本發(fā)明涉及壓電振動(dòng)片、壓電振動(dòng)器、用該壓電振動(dòng)器的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘。

背景技術(shù)：
在便攜電話、便攜信息終端設(shè)備上，采用利用水晶（石英）等作為時(shí)刻源、控制信號(hào)的定時(shí)源、參考信號(hào)源等的壓電振動(dòng)器。對(duì)于這種壓電振動(dòng)器，已提供各式各樣的壓電振動(dòng)器，但作為其中之一，已知將所謂的音叉型壓電振動(dòng)片封入封裝件（package）的壓電振動(dòng)器。音叉型壓電振動(dòng)片是具有在寬度方向并列配置的一對(duì)振動(dòng)臂部和將一對(duì)振動(dòng)臂部的長(zhǎng)度方向的基端側(cè)固定成一體的基部的薄板狀的水晶片。當(dāng)電壓施加到形成在各振動(dòng)臂部的激振電極時(shí)，該壓電振動(dòng)片在寬度方向以既定的諧振頻率以使一對(duì)振動(dòng)臂部接近及分離的方式進(jìn)行振動(dòng)。近年來，隨著所搭載的設(shè)備的小型化，希望壓電振動(dòng)片的更進(jìn)一步的小型化。作為將壓電振動(dòng)片的CI值（晶體阻抗：CrystalImpedance）抑制在低水平并謀求壓電振動(dòng)片的小型化的方法，在振動(dòng)臂部的兩主面形成槽部的方法已被廣為人知（例如，參照專利文獻(xiàn)1）。專利文獻(xiàn)1中記載的壓電振動(dòng)片，具備基部和從所述基部突出地形成的多個(gè)振動(dòng)臂部，在各振動(dòng)臂部的表面部及背面部，形成有槽部。因?yàn)椴鄄?，與振動(dòng)臂部的長(zhǎng)度方向垂直的截面形狀成為大致H型。專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特開2003－92530號(hào)公報(bào)。圖15是壓電振動(dòng)片4的正常的振動(dòng)狀態(tài)的說明圖。圖16是現(xiàn)有技術(shù)的壓電振動(dòng)片4的說明圖。此外，在圖15及圖16中，以壓電振動(dòng)片4的寬度方向?yàn)閄方向、以長(zhǎng)度方向?yàn)閅方向、以厚度方向?yàn)閆方向進(jìn)行說明。此外，在圖15及圖16中，為了便于理解附圖，夸張地表現(xiàn)振動(dòng)臂部10、11的振動(dòng)幅度。在壓電振動(dòng)片4形成槽部51的情況下，較之未形成槽部51的情況，與振動(dòng)臂部10、11的Y方向垂直的截面的面積（以下稱為“振動(dòng)臂部10、11的截面積”）變小，振動(dòng)臂部10、11的對(duì)應(yīng)Z方向的彎曲剛性下降。因此，如果使壓電振動(dòng)片4工作，振動(dòng)臂部10、11不僅做圖15所示的正常的X方向的彎曲振動(dòng)，而且如圖16所示，因?yàn)閆方向的彎曲剛性的下降而還在Z方向進(jìn)行彎曲振動(dòng)。具體而言，如圖16所示，有可能在Z方向上第一振動(dòng)臂部10和第二振動(dòng)臂部11錯(cuò)亂成相反相位進(jìn)行振動(dòng)。該振動(dòng)臂部10、11的Z方向的振動(dòng)有可能關(guān)系到CI值的上升或壓電振動(dòng)片4的振動(dòng)泄漏到外部的所謂振動(dòng)泄漏。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
于是，本發(fā)明的課題是提供能夠抑制振動(dòng)臂部厚度方向的振動(dòng)并抑制CI值的上升、振動(dòng)泄漏的壓電振動(dòng)片、用該壓電振動(dòng)片的壓電振動(dòng)器、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘。為了解決上述課題，本發(fā)明的壓電振動(dòng)片，具備：并列配置的一對(duì)振動(dòng)臂部；形成在所述振動(dòng)臂部的兩主面上并且沿著所述振動(dòng)臂部的長(zhǎng)度方向延伸的槽部；以及連接有所述一對(duì)振動(dòng)臂部的基部，其特征在于，在所述槽部?jī)?nèi)形成有肋部，該肋部從所述長(zhǎng)度方向的基端側(cè)及所述長(zhǎng)度方向的前端側(cè)的任意一側(cè)的壁面，朝著所述基端側(cè)及所述前端側(cè)的任意另一側(cè)延伸。根據(jù)本發(fā)明，通過在槽部?jī)?nèi)形成肋部能夠增大振動(dòng)臂部的截面積。由此，比現(xiàn)有技術(shù)能夠?qū)⒄駝?dòng)臂部的對(duì)應(yīng)厚度方向的彎曲剛性確保在較高水平，因此在使壓電振動(dòng)片工作時(shí)，能夠抑制振動(dòng)臂部在厚度方向的振動(dòng)。因而，能夠得到能夠抑制CI值的上升、振動(dòng)泄漏的壓電振動(dòng)片。此外，通過將振動(dòng)臂部的彎曲剛性確保在較高水平，即便壓電振動(dòng)片掉落等而受碰撞的情況下，也能防止振動(dòng)臂部的破損。此外，本發(fā)明的特征在于：所述肋部從所述基端側(cè)的壁面朝著所述前端側(cè)延伸。根據(jù)本發(fā)明，由于在槽部?jī)?nèi)肋部從基端側(cè)的壁面朝著前端側(cè)延伸，所以能夠增大振動(dòng)臂部的基端側(cè)的截面積。由此，能夠?qū)⒄駝?dòng)臂部的基端側(cè)的彎曲剛性確保在較高水平，并且能夠抑制振動(dòng)臂部全體以基部和振動(dòng)臂部的連接部分附近為拐點(diǎn)在厚度方向振動(dòng)。因而，能夠有效抑制CI值的上升、振動(dòng)泄漏。