本發(fā)明涉及壓電振動器，具體涉及通過支撐臂部將壓電振動片接合到盒（casing）的壓電振動器。

背景技術：

例如，在便攜電話、或便攜信息終端設備等的電子設備中，作為用于時刻源、或控制信號等的定時源、參考信號源等的器件，使用利用了石英等的壓電振動器。

作為這種壓電振動器，已知如專利文獻1所示那樣，在由封裝件和蓋體形成的空腔內(nèi)氣密密封壓電振動片的壓電振動器。

圖5關于現(xiàn)有的壓電振動片600的構(gòu)造進行表示。

如圖5（a）、（b）所示那樣，壓電振動片600具備利用壓電材料形成的既定長度的基部800、和從基部800并排地延伸的一對振動臂700a、b，并且具備在振動臂700a、b的外側(cè)從基部800的兩側(cè)端側(cè)并排地延伸的一對固定用臂900a、b。

而且，在通過壓電振動片600的重心g的虛擬的重心線上，固定用臂900a、b通過導電粘接材料500a、b接合到形成在封裝件200的電極部1400，從而固定壓電振動片600。

圖5（c）～（f）關于在以壓電振動片的固定部位為固定點p的情況下、對于外力（來自外部的沖擊）的壓電振動片的長度方向的位移進行示意性地表示。

圖5（c）關于在基部固定（懸臂支撐）壓電振動片的現(xiàn)有的壓電振動片進行表示，因此對于外力，振動臂700a、b的前端從固定點p遠離，所以其位移量也較大而為m1。

相對于此在圖5（a）、（b）所示的壓電振動片600的情況下，由于在重心線上對固定用臂900a、b進行固定，所以變得如同（d）所示那樣，以固定點p為中心，基部側(cè)、前端側(cè)沿圖面上下方向位移m2，從而與懸臂支撐的情況下的m1相比，整體的位移量m2變小，由此有效地防止與封裝件200的內(nèi)側(cè)碰撞而破損。

然而，實際上，如圖5（e）所示那樣，固定點p并不固定在振動臂700的中央部，而是經(jīng)由基部800固定在固定用臂900。

因此，對于外力，如同（f）所示那樣，與彈簧伸展的狀態(tài)同樣，基部800側(cè)從固定點p位移m2，進而與懸臂支撐的情況同樣以基部800為支點，振動臂700位移m3。即，在振動臂700的前端位移m2＋m3，因此未必能夠設為比懸臂支撐的情況下的位移量m1小的位移。

另外，現(xiàn)有的壓電振動片如圖5（a）所示那樣，對于1條固定用臂900a、b在1個部位接合、固定。

因此，如上述那樣因?qū)τ谕饬Φ妮^大的位移而施加到接合部位的應力變大，所以還存在接合部破損的可能性。

進而，在接合固定用臂900a、b的情況下，在固化前的柔軟的導電粘接材料500a、b上承載壓電振動片600時存在傾斜的可能性。

關于減小這些對于外力的振動臂部前端的位移量、或壓電振動片的傾斜的要求，壓電振動器的全長5mm以下越小型化越會變高。特別是，若成為3mm以下的尺寸則稍微的位移量的增加或傾斜也會較大地影響制品的性能或制造上的成品率。

【現(xiàn)有技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本特開2004－297198號公報。

技術實現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

本發(fā)明的目的在于更加穩(wěn)定地將壓電振動片接合到封裝件的安裝部，使對于外力的壓電振動器整體的位移量變小。

【用于解決課題的方案】

（1）本發(fā)明中，提供壓電振動器，其特征在于，具備：壓電振動片，具有基部、從所述基部并排地延伸設置的1對振動臂部、及在所述振動臂部的外側(cè)并排并從所述基部延伸設置的1對支撐臂部；以及封裝件，具備經(jīng)由接合材料安裝所述支撐臂部的安裝部，所述支撐臂部各自經(jīng)由第1接合材料和第2接合材料，在支撐臂部的長度方向互相分離的2個部位接合到所述安裝部，所述第1接合材料比通過所述壓電振動片的重心并沿壓電振動片的短邊方向延伸的虛擬重心線更靠所述基部側(cè)而配設。

