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      附載體銅箔、積層體、印刷配線板的制造方法及電子設(shè)備的制造方法與流程

      文檔序號(hào):11139998閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種附載體銅箔,其是依序具有載體、中間層、極薄銅層的附載體銅箔,且所述極薄銅層的厚度方向的每單位剖面積的晶粒個(gè)數(shù)為0.1~5個(gè)/μm2,所述極薄銅層側(cè)表面的十點(diǎn)平均粗糙度Rz為0.1~2.0μm。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的附載體銅箔,其中,所述極薄銅層側(cè)表面的十點(diǎn)平均粗糙度Rz為0.11~1.9μm。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的附載體銅箔,其中,所述極薄銅層側(cè)表面的十點(diǎn)平均粗糙度Rz為0.12~1.8μm。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的附載體銅箔,其中,所述極薄銅層的厚度方向的每單位剖面積的晶粒個(gè)數(shù)為0.2~4.8個(gè)/μm2。

      5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的附載體銅箔,其中,所述極薄銅層的厚度方向的每單位剖面積的晶粒個(gè)數(shù)為0.2~4.8個(gè)/μm2。

      6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的附載體銅箔,其中,所述極薄銅層的厚度方向的每單位剖面積的晶粒個(gè)數(shù)為0.2~4.8個(gè)/μm2

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的附載體銅箔,其中,所述極薄銅層的厚度方向的每單位剖面積的晶粒個(gè)數(shù)為0.3~4.5個(gè)/μm2。

      8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的附載體銅箔,其中,所述極薄銅層的厚度方向的每單位剖面積的晶粒個(gè)數(shù)為0.3~4.5個(gè)/μm2。

      9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的附載體銅箔,其中,所述極薄銅層的厚度方向的每單位剖面積的晶粒個(gè)數(shù)為0.3~4.5個(gè)/μm2。

      10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔,其中,所述極薄銅層的厚度方向的每單位剖面積的晶粒個(gè)數(shù)為1.15個(gè)/μm2以下。

      11.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔,其中,構(gòu)成所述極薄銅層的晶粒的與所述極薄銅層的板厚方向平行的方向的剖面的平均粒徑為0.5~6.0μm。

      12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的附載體銅箔,其中,構(gòu)成所述極薄銅層的晶粒的與所述極薄銅層的板厚方向平行的方向的剖面的平均粒徑為0.6~5.8μm。

      13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的附載體銅箔,其中,構(gòu)成所述極薄銅層的晶粒的與所述極薄銅層的板厚方向平行的方向的剖面的平均粒徑為0.7~5.6μm。

      14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的附載體銅箔,其中,構(gòu)成所述極薄銅層的晶粒的與所述極薄銅層的板厚方向平行的方向的剖面的平均粒徑為1.0~5.6μm。

      15.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔,其用于制造空心印刷配線板。

      16.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔,其在根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔在載體的一個(gè)面具有極薄銅層的情況下,在所述極薄銅層側(cè)及所述載體側(cè)的至少一個(gè)表面、或兩個(gè)表面,或者

      在根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔在載體的兩個(gè)面具有極薄銅層的情況下,在該一個(gè)或兩個(gè)極薄銅層側(cè)的表面,

      具有選自由粗化處理層、耐熱層、防銹層、鉻酸鹽處理層及硅烷偶合處理層所組成的群中的1種以上的層。

      17.根據(jù)權(quán)利要求11所述的附載體銅箔,其中,根據(jù)權(quán)利要求11所述的附載體銅箔在載體的一個(gè)面具有極薄銅層的情況下,在所述極薄銅層側(cè)及所述載體側(cè)的至少一個(gè)表面、或兩個(gè)表面,或者

      在根據(jù)權(quán)利要求11所述的附載體銅箔在載體的兩個(gè)面具有極薄銅層的情況下,在該一個(gè)或兩個(gè)極薄銅層側(cè)的表面,

      具有選自由粗化處理層、耐熱層、防銹層、鉻酸鹽處理層及硅烷偶合處理層所組成的群中的1種以上的層。

      18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的附載體銅箔,其中,所述粗化處理層是由選自由銅、鎳、磷、鎢、砷、鉬、鉻、鈦、鐵、釩、鈷及鋅所組成的群中任一單體或包含任1種以上所述單體的合金所組成的層。

      19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的附載體銅箔,其中,在選自由所述粗化處理層、所述耐熱層、防銹層、鉻酸鹽處理層及硅烷偶合處理層所組成的群中的1種以上的層上具備樹(shù)脂層。

      20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的附載體銅箔,其中,在選自由所述粗化處理層、所述耐熱層、防銹層、鉻酸鹽處理層及硅烷偶合處理層所組成的群中的1種以上的層上具備樹(shù)脂層。

      21.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔,其在所述極薄銅層上具備樹(shù)脂層。

      22.一種積層體,其具有根據(jù)權(quán)利要求1至21中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔。

      23.一種積層體,其是包含根據(jù)權(quán)利要求1至21中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔及樹(shù)脂的積層體,且所述附載體銅箔的端面的一部或全部由所述樹(shù)脂覆蓋。

      24.一種積層體,其具有兩個(gè)根據(jù)權(quán)利要求1至21中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔及樹(shù)脂,所述兩個(gè)附載體銅箔中的一個(gè)附載體銅箔的極薄銅層側(cè)表面與另一個(gè)附載體銅箔的極薄銅層側(cè)表面以分別露出的方式設(shè)置于樹(shù)脂。