此外，在壓電振動(dòng)片受到碰撞的情況下，在應(yīng)力容易作用的基部和振動(dòng)臂部的連接部分確保彎曲剛性，因此能夠可靠地防止振動(dòng)臂部的破損。此外，本發(fā)明的特征在于：所述振動(dòng)臂部在所述基端側(cè)的所述肋部的寬度，形成為大于所述振動(dòng)臂部在所述前端側(cè)的所述肋部的寬度。根據(jù)本發(fā)明，振動(dòng)臂部在基端側(cè)的肋部的寬度，形成為大于振動(dòng)臂部在前端側(cè)的肋部的寬度，因此能夠增大振動(dòng)臂部的基端側(cè)的截面積。由此，能夠進(jìn)一步提高振動(dòng)臂部在基端側(cè)的彎曲剛性，因此能夠進(jìn)一步抑制振動(dòng)臂部在厚度方向的振動(dòng)。此外，即便在振動(dòng)臂部受到碰撞的情況下，也能進(jìn)一步防止振動(dòng)臂部的破損。此外，振動(dòng)臂部在前端側(cè)的肋部的寬度，形成為小于振動(dòng)臂部在基端側(cè)的肋部的寬度，因此確保振動(dòng)臂部在前端側(cè)的槽部的截面積，大于振動(dòng)臂部在基端側(cè)的槽部的截面積。由此，能夠有效地使振動(dòng)臂部的前端側(cè)在寬度方向上振動(dòng)，因此提高電場(chǎng)效率而能夠提高壓電振動(dòng)片的振動(dòng)特性。如此，通過將振動(dòng)臂部在基端側(cè)的肋部的寬度形成得大于振動(dòng)臂部在前端側(cè)的肋部的寬度，能夠兼顧地提高振動(dòng)臂部在基端側(cè)的彎曲剛性及壓電振動(dòng)片的振動(dòng)特性。此外，本發(fā)明的特征在于：所述振動(dòng)臂部在所述基端側(cè)的所述槽部的寬度，形成為小于所述振動(dòng)臂部在所述前端側(cè)的所述槽部的寬度。根據(jù)本發(fā)明，由于在振動(dòng)臂部的基端側(cè)中，振動(dòng)臂部的側(cè)面和槽部側(cè)面的寬度形成得較寬，所以能夠使振動(dòng)臂部的基端側(cè)的截面積大于振動(dòng)臂部的前端側(cè)的截面積。由此，能夠進(jìn)一步提高振動(dòng)臂部的基端側(cè)的彎曲剛性，因此能夠進(jìn)一步抑制振動(dòng)臂部在厚度方向的振動(dòng)。此外，即便在振動(dòng)臂部受到碰撞的情況下，也能可靠地防止振動(dòng)臂部的破損。特別是，通過將基端側(cè)的肋部的寬度形成為比前端側(cè)的肋部的寬度大，并且將基端側(cè)的槽部的寬度形成為比前端側(cè)的槽部的寬度小，能夠大幅提高振動(dòng)臂部的基端側(cè)的彎曲剛性。由此，能夠可靠地抑制振動(dòng)臂部在厚度方向的振動(dòng)，并能可靠地抑制CI值的上升、振動(dòng)泄漏。此外，本發(fā)明的特征在于：所述槽部的寬度形成為沿著所述振動(dòng)臂部的長(zhǎng)度方向恒定。根據(jù)本發(fā)明，能以極短的距離對(duì)置地配置振動(dòng)臂部的側(cè)面和槽部的側(cè)面。由此，在對(duì)振動(dòng)臂部的側(cè)面和槽部的側(cè)面分別形成的電極（激振電極）施加電壓時(shí)，由于有效地在振動(dòng)臂部的側(cè)面與槽部的側(cè)面之間形成電場(chǎng)，所以能有效地使振動(dòng)臂部在寬度方向上振動(dòng)。特別是，通過將基端側(cè)的肋部的寬度形成為比前端側(cè)的肋部的寬度大，并將槽部的寬度形成為沿著振動(dòng)臂部的長(zhǎng)度方向恒定，能夠提高振動(dòng)臂部的基端側(cè)的彎曲剛性，并能形成損失較少的壓電振動(dòng)片。此外，本發(fā)明的壓電振動(dòng)器，其特征在于：具備上述的壓電振動(dòng)片。根據(jù)本發(fā)明，由于具備能抑制CI值的上升、振動(dòng)泄漏的壓電振動(dòng)片，能夠提供高效率且消耗電力較少的壓電振動(dòng)器。此外，本發(fā)明的振蕩器，其特征在于：上述的壓電振動(dòng)器，作為振子與集成電路電連接。本發(fā)明的電子設(shè)備，其特征在于：上述的壓電振動(dòng)器與計(jì)時(shí)部電連接。本發(fā)明的電波鐘，其特征在于：上述的壓電振動(dòng)器與濾波部電連接。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供高效率且消耗電力較少的高性能的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘。根據(jù)本發(fā)明，通過在槽部?jī)?nèi)形成肋部，能夠增大振動(dòng)臂部的截面積。由此，比現(xiàn)有技術(shù)能夠?qū)⒄駝?dòng)臂部對(duì)應(yīng)厚度方向的彎曲剛性確保在較高水平，因此在使壓電振動(dòng)片工作時(shí)，能夠抑制振動(dòng)臂部在厚度方向的振動(dòng)。因而，能夠得到能抑制CI值的上升、振動(dòng)泄漏的壓電振動(dòng)片。此外，通過將振動(dòng)臂部的彎曲剛性確保在較高水平，即便在壓電振動(dòng)片掉落等而受到碰撞的情況下，也能防止振動(dòng)臂部的破損。附圖說明圖1是壓電振動(dòng)片的平面圖；圖2是槽部的放大圖；圖3是沿著圖1的A－A線的剖視圖；圖4是沿著圖1的B－B線的剖視圖；圖5是驅(qū)動(dòng)電平特性的說明圖；圖6是實(shí)施方式的第一變形例的說明圖；圖7是實(shí)施方式的第二變形例的說明圖；圖8是壓電振動(dòng)器的外觀立體圖；圖9是壓電振動(dòng)器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖，是取下蓋基板后的狀態(tài)的平面圖；圖10是圖9的C－C線上的剖視圖；圖11是圖8所示的壓電振動(dòng)器的分解立體圖；圖12是示出振蕩器的一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖；圖13是示出電子設(shè)備的一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖；圖14是示出電波鐘的一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖；圖15是壓電振動(dòng)片的正常的振動(dòng)狀態(tài)的說明圖；圖16是現(xiàn)有技術(shù)的壓電振動(dòng)片的說明圖。