（2）本發(fā)明中，提供壓電振動器，其特征在于：所述第1接合材料比所述基部與所述支撐臂部的連結(jié)部更靠所述虛擬重心線側(cè)而配設。

（3）本發(fā)明中，提供壓電振動器，其特征在于：所述第2接合材料比所述虛擬重心線更靠所述支撐臂部的前端側(cè)而配設。

（4）本發(fā)明中，提供壓電振動器，其特征在于：所述支撐臂部為壓電振動片的全長的1/3以上，所述第1接合材料配設在距離所述基部的端部為所述全長的1/3的附近，所述第2接合材料配設在距離所述基部的端部為所述全長的2/3的附近。

（5）本發(fā)明中，提供壓電振動器，其特征在于：所述第1接合材料與所述第2接合材料的中心間的距離為所述壓電振動片的全長的約1/3以上。

【發(fā)明效果】

依據(jù)本發(fā)明，支撐臂部各自經(jīng)由第1接合材料和第2接合材料，在支撐臂部的長度方向互相分離的2個部位接合到安裝部，第1接合材料比虛擬重心線更靠基部側(cè)而配設，因此能夠更加穩(wěn)定地將壓電振動片接合到封裝件的安裝部，并且使對于外力的壓電振動器整體的位移量變小。

附圖說明

【圖1】是壓電振動器的外觀立體圖。

【圖2】是壓電振動器的分解立體圖。

【圖3】是表示壓電振動片的結(jié)構(gòu)和壓電振動器的截面的圖。

【圖4】關于壓電振動片的全長l0和l1、l2、l3的尺寸與比例進行表示。

【圖5】是關于現(xiàn)有的壓電振動片的構(gòu)造進行表示的說明圖。

具體實施方式

以下，參照圖1至圖4，關于本發(fā)明的壓電振動器中適合的實施方式詳細地進行說明。

（1）實施方式的概要

本實施方式的壓電振動片6從基部8延伸設置有1對振動臂部7（7a、7b），并且具備從基部8在振動臂部7的兩外側(cè)并排地延伸設置的支撐臂部9（9a、9b）。而且，壓電振動片6利用2條支撐臂部9接合到封裝件內(nèi)的安裝部14上，從而固定保持，并且進行電連接。

該兩支撐臂部9的接合部位各自并不是一個部位，而設為其長度方向的2個部位以上，優(yōu)選為2個部位。另外，在其長度方向，使兩接合部位之中基部8側(cè)的接合部位比壓電振動片6的重心g更靠基部8側(cè)，優(yōu)選為使重心g存在于兩接合部位之間。

這樣，在其長度方向，使基部8側(cè)的接合部位比重心g更靠基部8側(cè)，從而能縮短從該接合點到振動臂部7的前端的長度，對于來自外部的沖擊能夠減小在振動臂部7前端的位移量。其另一方面為了抑制來自振動臂部7的振動泄漏，在其長度方向，使基部8側(cè)的接合部位比基部8與支撐臂部9的連結(jié)部81更靠重心g側(cè)。

另外，通過使接合部位為2個部位以上，與1個部位的情況相比，能夠增大壓電振動片6的接合強度（粘接強度），并且大幅減輕在固化前的導電性粘接劑上承載壓電振動片6時的傾斜。另外，與在支撐臂部9整體使用導電性粘接材料的情況相比，能夠縮減粘接劑的使用量，進一步抑制在空腔內(nèi)發(fā)生氣體。

進而，擴大支撐臂部9的兩接合部位的間隔，例如，對于壓電振動片6的全長，在距離基部8側(cè)1/3附近和2/3附近接合。將兩接合部位的間隔設為全長的約1/3。這樣，通過擴大兩接合部位的間隔，兩接合部位間的支撐臂部9吸收來自外部的沖擊、或支撐臂部9的振動，能夠抑制來自外部的影響或?qū)ν獠康挠绊憽?/p>

（2）實施方式的詳細情況

[第1實施方式]

