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      聲波器件和模塊的制作方法

      文檔序號:11138015閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種聲波器件,所述聲波器件包括:

      支撐基板;

      壓電基板,所述壓電基板在室溫下接合在所述支撐基板的上表面上并且由與所述支撐基板不同的材料制成;

      梳狀電極,所述梳狀電極形成在所述壓電基板的上表面上并且激發(fā)聲波;以及

      非晶層,所述非晶層形成在所述支撐基板與所述壓電基板之間。

      2.根據(jù)權利要求1所述的聲波器件,其中

      所述壓電基板是鉭酸鋰基板,并且

      所述支撐基板是藍寶石基板。

      3.根據(jù)權利要求2所述的聲波器件,其中

      所述支撐基板和所述壓電基板的總厚度是150μm或更小。

      4.根據(jù)權利要求1至3中的任一項所述的聲波器件,其中

      所述非晶層具有10nm或更小的厚度。

      5.根據(jù)權利要求4所述的聲波器件,其中

      所述非晶層具有1nm至8nm的厚度。

      6.根據(jù)權利要求1至3中的任一項所述的聲波器件,所述聲波器件還包括:

      濾波器,所述濾波器包括所述梳狀電極。

      7.一種模塊,所述模塊包括:

      根據(jù)權利要求1至3中的任一項所述的聲波器件。

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