具體實(shí)施方式（壓電振動(dòng)片）以下，參照附圖，對(duì)實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片進(jìn)行說明。圖1是壓電振動(dòng)片4的平面圖。圖2是槽部51的放大圖。此外，在圖2中，為了易于理解附圖而省略了后述的激振電極13、14的圖示。圖3是沿著圖1的A－A線的槽部51的剖視圖。圖4是沿著圖1的B－B線的槽部51的剖視圖。再者，在以下說明中，以振動(dòng)臂部10、11并列的寬度方向?yàn)閄方向（參照?qǐng)D1）、以X方向上的中心軸為O、以壓電振動(dòng)片4的內(nèi)側(cè)為－X側(cè)、以外側(cè)為＋X側(cè)進(jìn)行說明。此外，以壓電振動(dòng)片4的長(zhǎng)度方向?yàn)閅方向（參照?qǐng)D1）、以基端側(cè)為－Y側(cè)、以前端側(cè)為＋Y側(cè)進(jìn)行說明。此外，以壓電振動(dòng)片4的厚度方向?yàn)閆方向（參照?qǐng)D3）、以一側(cè)（圖3中的上側(cè)）為＋Z側(cè)、以另一側(cè)（圖3中的下側(cè)）為－Z側(cè)進(jìn)行說明。如圖1所示，壓電振動(dòng)片4用水晶、鉭酸鋰、鈮酸鋰等的壓電材料形成的音叉型的壓電振動(dòng)片4。壓電振動(dòng)片4具備：平行配置的一對(duì)振動(dòng)臂部10、11（第一振動(dòng)臂部10及第二振動(dòng)臂部11）；和將一對(duì)振動(dòng)臂部10、11的－Y側(cè)固定成一體的基部12。在被施加既定的電壓時(shí)，壓電振動(dòng)片4以使振動(dòng)臂部10、11在接近及分離的方式在X方向振動(dòng)。一對(duì)振動(dòng)臂部10、11沿著中心軸O在Y方向延伸，在X方向大致平行地并列形成。在振動(dòng)臂部10、11的＋Z側(cè)面及－Z側(cè)面（兩主面）上，形成有沿著振動(dòng)臂部10、11的Y方向延伸的槽部51。在此，形成在第一振動(dòng)臂部10的槽部51和形成在第二振動(dòng)臂部11的槽部51為同一形狀。因而，在以下說明中，對(duì)形成在第一振動(dòng)臂部10的槽部51進(jìn)行說明，而省略對(duì)形成在第二振動(dòng)臂部11的槽部51的說明。（槽部）如圖2所示，在振動(dòng)臂部10形成有槽部51。槽部51的－Y側(cè)壁面51a配置在振動(dòng)臂部10和基部12的連接部附近。槽部51的＋Y側(cè)壁面51b配置在振動(dòng)臂部10的Y方向上的大致中央。即，槽部51以既定的深度從振動(dòng)臂部10和基部12的連接部附近到振動(dòng)臂部10的Y方向上的大致中央的范圍內(nèi)沿著Y方向形成。槽部51形成為－Y側(cè)壁面51a的寬度L1小于＋Y側(cè)壁面51b的寬度L2。具體而言，從＋Y側(cè)到－Y側(cè)，槽部51的＋X側(cè)面51c以既定角度向－X側(cè)傾斜，－X側(cè)面51d以既定角度向＋X側(cè)傾斜而形成。由此，槽部51的寬度形成為從＋Y側(cè)到－Y側(cè)逐漸收窄的錐狀。在槽部51內(nèi)的X方向大致中央，形成有肋部53。肋部53的－Y側(cè)端部53a配置在振動(dòng)臂部10和基部12的連接部附近，與槽部51的－Y側(cè)壁面51a連接。肋部53的＋Y側(cè)端部53b比槽部51的＋Y側(cè)壁面51b靠－Y側(cè)配置，并與槽部51的＋Y側(cè)壁面51b分離。即，在從槽部51內(nèi)的－Y側(cè)壁面51a到比槽部51的＋Y側(cè)壁面51b靠－Y側(cè)的范圍內(nèi)，肋部53沿著Y方向形成。肋部53以使－Y側(cè)端部53a的寬度L3大于＋Y側(cè)端部53b的寬度L4的方式形成。具體而言，從＋Y側(cè)到－Y側(cè)，肋部53的＋X側(cè)面53c以既定角度向＋X側(cè)傾斜，－X側(cè)面53d以既定角度向－X側(cè)傾斜而形成。由此，肋部53的寬度形成為從＋Y側(cè)到－Y側(cè)逐漸擴(kuò)大的錐狀。如上所述，肋部53的＋Y側(cè)端部53b與槽部51的＋Y側(cè)壁面51b分離。因此，如沿著圖1的A－A線的圖3所示的剖視圖那樣，在槽部51的＋Y側(cè)槽部51內(nèi)不具有肋部53。因而，在A－A截面中的槽部51的截面積變大，振動(dòng)臂部10、11的截面積S1變小。與此相對(duì)，肋部53的－Y側(cè)端部53a（參照?qǐng)D2），與槽部51的－Y側(cè)壁面51a（參照?qǐng)D2）連接。因此，如沿著圖1的B－B線的圖4所示的剖視圖那樣，在槽部51的－Y側(cè)槽部51內(nèi)具有肋部53。而且，槽部51的寬度形成為從＋Y側(cè)到－Y側(cè)變窄，肋部53的寬度形成為從＋Y側(cè)到－Y側(cè)變寬。因而，B－B截面中的槽部51的截面積變得非常小，振動(dòng)臂部10、11的截面積S2變大。如此，通過增大振動(dòng)臂部10、11的－Y側(cè)的截面積S2，振動(dòng)臂部10、11的－Y側(cè)的彎曲剛性被確保在較高的水平。