圖1是第1實施方式所涉及的壓電振動器的外觀立體圖。圖2是第1實施方式所涉及的壓電振動器的分解立體圖。

如圖1、2所示那樣，本實施方式的壓電振動器1設為具備內(nèi)部具有氣密密封的空腔c的封裝件2和容納于空腔c內(nèi)的壓電振動片6的陶瓷封裝類型的表面安裝型振動器。

壓電振動片6是由石英或鉭酸鋰、鈮酸鋰等的壓電材料形成的、所謂的音叉形的振動片，當施加既定電壓時進行振動。在本實施方式中，舉例說明作為壓電材料使用石英而形成的壓電振動片。

壓電振動片6具備：從基部8平行延伸的振動臂部7a、7b；在該振動臂部7a、7b的外側(cè)沿同方向從基部8延伸的支撐臂部9a、9b，通過該支撐臂部9a、9b被保持在空腔c內(nèi)。關于壓電振動片6的詳細情況后述。

封裝件2形成為大概長方體狀。封裝件2具備：封裝件主體3；對于封裝件主體3接合并且與封裝件主體3之間形成空腔c的封口板4。

封裝件主體3具備：以互相疊合的狀態(tài)接合的第1基底基板10及第2基底基板11；在第2基底基板11上接合的密封環(huán)12。

在第1基底基板10及第2基底基板11的四角，俯視下1/4圓弧狀的切口部15遍及兩基底基板10、11的厚度方向的整體而形成。這些第1基底基板10及第2基底基板11是例如通過重疊兩塊圓片（wafer）狀的陶瓷基板而接合后，以矩陣狀形成貫通兩陶瓷基板的多個通孔，其后，邊以各通孔為基準邊以格子狀切斷兩陶瓷基板而制作。此時，通孔被分割成4個部分，從而成為切口部15。

此外，設第1基底基板10及第2基底基板11為陶瓷制，但是作為其具體的陶瓷材料，能舉出例如氧化鋁制的htcc（高溫共燒陶瓷：hightemperatureco－firedceramic）、或玻璃陶瓷制的ltcc（低溫共燒陶瓷：lowtemperatureco－firedceramic）等。

第1基底基板10的上表面相當于空腔c的底面。

第2基底基板11重疊到第1基底基板10，通過燒結(jié)等，對第1基底基板10結(jié)合。即，第2基底基板11與第1基底基板10一體化。

此外，如后述那樣在第1基底基板10與第2基底基板11之間，以被兩基底基板10、11夾持的狀態(tài)形成有連接電極24a、24b（未圖示）。

在第2基底基板11形成有貫通部11a。貫通部11a形成為四角帶有圓形的俯視長方形狀。貫通部11a的內(nèi)側(cè)面構(gòu)成空腔c的側(cè)壁的一部分。在貫通部11a的短邊方向?qū)χ玫膬蓚?cè)的內(nèi)側(cè)面設有向內(nèi)部突出的安裝部14a、14b。安裝部14a、14b形成在貫通部11a的長度方向大致中央。安裝部14a、14b以貫通部11a的長度方向的長度的1/3以上的長度形成。

密封環(huán)12是比第1基底基板10及第2基底基板11的外形小一圈的導電性的框狀部件，與第2基底基板11的上表面接合。具體而言，密封環(huán)12通過利用銀焊料等的焊料材料、或焊錫材料等進行的燒焊，接合在第2基底基板11上，或者，通過對形成（例如，通過電解鍍或非電解鍍之外，還通過蒸鍍或濺射等）在第2基底基板11上的金屬接合層的熔敷等來接合。

作為密封環(huán)12的材料，能夠舉出例如鎳基合金等，具體而言選自科瓦合金、埃林瓦爾鎳鉻合金、因瓦合金、42－合金等即可。特別是，作為密封環(huán)12的材料，優(yōu)選選擇熱膨脹系數(shù)對于設為陶瓷制的第1基底基板10及第2基底基板11接近的材料。例如，作為第1基底基板10及第2基底基板11，使用熱膨脹系數(shù)6.8×10^－6/℃的氧化鋁的情況下，作為密封環(huán)12，優(yōu)選使用熱膨脹系數(shù)5.2×10^－6/℃的科瓦合金、或熱膨脹系數(shù)4.5～6.5×10^－6/℃的42－合金。

