機(jī)構(gòu)，則可以采用任何機(jī)構(gòu)。

此外，本申請發(fā)明在其發(fā)明范圍內(nèi)，能夠進(jìn)行各實施方式的自由組合、或者各實施方式的任意的構(gòu)成要素的變形、或者在各實施方式中省略任意的構(gòu)成要素。

產(chǎn)業(yè)上的可利用性

本發(fā)明的致動器能夠安裝到構(gòu)件組裝用的機(jī)器人等而使用。

符號說明

1中心磁軛(內(nèi)磁軛)

2第1線圈

3第2線圈

4第3線圈

5軸承部

6a、6b軸承構(gòu)件

7軸

8頂橋接部(第1橋接部)

9底橋接部(第2橋接部)

10外磁軛(外磁軛)

11第1磁體陣列(第1磁鐵)

12第2磁體陣列(第2磁鐵)

13底板

14安裝夾具

20a、20b內(nèi)磁軛

21a、21b間隙

22a、22b第1線圈

23a、23b第2線圈

30a、30b第1外磁軛

31a、31b第1磁體

32a、32b第2外磁軛

33a、33b第2磁體

34連結(jié)部

81主體部

82臂部

91主體部

92臂部

131貫通孔

132a、132b支承部

141底部

200固定部

201可動部

202致動器。