由此，在基部12與振動(dòng)臂部10、11的連接部分附近，抑制以沿著X方向的軸為中心的振動(dòng)臂部10、11向Z方向的彎曲振動(dòng)。因而，在使壓電振動(dòng)片4工作時(shí)，能夠抑制振動(dòng)臂部10、11全體在Z方向的振動(dòng)。此外，振動(dòng)臂部10、11在＋Y側(cè)中的肋部53的寬度，形成為小于振動(dòng)臂部10、11在－Y側(cè)中的肋部53的寬度，因此＋Y側(cè)的槽部51的截面積大于－Y側(cè)的槽部51的截面積。由此，能夠使振動(dòng)臂部10、11的＋Y側(cè)有效率地在X方向振動(dòng)，因此能夠提高電場(chǎng)效率并提高壓電振動(dòng)片4的振動(dòng)特性。如此，通過將振動(dòng)臂部10、11在－Y側(cè)中的肋部53的寬度，形成為大于振動(dòng)臂部10、11在＋Y側(cè)中的肋部53的寬度，能夠兼顧地提高振動(dòng)臂部10、11的－Y側(cè)的彎曲剛性及壓電振動(dòng)片4的振動(dòng)特性。圖5是驅(qū)動(dòng)電平特性的說明圖?？墒牵阎駝?dòng)臂部10、11的彎曲剛性通常會(huì)影響壓電振動(dòng)片4的驅(qū)動(dòng)電平特性。在此，驅(qū)動(dòng)電平特性是指振動(dòng)頻率相對(duì)驅(qū)動(dòng)電壓的變動(dòng)的變動(dòng)特性。具體而言，如圖5所示，當(dāng)施加在壓電振動(dòng)片4的電壓從V1上升到V2時(shí)，頻率從f0上升到f1。然后，在將施加在壓電振動(dòng)片4的電壓從V2再次返回到V1時(shí)，頻率不會(huì)從f1回到f0頻率而成為低于f0的值f2。將該振動(dòng)頻率的變動(dòng)值Δf（f0與f2之差）的特性稱為驅(qū)動(dòng)電平特性。此外，Δf的振動(dòng)幅度越小，驅(qū)動(dòng)電平特性越好。依據(jù)本實(shí)施方式，由于振動(dòng)臂部10、11的－Y側(cè)的截面積S2變大，能夠?qū)⒄駝?dòng)臂部10、11的－Y側(cè)的彎曲剛性確保在較高水平。由此，在使壓電振動(dòng)片4工作時(shí)，在基部12和振動(dòng)臂部10、11的連接部分附近，抑制振動(dòng)臂部10、11的歪曲。因而，能得到具有良好的驅(qū)動(dòng)電平特性的壓電振動(dòng)片4。（激振電極）如圖1所示，上述的壓電振動(dòng)片4具有：形成在一對(duì)振動(dòng)臂部10、11并使一對(duì)振動(dòng)臂部10、11振動(dòng)的由第一激振電極13和第二激振電極14構(gòu)成的激振電極15；以及與第一激振電極13及第二激振電極14電連接的裝配電極16、17。激振電極13、14形成在一對(duì)振動(dòng)臂部10、11的主面上。例如，用鉻（Cr）等的單層的導(dǎo)電性膜形成。激振電極13、14是在被施加電壓時(shí)，以既定的諧振頻率使一對(duì)振動(dòng)臂部10、11彼此接近或分離的方式在X方向振動(dòng)的電極。一對(duì)激振電極13、14在一對(duì)振動(dòng)臂部10、11的表面以分別電性切斷的狀態(tài)構(gòu)圖而形成。具體而言，第一激振電極13主要形成在第一振動(dòng)臂部10的槽部51內(nèi)及肋部53的外表面和第二振動(dòng)臂部11的＋X側(cè)面11a及－X側(cè)面11b（參照?qǐng)D4）。此外，第二激振電極14主要形成在第二振動(dòng)臂部11的槽部51內(nèi)及肋部53的外表面和第一振動(dòng)臂部10的＋X側(cè)面10a及－X側(cè)面10b（參照?qǐng)D4）。（裝配電極）如圖1所示，在基部12夾著中心軸O形成有一對(duì)裝配電極16、17。裝配電極16、17是鉻和金的層疊膜，在以與水晶的密接性良好的鉻膜為基底層成膜后，在表面以金的薄膜為精裝（仕上げ）層成膜而形成。但是，并不限于這種情況，例如，在以鉻和鎳鉻為基底層成膜后，在表面進(jìn)一步以金的薄膜為精裝層成膜也可。（引出電極）此外，在基部12形成有分別電連接激振電極13、14與裝配電極16、17的引出電極19、20。引出電極19連接裝配電極16和形成在第一振動(dòng)臂部10的第一激振電極13，以跨過中心軸O的方式形成。此外，引出電極20連接裝配電極17和形成在第一振動(dòng)臂部10的第二激振電極14，以在基部12的＋X側(cè)中沿著Y方向的方式形成。引出電極19、20用與裝配電極16、17的基底層相同材料的鉻以單層膜形成。由此，能夠在成膜裝配電極16、17的基底層的同時(shí)，成膜引出電極19、20。但是，并不限于這種情況，例如，用鎳、鋁、鈦等成膜引出電極19、20也可。在振動(dòng)臂部10、11的前端部，形成有以在既定的頻率范圍內(nèi)振動(dòng)的方式進(jìn)行調(diào)整（頻率調(diào)整）的由粗調(diào)膜21a及微調(diào)膜21b構(gòu)成的重錘金屬膜21。利用該重錘金屬膜21進(jìn)行頻率調(diào)整，從而能夠?qū)⒁粚?duì)振動(dòng)臂部10、11的頻率收斂在器件的標(biāo)稱頻率的范圍內(nèi)。（實(shí)施方式的效果）依據(jù)本實(shí)施方式，通過在槽部51內(nèi)形成肋部53能夠增大振動(dòng)臂部10、11的截面積。特別是，實(shí)施方式的肋部53從槽部51的－Y側(cè)向＋Y側(cè)延伸。而且，形成為使－Y側(cè)的肋部53的寬度大于＋Y側(cè)的肋部53的寬度，并且使－Y側(cè)的槽部51的寬度小于＋Y側(cè)的槽部51的寬度。