技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
提供了一種聲波諧振器及其制造方法。所述聲波諧振器包括：基板；諧振部，安裝在基板上，并包括諧振部電極，所述諧振部電極被構(gòu)造為產(chǎn)生聲波；腔，設(shè)置在諧振部和基板之間；框架部，設(shè)置在諧振部電極中的至少一個(gè)電極上，并被構(gòu)造為反射聲波；連接電極，被構(gòu)造為將所述至少一個(gè)電極連接到外電極，并具有比所述至少一個(gè)電極的厚度小的厚度。

技術(shù)研發(fā)人員：韓源;李文喆;李在昌;孫尚郁;李泰勛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三星電機(jī)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.20
技術(shù)公布日：2017.08.25