封口板4是重疊在密封環(huán)12上的導電性基板，通過對密封環(huán)12的接合來對封裝件主體3氣密接合。而且，通過封口板4、密封環(huán)12、第2基底基板11的貫通部11a、及第1基底基板10的上表面劃分的空間，作為氣密密封的空腔c而發(fā)揮功能。

作為封口板4的焊接方法，能舉出例如通過接觸輥電極而進行的縫焊接、或激光焊接、超聲波焊接等。另外，為了使封口板4與密封環(huán)12的焊接更加可靠，優(yōu)選至少在封口板4的下表面和密封環(huán)12的上表面分別形成彼此融合良好的鎳、或金等的接合層。

不過，在第2基底基板11的安裝部14a、14b的上表面，形成有與壓電振動片6的連接電極即一對電極焊盤20a、20b。另外，在第1基底基板10的下表面，沿封裝件2的長度方向隔開間隔而形成有一對外部電極21a、21b。電極焊盤20a、20b及外部電極21a、21b為例如利用以蒸鍍、或濺射等形成的單一金屬的單層膜、或?qū)盈B不同金屬的層疊膜。

電極焊盤20a、20b和外部電極21a、21b分別經(jīng)由形成在第2基底基板11的安裝部14a、14b的第2貫通電極22a、22b、形成在第1基底基板10與第2基底基板11之間的連接電極24a、24b（未圖示）、及形成在第1基底基板10的第1貫通電極23a、23b（未圖示）而互相導通。

另一方面，詳細情況后述，但是在電極焊盤20a、20b上沿第1方向d1互相隔離地配設有第1接合材料51a、51b和第2接合材料52a、52b，將支撐臂部9a、9b各自在長度方向的隔離的2個點接合。

圖3是表示第1實施方式所涉及的壓電振動片6的結(jié)構(gòu)和壓電振動器的截面的圖。

以下，如圖3所示那樣，將在與第1基底基板10平行的面上壓電振動器1的長度方向設為第1方向d1、在同面上與第1方向d1正交的方向（壓電振動器1的短邊方向）設為第2方向d2、與第1方向d1和第2方向d2正交的方向（壓電振動器1的厚度方向）設為第3方向d3而進行說明（也參照圖1）。

如圖3（a）所示那樣，壓電振動片6具備一對振動臂部7a、7b和基部8和一對支撐臂部9a、9b。

基部8連結(jié)一對振動臂部7a、7b之中第1方向d1上的一個端部彼此。

在基部8連結(jié)有從朝向第2方向d2的兩端面沿著第2方向d2而向外側(cè)延伸的連結(jié)部81a、81b，在該連結(jié)部81a、81b連結(jié)有沿著第1方向d1分別延伸的支撐臂部9a、9b。一對支撐臂部9a、9b在第2方向d2配置在振動臂部7a、7b的兩外側(cè)。

振動臂部7a、7b從基部8側(cè)的端部到前端部的長度形成為壓電振動片6的全長l0的1/3以上。該長度如后述那樣，用于確保第1接合材料51a、51b與第2接合材料52a、52b的間隔。

一對振動臂部7a、7b以成為互相平行的方式配置，以基部8側(cè)的端部為固定端、前端為自由端而振動。

一對振動臂部7a、7b具備以比基部8側(cè)的寬度尺寸大的寬度形成的寬幅部71a、71b。該寬幅部71a、71b具有增大振動臂部7a、7b的重量及振動時的慣性矩的功能。由此，振動臂部7a、7b變得容易振動，能夠縮短振動臂部7a、7b的長度，謀求小型化。

此外，本實施方式的壓電振動片6在振動臂部7a、7b形成有寬幅部71a、71b，但也可以使用沒有寬幅部的壓電振動片。

另外，在本實施方式的壓電振動器1中，雖然未圖示，但是在振動臂部7a、7b的前端部（寬幅部71a、71b）形成有用于將振動狀態(tài)以在既定頻率的范圍內(nèi)進行振動的方式進行調(diào)整（頻率調(diào)整）的重錘金屬膜（由粗調(diào)膜及微調(diào)膜構(gòu)成）。例如通過照射激光而僅適量去掉該重錘金屬膜，從而進行頻率調(diào)整，能夠?qū)⒁粚φ駝颖鄄?a、7b的頻率收斂到器件的標稱頻率的范圍內(nèi)。關于該重錘金屬膜，也能夠不與寬幅部同樣地形成。