因此，在振動(dòng)臂部10、11的－Y側(cè)中，由于較窄地形成槽部51的＋X側(cè)面51c和肋部53的＋X側(cè)面53c的寬度、以及槽部51的－X側(cè)面51d和肋部53的－X側(cè)面53d的寬度，所以能夠使振動(dòng)臂部10、11的－Y側(cè)的截面積大于振動(dòng)臂部10、11的＋Y側(cè)的截面積（參照?qǐng)D3及圖4）。由此，較之現(xiàn)有技術(shù)能夠?qū)⒄駝?dòng)臂部10、11對(duì)應(yīng)Z方向的彎曲剛性確保在較高水平。因而，在使壓電振動(dòng)片4工作時(shí)，能夠得到能抑制振動(dòng)臂部10、11在Z方向的振動(dòng)并抑制CI值的上升、振動(dòng)泄漏的壓電振動(dòng)片4。此外，通過將振動(dòng)臂部10、11的彎曲剛性確保在較高水平，即便壓電振動(dòng)片4掉落等而受到碰撞的情況下，也能防止振動(dòng)臂部10、11的破損。（實(shí)施方式的第一變形例）接著，對(duì)實(shí)施方式的第一變形例進(jìn)行說明。圖6是實(shí)施方式的第一變形例的說明圖。在上述的實(shí)施方式中，肋部53形成為使－Y側(cè)端部53a與槽部51的－Y側(cè)壁面51a連接，并且從－Y側(cè)向＋Y側(cè)延伸（參照?qǐng)D2）。與之相對(duì)，如圖6所示，在第一變形例中，肋部53形成為使＋Y側(cè)端部53b與槽部51的＋Y側(cè)壁面51b連接，并且從＋Y側(cè)向－Y側(cè)延伸，在這一點(diǎn)上與實(shí)施方式不同。此外，對(duì)于與實(shí)施方式同樣的構(gòu)成部分省略說明。（槽部）如圖6所示，在振動(dòng)臂部10形成有槽部51。槽部51形成為使－Y側(cè)壁面51a的寬度L1小于＋Y側(cè)壁面51b的寬度L2。本變形例中的槽部51的－Y側(cè)壁面51a的寬度L1，形成得小于實(shí)施方式中的槽部51的－Y側(cè)壁面51a的寬度L1（參照?qǐng)D2）。在槽部51內(nèi)的X方向大致中央，形成有肋部53。肋部53的－Y側(cè)端部53a比振動(dòng)臂部10和基部12的連接部靠＋Y側(cè)配置，并與槽部51的－Y側(cè)壁面51a分離。肋部53的＋Y側(cè)端部53b與槽部51的＋Y側(cè)壁面51b連接。即，肋部53在從槽部51內(nèi)的＋Y側(cè)壁面51b到比振動(dòng)臂部10和基部12的連接部靠＋Y側(cè)的范圍內(nèi)，沿著Y方向形成。肋部53對(duì)應(yīng)于槽部51的形狀而形成為使－Y側(cè)端部53a的寬度L3小于＋Y側(cè)端部53b的寬度L4。具體而言，從＋Y側(cè)到－Y側(cè)，肋部53的＋X側(cè)面53c以既定角度向－X側(cè)傾斜、－X側(cè)面53d以既定角度向＋X側(cè)傾斜而形成。由此，肋部53的寬度形成為從＋Y側(cè)到－Y側(cè)逐漸縮小的錐狀。（第一變形例的效果）依據(jù)第一變形例，在振動(dòng)臂部10、11的－Y側(cè)中，較寬地形成振動(dòng)臂部10、11的＋X側(cè)面10a、11a和槽部51的＋X側(cè)面51c的寬度、以及振動(dòng)臂部10、11的－X側(cè)面10b、11b和槽部51的－X側(cè)面51d的寬度。由此，能夠進(jìn)一步提高振動(dòng)臂部10、11的－Y側(cè)的彎曲剛性，因此能夠抑制振動(dòng)臂部10、11在＋Z方向的振動(dòng)。此外，通過從槽部51的寬度較寬地形成的＋Y側(cè)起形成肋部53，能夠沿著Y方向使槽部51在形成區(qū)域中的振動(dòng)臂部10、11的截面積大致恒定（一定）地形成。即便振動(dòng)臂部10、11受到碰撞的情況下，也抑制應(yīng)力集中而能夠防止振動(dòng)臂部10、11的破損。（實(shí)施方式的第二變形例）接著，對(duì)實(shí)施方式的第二變形例進(jìn)行說明。圖7是實(shí)施方式的第二變形例的說明圖。在上述的實(shí)施方式及第一變形例中，形成為使槽部51的寬度從＋Y側(cè)到－Y側(cè)變窄（參照?qǐng)D2及圖6）。與之相對(duì)，在本變形例中，使槽部51的寬度形成為沿著Y方向恒定，在這一點(diǎn)上與實(shí)施方式不同。此外，對(duì)于與實(shí)施方式同樣的構(gòu)成部分省略說明。（槽部）如圖7所示，在振動(dòng)臂部10形成有槽部51。槽部51形成為使－Y側(cè)壁面51a的寬度L1和＋Y側(cè)壁面51b的寬度L2大致相同。具體而言，從＋Y側(cè)到－Y側(cè)，形成為槽部51的＋X側(cè)面51c和振動(dòng)臂部10的＋X側(cè)面10a、以及槽部51的－X側(cè)面51d和振動(dòng)臂部10的－X側(cè)面10b大致平行。即，槽部51的寬度形成為沿著Y方向恒定。再者，與實(shí)施方式同樣地，肋部53的－Y側(cè)端部53a的寬度L3大于肋部53的＋Y側(cè)端部53b的寬度L4。（第二變形例的效果）依據(jù)第二變形例，通過使槽部51的寬度形成為沿著振動(dòng)臂部10、11的Y方向恒定，能以極短的距離對(duì)置地配置振動(dòng)臂部10、11的＋X側(cè)面10a、11a與槽部51的＋X側(cè)面51c、以及振動(dòng)臂部10、11的－X側(cè)面10b、11b與槽部51的－X側(cè)面51d。由此，在對(duì)激振電極13、14施加電壓時(shí)，能夠有效率地形成沿著X方向?qū)⒄駝?dòng)臂部10、11的＋X側(cè)面10a、11a與槽部51的＋X側(cè)面51c、以及振動(dòng)臂部10、11的－X側(cè)面10b、11b與槽部51的－X側(cè)面51d交叉的電場(chǎng)。