      25.一種積層體,其將一個(gè)根據(jù)權(quán)利要求1至21中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔自所述載體側(cè)或所述極薄銅層側(cè)積層于另一個(gè)根據(jù)權(quán)利要求1至21中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔的所述載體側(cè)或所述極薄銅層側(cè)。

      26.一種印刷配線板的制造方法,其使用根據(jù)權(quán)利要求1至21中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔而制造印刷配線板。

      27.一種印刷配線板的制造方法,其包括以下步驟:準(zhǔn)備根據(jù)權(quán)利要求第1至21中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔及絕緣基板的步驟,

      積層所述附載體銅箔及絕緣基板的步驟,及,

      積層所述附載體銅箔及絕緣基板后,經(jīng)過(guò)剝離所述附載體銅箔的載體的步驟而形成覆銅積層板,

      其后,利用如半加成法、減成法、部分加成法或改良型半加成法的任一種方法形成電路的步驟。

      28.一種印刷配線板的制造方法,其包括以下步驟:在根據(jù)權(quán)利要求1至21中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面或所述載體側(cè)表面形成電路的步驟,

      以埋設(shè)所述電路的方式在所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面或所述載體側(cè)表面形成樹(shù)脂層的步驟,

      形成所述樹(shù)脂層后,使所述載體或所述極薄銅層剝離的步驟,及,

      通過(guò)使所述載體或所述極薄銅層剝離后,除去所述極薄銅層或所述載體而使形成在所述極薄銅層側(cè)表面或所述載體側(cè)表面的埋設(shè)于所述樹(shù)脂層的電路露出的步驟。

      29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的印刷配線板的制造方法,其包括以下步驟:在根據(jù)權(quán)利要求1至21中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面或所述載體側(cè)表面形成電路的步驟,

      以埋設(shè)所述電路的方式在所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面或所述載體側(cè)表面形成樹(shù)脂層的步驟,

      在所述樹(shù)脂層上形成電路的步驟,

      在所述樹(shù)脂層上形成電路后,使所述載體或所述極薄銅層剝離的步驟,及,

      通過(guò)使所述載體或所述極薄銅層剝離后,除去所述極薄銅層或所述載體,而使形成在所述極薄銅層側(cè)表面或所述載體側(cè)表面的埋設(shè)于所述樹(shù)脂層的電路露出的步驟。

      30.根據(jù)權(quán)利要求28所述的印刷配線板的制造方法,其包括以下步驟:將根據(jù)權(quán)利要求1至21中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔自所述載體側(cè)積層于樹(shù)脂基板的步驟,

      在所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面形成電路的步驟,

      以埋設(shè)所述電路的方式,在所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面形成樹(shù)脂層的步驟,

      形成所述樹(shù)脂層后,使所述載體剝離的步驟,及,

      通過(guò)剝離所述載體后,除去所述極薄銅層,而使形成在所述極薄銅層側(cè)表面的埋設(shè)于所述樹(shù)脂層的電路露出的步驟。

      31.根據(jù)權(quán)利要求28所述的印刷配線板的制造方法,其包括以下步驟:將根據(jù)權(quán)利要求1至21中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔自所述載體側(cè)積層于樹(shù)脂基板的步驟,

      在所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面形成電路的步驟,

      以埋設(shè)所述電路的方式,在所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面形成樹(shù)脂層的步驟,

      在所述樹(shù)脂層上形成電路的步驟,

      在所述樹(shù)脂層上形成電路后,剝離所述載體的步驟,及,

      通過(guò)剝離所述載體后,除去所述極薄銅層,而使形成在所述極薄銅層側(cè)表面的埋設(shè)于所述樹(shù)脂層的電路露出的步驟。

      32.一種印刷配線板的制造方法,其包括以下步驟:積層根據(jù)權(quán)利要求1至21中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面或所述載體側(cè)表面及樹(shù)脂基板的步驟,

      在所述附載體銅箔的與積層樹(shù)脂基板的側(cè)相反側(cè)的極薄銅層側(cè)表面或所述載體側(cè)表面設(shè)置樹(shù)脂層與電路此2層至少1次的步驟,及,

      形成所述樹(shù)脂層及電路此2層后,自所述附載體銅箔剝離所述載體或所述極薄銅層的步驟。

      33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的印刷配線板的制造方法,其包括以下步驟:積層根據(jù)權(quán)利要求1至21中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔的所述載體側(cè)表面及樹(shù)脂基板的步驟,

      在所述附載體銅箔的與積層樹(shù)脂基板的側(cè)相反側(cè)的極薄銅層側(cè)表面設(shè)置樹(shù)脂層及電路此2層至少1次的步驟,及,

      形成所述樹(shù)脂層及電路的2層后,自所述附載體銅箔剝離所述載體的步驟。

      34.一種印刷配線板的制造方法,其包括在根據(jù)權(quán)利要求22至25中任一項(xiàng)所述的積層體的任一個(gè)或兩個(gè)面設(shè)置樹(shù)脂層與電路此2層至少1次的步驟,及,

      形成所述樹(shù)脂層及電路此2層后,自構(gòu)成所述積層體的附載體銅箔剝離所述載體或所述極薄銅層的步驟。

      35.一種電子設(shè)備的制造方法,其使用根據(jù)權(quán)利要求26至34中任一項(xiàng)所述的方法而制造的印刷配線板而制造電子設(shè)備。

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