圖3（c）是沿箭頭的方向觀察沿著圖3（a）所示的v1－v1線的截面的截面圖。

如圖3（a）、（c）所示那樣，在一對振動臂部7a、7b形成有一定寬度的槽部72a、72b。槽部72a、72b在一對振動臂部7a、7b的兩主面（表背面）上在第3方向d3凹陷并且從基部8側(cè)沿著第1方向d1延伸。槽部72a、72b形成在從振動臂部7a、7b的基端到寬幅部71a、71b之間。

通過槽部72a、72b，一對振動臂部7a、7b分別如圖3（c）所示那樣成為截面h型。

如圖3（c）所示那樣，在一對振動臂部7a、7b的外表面上，形成有一對（2個系統(tǒng)的）激振電極91、92。其中，一對激振電極91、92是施加電壓時使一對振動臂部7a、7b以既定諧振頻率沿互相接近或離開的方向振動的電極，在電切斷的狀態(tài)下在振動臂部7a、7b上進行構(gòu)圖而形成。

具體而言，一個激振電極91主要在一個振動臂部7a的槽部72a內(nèi)和另一個振動臂部7b的側(cè)面上以互相電連接的狀態(tài)形成。

另外，另一個激振電極92主要在另一個振動臂部7b的槽部72b內(nèi)和一個振動臂部7a的側(cè)面上以互相電連接的狀態(tài)形成。

在壓電振動片6的與第1基底基板10對置的一側(cè)的表面，雖然未圖示，但是作為將壓電振動片6安裝于封裝件2時的裝配部在支撐臂部9a、9b形成有2個系統(tǒng)的裝配電極，與該兩裝配電極電連接的2個系統(tǒng)的迂回電極形成在連結(jié)部81a、81b和基部8。

而且，形成在支撐臂部9a的第1系統(tǒng)的裝配電極經(jīng)由迂回電極而與激振電極92（參照圖3（c））連接，形成在支撐臂部9b的第2系統(tǒng)的裝配電極經(jīng)由迂回電極而與激振電極91連接。

2個系統(tǒng)的激振電極91、92成為經(jīng)由一對裝配電極而被施加電壓。

此外，激振電極91、92、裝配電極及迂回電極是例如鉻（cr）和金（au）的層疊膜，在將與石英密合性良好的鉻膜作為基底而成膜后，對表面施加金的薄膜。但是，不限于該情況，例如，即便在鉻和鎳鉻合金（nicr）的層疊膜的表面進一步層疊金的薄膜也沒有關系，即便為鉻、鎳、鋁（al）或鈦（ti）等的單層膜也沒有關系。

圖3（b）是在圖1所示的封裝件2安裝壓電振動片6的壓電振動器1的、沿著第1方向d1的截面圖，是沿箭頭的方向觀察圖3（a）的沿v2－v2線的截面的截面圖。但是，為了表示第2貫通電極23b，錯開在該部分的截面位置。

在第2基底基板11的安裝部14a、14b的安裝面（與封口板4對置的一側(cè)的表面），遍及大致整個面而形成有電極焊盤20a、20b。

另一方面，在第1基底基板10的外側(cè)底面，在長度方向（第1方向d1）的兩端側(cè)形成有沿短邊方向（第2方向d2）延伸的外部電極21a、21b。

這些電極焊盤20a、20b及外部電極21a、21b為例如利用以蒸鍍、或濺射等形成的單一金屬的單層膜、或?qū)盈B不同金屬的層疊膜，電極焊盤20a和外部電極21a互相導通，電極焊盤20b和外部電極21b互相導通。