即，能夠在X方向?qū)φ駝?dòng)臂部10、11有效率地形成電場(chǎng)，因此能夠有效率地使振動(dòng)臂部10、11在X方向振動(dòng)。特別是，通過使－Y側(cè)的肋部53的寬度形成得大于＋Y側(cè)的肋部53的寬度，并且沿著振動(dòng)臂部10、11的Y方向使槽部51的寬度形成得恒定，能夠形成提高振動(dòng)臂部10、11的－Y側(cè)的彎曲剛性并且損失少的壓電振動(dòng)片4。（壓電振動(dòng)器）接著，作為具備用上述的制造方法制造的壓電振動(dòng)片4的封裝件9，對(duì)壓電振動(dòng)器1進(jìn)行說明。圖8是壓電振動(dòng)器1的外觀立體圖。圖9是壓電振動(dòng)器1的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖，是取下蓋基板3后的狀態(tài)的平面圖。圖10是圖9的C－C線上的剖視圖。圖11是圖8所示的壓電振動(dòng)器1的分解立體圖。此外，在圖11中，為了方便示圖而省略了后述的激振電極13、14、引出電極19、20、裝配電極16、17及重錘金屬膜21的圖示。如圖8所示，本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)器1是具備隔著接合膜35而陽極接合基底基板2及蓋基板3的封裝件9、和被收納于封裝件9的空腔3a的壓電振動(dòng)片4的表面安裝型的壓電振動(dòng)器1。如圖10所示，基底基板2及蓋基板3是用玻璃材料例如堿石灰玻璃構(gòu)成的能進(jìn)行陽極接合的基板，形成為近似板狀。在蓋基板3中與基底基板2的接合面一側(cè)，形成有收納壓電振動(dòng)片4的空腔3a。在蓋基板3中與基底基板2的接合面一側(cè)的全體，形成有陽極接合用的接合膜35（接合材料）。接合膜35形成在空腔3a的整個(gè)內(nèi)表面，而且形成在空腔3a周圍的邊緣區(qū)域。本實(shí)施方式的接合膜35用硅形成，但是也可以用鉻、鋁等形成接合膜35。該接合膜35和基底基板2被陽極接合，空腔3a被真空密封。壓電振動(dòng)器1具備沿厚度方向貫通基底基板2并使空腔3a的內(nèi)側(cè)和壓電振動(dòng)器1的外側(cè)導(dǎo)通的貫通電極32、33。然后，貫通電極32、33由金屬銷7和筒體6形成，該金屬銷7配置在貫通基底基板2的貫通孔30、31內(nèi)，將壓電振動(dòng)片4與外部電連接，該筒體6被填充到貫通孔30、31與金屬銷7之間。下面以貫通電極32為例進(jìn)行說明，但是對(duì)于貫通電極33也同樣。此外，貫通電極33、迂回電極37及外部電極39的電連接，也與貫通電極32、迂回電極36及外部電極38相同。貫通孔30形成為從基底基板2的上表面U側(cè)到下表面L側(cè)內(nèi)徑逐漸變大，形成為包含貫通孔30的中心軸P的截面形狀為錐狀。金屬銷7是用銀、鎳合金、鋁等的金屬材料形成的導(dǎo)電性的棒狀部件，通過鍛造、壓力加工來成型。金屬銷7優(yōu)選用線膨脹系數(shù)接近基底基板2的玻璃材料的金屬，例如含有58重量%的鐵、42重量%的鎳的合金（42合金（alloy））形成。將膏狀的玻璃料燒成而形成筒體6。在筒體6的中心，以貫通筒體6的方式配置有金屬銷7，筒體6對(duì)金屬銷7及貫通孔30牢固地固接。如圖11所示，在基底基板2的上表面U側(cè)，構(gòu)圖有一對(duì)迂回電極36、37。此外，在這些一對(duì)迂回電極36、37上形成有分別由金等構(gòu)成的凸點(diǎn)（bump）B，利用凸點(diǎn)B安裝壓電振動(dòng)片4的一對(duì)裝配電極。由此，壓電振動(dòng)片4的一個(gè)裝配電極17（參照?qǐng)D9）經(jīng)由一個(gè)迂回電極36而與一個(gè)貫通電極32導(dǎo)通，另一裝配電極16（參照?qǐng)D9）經(jīng)由另一迂回電極37而與另一貫通電極33導(dǎo)通。在基底基板2的下表面L，形成有一對(duì)外部電極38、39。一對(duì)外部電極38、39形成在基底基板2的長(zhǎng)度方向的兩端部，對(duì)于一對(duì)貫通電極32、33分別電連接。在使這樣構(gòu)成的壓電振動(dòng)器1工作的情況下，對(duì)形成在基底基板2的外部電極38、39施加既定的驅(qū)動(dòng)電壓。由此，能夠?qū)弘娬駝?dòng)片4的第一激振電極13及第二激振電極14施加電壓，因此能夠在X方向（參照?qǐng)D1）上使一對(duì)振動(dòng)臂部10、11以既定的頻率接近及分離的方式進(jìn)行振動(dòng)。然后，利用該一對(duì)振動(dòng)臂部10、11的振動(dòng)，能夠作為時(shí)刻源、控制信號(hào)的定時(shí)源、參考信號(hào)源等而加以利用。（效果）依據(jù)本實(shí)施方式，由于具備能抑制CI值的上升、振動(dòng)泄漏的壓電振動(dòng)片4，能夠提供高效率且消耗電力少的壓電振動(dòng)器1。（振蕩器）接著，參照?qǐng)D12，對(duì)本發(fā)明的振蕩器的一實(shí)施方式進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的振蕩器110如圖12所示，將壓電振動(dòng)器1構(gòu)成為電連接至集成電路111的振子。該振蕩器110具備安裝了電容器等的電子元器件112的基板113。在基板113安裝有振蕩器用的集成電路111，在該集成電路111的附近安裝有壓電振動(dòng)器1。這些電子元器件112、集成電路111及壓電振動(dòng)器1通過未圖示的布線圖案分別電連接。此外，各構(gòu)成部件通過未圖示的樹脂來模制（mould）。