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      包含橋接器的固態(tài)安裝塊體聲波共振器結(jié)構(gòu)的制作方法與工藝

      文檔序號:12556914閱讀:來源:國知局
      包含橋接器的固態(tài)安裝塊體聲波共振器結(jié)構(gòu)的制作方法與工藝

      技術(shù)特征:
      1.一種固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其包含:第一電極;第二電極;壓電層,其安置于所述第一電極與第二電極之間;聲反射器,其包含多個(gè)高聲阻抗材料與低聲阻抗材料的交替層且安置于所述第一電極、所述第二電極及所述壓電層下面,所述聲反射器、所述第一電極、所述第二電極及所述壓電層的重疊界定聲共振器的作用區(qū)域,其中所述壓電層在所述第一電極的邊緣上方延伸;及橋接器,其鄰近所述聲共振器的所述作用區(qū)域的終端,其中所述橋接器與所述第一電極的一部分重疊;其中所述聲反射器延伸超出所述聲共振器的作用區(qū)域。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其進(jìn)一步包含到所述第二電極的多個(gè)側(cè)中的一者的電連接,其中所述橋接器安置于所述電連接與所述第二電極的所述一側(cè)之間。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其中在所述聲共振器的所述作用區(qū)域的終端的鄰近處,所述壓電層包含包括缺陷的轉(zhuǎn)變部。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其中所述第二電極不接觸所述轉(zhuǎn)變部。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其中所述橋接器包含間隙。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其中所述間隙包含所述第二電極與所述壓電層之間的區(qū)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其中在所述聲共振器的所述作用區(qū)域的終端的鄰近處,所述壓電層包含包括缺陷的轉(zhuǎn)變部,且所述轉(zhuǎn)變部安置于所述間隙的所述區(qū)下面。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其中所述第二電極包含具有一側(cè)的上部表面且凹部沿著所述側(cè)而安置。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其中所述第二電極包含具有一側(cè)的上部表面,且框架元件沿著所述側(cè)而安置。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其中所述聲反射器包含布拉格反射器。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其中所述第二電極包含具有一側(cè)的上部表面,且凹部沿著所述側(cè)而安置。12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其中所述第二電極包含具有一側(cè)的上部表面,且框架元件沿著所述側(cè)而安置。13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其進(jìn)一步包含所述橋接器下面的低聲阻抗材料。14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其中所述第二電極包含多個(gè)側(cè),其中所述側(cè)中的至少一者包含懸臂部分。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其進(jìn)一步包含所述懸臂部分下面的間隙。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的固態(tài)安裝塊體聲波共振器,其進(jìn)一步包含所述橋接器下面的低聲阻抗材料。
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