即，如圖3（b）所示那樣，在第1基底基板10形成有與外部電極21b導通并沿厚度方向貫通第1基底基板10的第1貫通電極23b。進而，在第2基底基板11的安裝部14b的大致中央（參照圖2），形成有與電極焊盤20b導通并沿厚度方向貫通安裝部14b的第2貫通電極22b。而且，在第1基底基板10與第2基底基板11（安裝部14b）之間，形成有連接第1貫通電極23b與第2貫通電極22b的連接電極24b。

這樣，電極焊盤20b和外部電極21b經(jīng)由第2貫通電極22b、連接電極24b及第1貫通電極23b而互相導通。

另一方面，如圖3（b）以虛線所示那樣，在第1基底基板10形成有與外部電極21a導通并沿厚度方向貫通第1基底基板10的第1貫通電極23a，在第2基底基板11的安裝部14a的大致中央（參照圖2），形成有與電極焊盤20a導通并沿厚度方向貫通安裝部14a的第2貫通電極22a。而且，在第1基底基板10與第2基底基板11（安裝部14a）之間，形成有連接第1貫通電極23a與第2貫通電極22a的連接電極24a。

這樣，電極焊盤20a和外部電極21a經(jīng)由第2貫通電極22a、連接電極24a及第1貫通電極23a而互相導通。

此外，兩連接電極24a、24b并非使第1貫通電極23a、23b和第2貫通電極22a、22b直線連接的形狀，而是為了避免在空腔c內(nèi)的露出，沿著第2基底基板11和第1基底基板10所抵接的區(qū)域而形成。

壓電振動片6以通過一對支撐臂部9a、9b安裝在安裝部14a、14b上的狀態(tài)，容納于氣密密封的封裝件2的空腔c內(nèi)。

即，如圖3（a）、（b）所示那樣，壓電振動片6中，設于支撐臂部9a、9b的各裝配電極分別經(jīng)由第1接合材料51a、51b、第2接合材料52a、52b而電氣及機械地接合到安裝部14a、14b上的電極焊盤20a、20b（在上表面形成有金屬導電層的情況下為該金屬導電層）。

這樣，關于本實施方式的壓電振動片6，支撐臂部9a、9b各自在其長度方向（第1方向d1）的2個部位接合保持（2點支撐）在安裝部14a、14b上。

第1接合材料51a、51b、第2接合材料52a、52b使用具有導電性，且在接合初期的階段具有流動性、在接合后期的階段固化而具有體現(xiàn)接合強度的性質(zhì)的材料，例如，適合使用銀膏等的導電性粘接劑或金屬凸點（bump）等。

在第1接合材料51a、51b、第2接合材料52a、52b通過導電性粘接劑構(gòu)成的情況下，利用支撐在涂敷裝置的移動頭的分配器噴嘴進行涂敷。

在本實施方式中，各接合材料的尺寸依據(jù)壓電振動器1的尺寸，但是例如在1.2mm×1.0mm尺寸的壓電振動器1的情況下，以半徑0.1mm左右進行涂敷。

接著，關于將支撐臂部9a、9b固定保持在安裝部14a、14b上的、第1接合材料51a、51b與第2接合材料52a、52b的配設關系進行說明。

此外，本實施方式的壓電振動器1成為在第2方向d2對稱的構(gòu)造，所以如稱為振動臂部7a和振動臂部7b那樣，以同一數(shù)字表示對稱配置的兩部分，并且為了對兩部分進行區(qū)別，對一個標注區(qū)別標號a、a，對另一個標注區(qū)別標號b、b而進行說明。在以下的說明中，省略區(qū)別標號而進行說明，在區(qū)別兩者的情況下標注區(qū)別標號而進行說明。

如圖3（a）所示那樣，設從壓電振動片6的基部8側(cè)的端部到第1接合材料51的中心的距離為l1、第1接合材料51與第2接合材料52的兩中心間的距離為l2、從第2接合材料52的中心到振動臂部7的前端的距離為l3，設壓電振動片6的全長為l0（＝l1＋l2＋l3）。