在這樣構(gòu)成的振蕩器110中，對(duì)壓電振動(dòng)器1施加電壓時(shí)，壓電振動(dòng)器1內(nèi)的壓電振動(dòng)片振動(dòng)。通過壓電振動(dòng)片所具有的壓電特性，將該振動(dòng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，以電信號(hào)方式輸入至集成電路111。通過集成電路111對(duì)輸入的電信號(hào)進(jìn)行各種處理，以頻率信號(hào)的方式輸出。從而，壓電振動(dòng)器1作為振子起作用。此外，根據(jù)需求有選擇地設(shè)定集成電路111的結(jié)構(gòu)，例如RTC（實(shí)時(shí)時(shí)鐘）模塊等，除了鐘表用單功能振蕩器等之外，還能夠附加控制該設(shè)備或外部設(shè)備的工作日期、時(shí)刻，或者提供時(shí)刻、日歷等的功能。依據(jù)本實(shí)施方式，能夠提供高效率且消耗電力少的高性能的振蕩器110。（電子設(shè)備）接著，參照?qǐng)D13，就本發(fā)明的電子設(shè)備的一實(shí)施方式進(jìn)行說明。此外作為電子設(shè)備，舉例說明了具有上述壓電振動(dòng)器1的便攜信息設(shè)備120。最初本實(shí)施方式的便攜信息設(shè)備120例如以便攜電話為代表，發(fā)展并改良現(xiàn)有技術(shù)中的手表。外觀類似于手表，在相當(dāng)于文字盤的部分配有液晶顯示器，能夠在該畫面上顯示當(dāng)前的時(shí)刻等。此外，在作為通信機(jī)而利用的情況下，從手腕取下，通過內(nèi)置于表帶的內(nèi)側(cè)部分的揚(yáng)聲器和麥克風(fēng)而能夠進(jìn)行與現(xiàn)有技術(shù)的便攜電話相同的通信。然而，與現(xiàn)有的便攜電話相比較，明顯小型化且輕型化。下面，對(duì)本實(shí)施方式的便攜信息設(shè)備120的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖13所示，該便攜信息設(shè)備120具備壓電振動(dòng)器1和供電用的電源部121。電源部121例如由鋰二次電池構(gòu)成。進(jìn)行各種控制的控制部122、進(jìn)行時(shí)刻等的計(jì)數(shù)的計(jì)時(shí)部123、與外部進(jìn)行通信的通信部124、顯示各種信息的顯示部125、和檢測(cè)各功能部的電壓的電壓檢測(cè)部126，與該電源部121并聯(lián)連接。而且，通過電源部121來對(duì)各功能部供電?？刂撇?22控制各功能部，進(jìn)行聲音數(shù)據(jù)的發(fā)送及接收、當(dāng)前時(shí)刻的測(cè)量、顯示等的整個(gè)系統(tǒng)的動(dòng)作控制。此外，控制部122具備預(yù)先寫入程序的ROM、讀取寫入到該ROM的程序并執(zhí)行的CPU、和作為該CPU的工作區(qū)使用的RAM等。計(jì)時(shí)部123具備內(nèi)置了振蕩電路、寄存器電路、計(jì)數(shù)器電路及接口電路等的集成電路和壓電振動(dòng)器1。對(duì)壓電振動(dòng)器1施加電壓時(shí)壓電振動(dòng)片振動(dòng)，通過水晶所具有的壓電特性，該振動(dòng)被轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，以電信號(hào)的方式輸入到振蕩電路。振蕩電路的輸出被二值化，通過寄存器電路和計(jì)數(shù)器電路來計(jì)數(shù)。然后，通過接口電路，與控制部122進(jìn)行信號(hào)的發(fā)送與接收，在顯示部125顯示當(dāng)前時(shí)刻、當(dāng)前日期或者日歷信息等。通信部124具有與現(xiàn)有的便攜電話相同的功能，具備無線電部127、聲音處理部128、切換部129、放大部130、聲音輸入輸出部131、電話號(hào)碼輸入部132、來電音發(fā)生部133及呼叫控制存儲(chǔ)器部134。通過天線135，無線電部127與基站進(jìn)行收發(fā)聲音數(shù)據(jù)等各種數(shù)據(jù)的交換。聲音處理部128對(duì)從無線電部127或放大部130輸入的聲音信號(hào)進(jìn)行編碼及解碼。放大部130將從聲音處理部128或聲音輸入輸出部131輸入的信號(hào)放大到既定電平。聲音輸入輸出部131由揚(yáng)聲器或麥克風(fēng)等構(gòu)成，擴(kuò)大來電音、受話聲音，或者將聲音攏音。此外，來電音發(fā)生部133響應(yīng)來自基站的呼叫而生成來電音。切換部129僅在來電時(shí)，通過將連接在聲音處理部128的放大部130切換到來電音發(fā)生部133，在來電音發(fā)生部133中生成的來電音經(jīng)由放大部130輸出至聲音輸入輸出部131。此外，呼叫控制存儲(chǔ)器部134存放與通信的呼叫及來電控制相關(guān)的程序。此外，電話號(hào)碼輸入部132具備例如0至9的號(hào)碼鍵及其它鍵，通過按壓這些號(hào)碼鍵等，輸入通話目的地的電話號(hào)碼等。電壓檢測(cè)部126在通過電源部121對(duì)控制部122等的各功能部施加的電壓小于既定值時(shí)，檢測(cè)其電壓降后通知控制部122。這時(shí)的既定電壓值是作為使通信部124穩(wěn)定動(dòng)作所需的最低限的電壓而預(yù)先設(shè)定的值，例如，3V左右。從電壓檢測(cè)部126收到電壓降的通知的控制部122禁止無線電部127、聲音處理部128、切換部129及來電音發(fā)生部133的動(dòng)作。特別是，停止耗電較大的無線電部127的動(dòng)作是必需的。而且，顯示部125顯示通信部124由于電池余量的不足而不能使用的提示。即，能夠由電壓檢測(cè)部126和控制部122禁止通信部124的動(dòng)作并在顯示部125顯示該提示。該顯示可以是文字消息，但作為更直觀的顯示，也可以在顯示于顯示部125的顯示面的上部的電話圖標(biāo)打“×（叉）”標(biāo)記。此外，通過具備能夠有選擇地截?cái)嗯c通信部124的功能相關(guān)的部分的電源的電源截?cái)嗖?36，能夠更加可靠地停止通信部124的功能。依據(jù)本實(shí)施方式，能夠提供高效率且消耗電力少的高性能的便攜信息設(shè)備120。（電波鐘）接著，參照?qǐng)D14，對(duì)本發(fā)明的電波鐘的一實(shí)施方式進(jìn)行說明。如圖14所示，本實(shí)施方式的電波鐘140具備電連接到濾波部141的壓電振動(dòng)器1，是接收包含時(shí)鐘信息的標(biāo)準(zhǔn)電波，并具有自動(dòng)修正為正確的時(shí)刻并加以顯示的功能的鐘表。在日本國(guó)內(nèi)，在福島縣（40kHz）和佐賀縣（60kHz）有發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)電波的發(fā)送站（發(fā)送局），分別發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)電波。40kHz或60kHz這樣的長(zhǎng)波兼有沿地表傳播的性質(zhì)和在電離層和地表邊反射邊傳播的性質(zhì)，因此其傳播范圍寬，且由上述的兩個(gè)發(fā)送站覆蓋整個(gè)日本國(guó)內(nèi)。以下，對(duì)電波鐘140的功能性結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。天線142接收40kHz或60kHz長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn)電波。長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn)電波是將被稱為定時(shí)碼的時(shí)刻信息AM調(diào)制為40kHz或60kHz的載波。所接收的長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn)電波由放大器143放大，由具有多個(gè)壓電振動(dòng)器1的濾波部141濾波并調(diào)諧。本實(shí)施方式中的壓電振動(dòng)器1分別具備與上述載波頻率相同的40kHz及60kHz的諧振頻率的水晶振動(dòng)器部148、149。而且，濾波后的既定頻率的信號(hào)通過檢波、整流電路144來檢波并解調(diào)。接著，經(jīng)由波形整形電路145而抽出定時(shí)碼，由CPU146計(jì)數(shù)。在CPU146中，讀取當(dāng)前的年、累積日、星期、時(shí)刻等的信息。被讀取的信息反映于RTC147，顯示出正確的時(shí)刻信息。由于載波為40kHz或60kHz，所以水晶振動(dòng)器部148、149優(yōu)選具有上述的音叉型結(jié)構(gòu)的振動(dòng)器。此外，雖然上述的說明由日本國(guó)內(nèi)的示例表示，但長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn)電波的頻率在海外是不同的。例如，在德國(guó)使用77.5KHz的標(biāo)準(zhǔn)電波。所以，在將即使在海外也能夠?qū)?yīng)的電波鐘140裝入便攜設(shè)備的情況下，還需要與日本的情況不同的頻率的壓電振動(dòng)器1。依據(jù)本實(shí)施方式，能夠提供高效率且消耗電力少的高性能的電波鐘140。此外，本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限于上述實(shí)施方式，在不超出本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)可做各種變更。在實(shí)施方式中，表面安裝型的壓電振動(dòng)器1采用了本發(fā)明的壓電振動(dòng)片4，但并不限于此，例如在柱式（cylinder）封裝型的壓電振動(dòng)器采用了本發(fā)明的壓電振動(dòng)片4也可。在實(shí)施方式及各變形例中，在槽部51內(nèi)形成了1個(gè)肋部53，但是肋部53的個(gè)數(shù)并不限于1個(gè)，在槽部51內(nèi)形成多個(gè)肋部53也可。在實(shí)施方式及各變形例中，在振動(dòng)臂部10、11各自形成1個(gè)槽部51，但槽部51的個(gè)數(shù)并不限于1個(gè)，在振動(dòng)臂部10、11各自形成多個(gè)槽部51也可。在實(shí)施方式及第二變形例中，以使在槽部51內(nèi)形成的肋部53的寬度從＋Y側(cè)到－Y側(cè)逐漸擴(kuò)大的方式形成。但是，例如以使肋部53的寬度從＋Y側(cè)到－Y側(cè)階梯狀擴(kuò)大的方式形成也可。此外，以使肋部53的寬度從＋Y側(cè)到－Y側(cè)恒定的方式形成也可。在本實(shí)施方式及第一變形例中，槽部51形成為從＋Y側(cè)向－Y側(cè)以錐狀變窄。但是，例如，槽部51以階梯狀變窄的方式形成也可。標(biāo)號(hào)說明1…壓電振動(dòng)器；4…壓電振動(dòng)片；10、11…振動(dòng)臂部；12…基部；51…槽部；51a…－Y側(cè)壁面（基端側(cè)的壁面）；51b…＋Y側(cè)壁面（前端側(cè)的壁面）；53…肋部；110…振蕩器；120…便攜信息設(shè)備（電子設(shè)備）；140…電波鐘。