（a）如圖3（a）所示那樣，本實施方式的支撐臂部9在支撐臂部9的長度方向互相分離地配設有第1接合材料51和第2接合材料52。

這樣，通過將支撐臂部9與安裝部14上的電極焊盤20的接合部位設為互相分離的第1接合材料51和第2接合材料52的2個點，與接合部位為1個部位的現(xiàn)有相比，在涂敷的兩接合材料51、52上承載壓電振動片6時的平衡變得良好，能夠進一步減小壓電振動片6的傾斜量。特別是作為接合材料，使用導電性粘接劑的情況下，在涂敷之后進行固化前承載壓電振動片6，因此能平衡良好地承載，所以在減小傾斜量上特別有效，提高安裝精度，能獲得成品率提高或特性的提高。

進而，通過在第1接合材料51和第2接合材料52的2個點進行接合，能夠更加牢固地接合壓電振動片6。

即，在以1個點進行接合的情況下，因沖擊等的外力而壓電振動片6位移時，與蹺蹺板（seesaw）同樣，以接合點為支點的兩側(cè)會位移，應力會施加到接合點的兩側(cè)，因此存在在接合部破損的可能性。

相對于此，在本實施方式中，對于外力基部8側(cè)以第1接合材料51為基點位移，但其相反側(cè)用第2接合材料52固定，因此不會較大地位移。

這樣，在本實施方式中應力只施加在第1接合材料51的基部8側(cè)，對相反側(cè)不會施加，因此能夠降低在第1接合材料51破損的可能性。即便例如第1接合材料51破損的情況下，也通過第2接合材料52維持接合，因此確保自外部電極21起的導通，能夠維持作為制品的性能。

另外，接合本實施方式的支撐臂部9的第1接合材料51和第2接合材料52互相隔離地配設，從而與對支撐臂部9整體涂敷接合材料的情況相比，能夠減小所使用的接合材料的量。而且，通過縮減接合材料的使用量，能夠減小在空腔c內(nèi)產(chǎn)生的氣體量。

此外，在本實施方式中將利用接合材料進行的支撐臂部9的接合設為2個部位，但是，只要以互相分離的狀態(tài)配設就不限定于2個部位，也可以設為3個部位以上。但是，為了承載壓電振動片6時的穩(wěn)定或進一步減小空腔c內(nèi)的氣體的產(chǎn)生，優(yōu)選為2個部位。

（b）另外，在本實施方式的支撐臂部9中，基部8側(cè)的第1接合材料51比通過壓電振動片6的重心g并在壓電振動片6的短邊方向（第2方向d2）延伸的虛擬重心線更靠基部8側(cè)而配設。

因此，與用虛擬重心線上的1個點接合的現(xiàn)有相比，從第1接合材料51經(jīng)由基部8而到振動臂部7的前端的長度變短，能夠使外力施加到壓電振動器1的情況下的整體的位移量變小，能夠降低振動臂部7的前端與封裝件的內(nèi)側(cè)碰撞而破損的可能性。另外，壓電振動器1的位移量變小，所以也能夠使厚度變小。

（c）另一方面，除了上述（b）之外本實施方式的第2接合材料52比虛擬重心線更靠支撐臂部9的前端側(cè)而配置。

由此，虛擬重心線會存在于第1接合材料51與第2接合材料52之間，能夠進一步平衡良好地配置壓電振動片6。

只是，第2接合材料52優(yōu)選比虛擬重心線更靠前端側(cè)而配置，但是也可以比重心更靠基部8側(cè)。在該情況下，虛擬重心線不會存在于第1接合材料51與第2接合材料52之間，但是與在第1接合材料51的一個部位接合的情況相比，能夠減小壓電振動片6的傾斜。

（d）另一方面，本實施方式的接合支撐臂部9的第1接合材料51比連結(jié)基部8與支撐臂部9的連結(jié)部81更靠虛擬重心線側(cè)而配設。

因此，與不具備支撐臂部而在基部的端部接合壓電振動片（單側(cè)支撐）的現(xiàn)有相比，能夠降低從支撐接合壓電振動片6的振動臂部7的振動的泄漏量。

（e）如上所述，振動臂部7形成為從基部8側(cè)的端部到前端部的長度長于壓電振動片6的全長l0的1/3。這是為了確保第1接合材料51a、51b與第2接合材料52a、52b的間隔。

而且，將接合支撐臂部9的第1接合材料51和第2接合材料52配設在將壓電振動片6的全長l0進行3等分后的部位附近。在該情況下，優(yōu)選l2在l0的45％～35％的范圍，設為l1＜l3＜l2。設為l1＜l2是為了增大利用上述（b）的效果。

本實施方式的壓電振動片6中，將第1接合材料51與第2接合材料52的間隔l2設為l2＞l0/3，從而通過第1接合材料51與第2接合材料52之間的支撐臂部9稍微變形，對于施加外力的情況或振動臂部7的振動能夠進行吸收、分散，能夠抑制來自外部的影響或?qū)ν獠康挠绊憽?/p>

圖4作為壓電振動片6的實施例，關于全長l0與l1、l2、l3的尺寸和比例進行表示。此外，圖4所示的數(shù)值中整體的值不一致是因為刪除了零數(shù)。

如圖4所示那樣，實施例（1）～（3）的壓電振動片6的各尺寸，分別為全長l0＝1.38mm×寬度0.556mm、全長l0＝1.1mm×寬度0.48mm、全長l0＝0.907mm×寬度0.505mm。

另外，各實施例（1）～（3）的安裝各壓電振動片6的壓電振動器1的尺寸，實施例（1）為長度2.05mm×寬度1.25mm、實施例（2）為長度1.65mm×寬度1.05mm、實施例（3）為長度1.25mm×寬度1.05mm。

各壓電振動片6中的l1～l3的值以及對于全長l0的比例l1/l0、l2/l0、l3/l0（％），如圖4所示。

任一實施例都是：在利用第1接合材料51和第2接合材料52的2個部位支撐臂部9被接合到安裝部14，第1接合材料51比虛擬重心線更靠基部8側(cè)并且比連結(jié)部81更靠虛擬重心線側(cè)，第2接合材料52比虛擬重心線更靠前端側(cè)，第1接合材料51與第2接合材料52的間隔l2為全長l0的1/3以上。

依據(jù)各實施例（1）～（3），能夠得到在（a）～（e）說明的各效果。

在使這樣構(gòu)成的壓電振動器1工作的情況下，在外部電極21a、21b施加既定電壓。若對外部電極21a、21b施加既定電壓，則電流流過2個系統(tǒng)的激振電極91、92，通過在2個系統(tǒng)的激振電極91、92間產(chǎn)生的電場造成的逆壓電效應，一對振動臂部7a、7b例如以既定諧振頻率在互相接近、離開的方向（第2方向d2）振動。一對振動臂部7a、7b的振動能作為時刻源、控制信號的定時源、或參考信號源等而使用。

以上說明的壓電振動器1在電波鐘表、便攜電話或便攜信息終端設備中，能作為時刻源或控制信號等的定時源、參考信號源等而使用，另外，作為陀螺儀傳感器等的計測設備等而使用。

本發(fā)明并不限于參照附圖說明的上述實施方式，在其技術范圍內(nèi)可考慮各種各樣的變形例。

例如，在上述實施方式中，作為使用壓電振動片的壓電振動器，對陶瓷封裝類型的表面安裝型振動器進行了說明，但是也能夠?qū)弘娬駝悠m用于利用陽極接合將通過玻璃材料形成的基底基板及蓋基板接合的玻璃封裝類型的壓電振動器。

另外，已說明的實施方式的電極焊盤20形成在安裝部14的大致整個面，但是形成在與第1接合材料51、第2接合材料52的至少一個對應的區(qū)域即可。在該情況下，第2貫通電極23（參照圖3（b））形成在安裝部14的、與電極焊盤20對應的部位。

此外，在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)，能夠適當?shù)貙⑸鲜龅膶嵤┓绞街械臉?gòu)成要素置換為眾所周知的結(jié)構(gòu)要素。

標號說明

1壓電振動器；2封裝件；3封裝件主體；4封口板；6壓電振動片；7振動臂部；8基部；9支撐臂部；10第1基底基板；11第2基底基板；14安裝部；20電極焊盤；21外部電極；22第2貫通電極；23第1貫通電極；24連接電極；51第1接合材料；52第2接合材料；72槽部；91、92激振電極。