本發(fā)明涉及彈性波裝置。

背景技術(shù)：

以往，彈性波裝置廣泛用于便攜式電話機等。

在下述的專利文獻1中，公開了一種具有使用了梳齒狀電極的電容部的聲表面波裝置。梳齒狀電極的多根電極指與idt電極連成一排，并形成在壓電基板上，且隔著電介質(zhì)膜與公共電極對置。由此，構(gòu)成了電容部。

在下述的專利文獻2中，公開了一種具有由一對梳齒狀電極構(gòu)成的電容部的濾波器。專利文獻2的濾波器具有縱向耦合諧振器型彈性波濾波器以及電抗元件。在縱向耦合諧振器型彈性波濾波器和電抗元件的連接點與接地電位之間，連接有上述電容部。電容部的電極指延伸的方向設(shè)為與縱向耦合諧振器型彈性波濾波器的idt電極的電極指延伸的方向垂直。

在先技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開昭63-86912號公報

專利文獻2：日本特表2010-512077號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

然而，專利文獻1的構(gòu)成電容部的多根電極指在與上述idt電極的電極指相同的方向上延伸。因此，會由電容部的多根電極指激勵無用的波。因此，濾波器特性等劣化。

近年來，要求彈性波裝置的小型化。然而，在專利文獻2的濾波器中，與設(shè)置電容部相應(yīng)地，面積增大。因此，難以小型化。

本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠謀求小型化的彈性波裝置。

用于解決課題的技術(shù)方案

本發(fā)明涉及的彈性波裝置具備：壓電基板；idt電極，設(shè)置在所述壓電基板上，具有彼此相互交替插入的多根第一電極指和多根第二電極指、共同連接了所述多根第一電極指的一端的第一匯流條、以及共同連接了所述多根第二電極指的一端的第二匯流條；電容電極，具有彼此相互交替插入的多根第三電極指和多根第四電極指、共同連接了所述多根第三電極指的一端的第三匯流條、以及共同連接了所述多根第四電極指的一端的第四匯流條；絕緣膜，層疊在所述電容電極；第一布線，具有隔著所述絕緣膜與所述電容電極對置的部分；以及第二布線，對所述第一匯流條和所述第三匯流條進行連接，所述電容電極在聲表面波的傳播方向上配置在所述idt電極的側(cè)方。

在本發(fā)明涉及的彈性波裝置的某個特定的局面中，還具備對所述第二匯流條和所述第四匯流條進行連接的第三布線。在該情況下，所述電容電極與所述idt電極并聯(lián)地連接。由此，能夠?qū)dt電極附加靜電電容。

在本發(fā)明涉及的彈性波裝置的另一個特定的局面中，所述第四匯流條與接地電位連接。在該情況下，能夠在所述idt電極與接地電位之間賦予靜電電容。

在本發(fā)明涉及的彈性波裝置的另一個特定的局面中，所述第一布線與所述第四匯流條連接。在該情況下，能夠在所述idt電極與接地電位之間賦予更大的靜電電容。

在本發(fā)明涉及的彈性波裝置的另一個特定的局面中，所述電容電極配置為，所述第三電極指、所述第四電極指的交叉寬度方向與所述第一電極指、所述第二電極指的交叉寬度方向不平行。在該情況下，能夠有效地減小在電容電極中激勵的聲表面波對所述idt電極的影響。

在本發(fā)明涉及的彈性波裝置的另一個特定的局面中，所述電容電極配置為，所述第三電極指、所述第四電極指的交叉寬度方向與所述第一電極指、所述第二電極指的交叉寬度方向正交。在該情況下，能夠更加有效地減小在電容電極中激勵的聲表面波對所述idt電極的影響。

在本發(fā)明涉及的彈性波裝置的另一個特定的局面中，所述第一布線的與所述電容電極對置的部分設(shè)置在所述壓電基板上。在該情況下，因為在上表面平坦的第一布線上層疊了所述絕緣膜，所以所述絕緣膜的上表面也是平坦的。因此，能夠容易地設(shè)置電容電極。

在本發(fā)明涉及的彈性波裝置的另一個特定的局面中，所述電容電極設(shè)置在所述壓電基板上。在該情況下，能夠容易地設(shè)置電容電極。

在本發(fā)明涉及的彈性波裝置的另一個特定的局面中，所述絕緣膜由不具有壓電性的絕緣材料構(gòu)成。在該情況下，即使在電容電極上設(shè)置絕緣膜，絕緣膜的上表面也是平坦的。由此，能夠在絕緣膜上容易地設(shè)置第一布線。

在本發(fā)明涉及的彈性波裝置的另一個特定的局面中，所述彈性波裝置是具有至少一個串聯(lián)臂諧振器以及至少一個并聯(lián)臂諧振器的梯型濾波器，所述串聯(lián)臂諧振器以及并聯(lián)臂諧振器中的至少一個具有所述idt電極。在該情況下，能夠通過所述電容電極對串聯(lián)臂諧振器以及并聯(lián)臂諧振器中的至少一個賦予靜電電容，從而有效地提高通帶的端部的高頻側(cè)以及低頻側(cè)中的至少一方的端部附近的陡峭性。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種能夠謀求小型化的彈性波裝置。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的第一實施方式涉及的彈性波裝置的電路圖。

圖2是示出在本發(fā)明的第一實施方式中在壓電基板上設(shè)置了第一導(dǎo)電材料層的狀態(tài)的簡圖式俯視圖。

圖3是示出在本發(fā)明的第一實施方式中在圖2所示的第一導(dǎo)電材料層上設(shè)置了絕緣膜的狀態(tài)的簡圖式俯視圖。

圖4是本發(fā)明的第一實施方式涉及的彈性波裝置的簡圖式俯視圖。

圖5是在本發(fā)明的第一實施方式中使用的串聯(lián)臂諧振器的俯視圖。

圖6是第一比較例的彈性波裝置的簡圖式俯視圖。

圖7是本發(fā)明的第二實施方式涉及的彈性波裝置的電路圖。

圖8是示出在本發(fā)明的第二實施方式中在壓電基板上設(shè)置了第一導(dǎo)電材料層的狀態(tài)的簡圖式俯視圖。

圖9是示出在本發(fā)明的第二實施方式中在圖8所示的第一導(dǎo)電材料層上設(shè)置了絕緣膜的狀態(tài)的簡圖式俯視圖。

圖10是本發(fā)明的第二實施方式涉及的彈性波裝置的簡圖式俯視圖。

圖11是第二比較例的彈性波裝置的簡圖式俯視圖。

圖12是沿著圖4中的a-a線的彈性波裝置的剖視圖。

圖13是本發(fā)明的第三實施方式涉及的彈性波裝置的配置有電容電極的部分的部分剖視圖。

圖14是本發(fā)明的第四實施方式涉及的彈性波裝置的配置有電容電極的部分的部分剖視圖。

圖15是本發(fā)明的第四實施方式的變形例的彈性波裝置的配置有電容電極的部分的部分剖視圖。

具體實施方式

以下，參照附圖對本發(fā)明的具體的實施方式進行說明，從而明確本發(fā)明。

另外，需要指出的是，在本說明書記載的各實施方式是例示性的，能夠在不同的實施方式之間進行結(jié)構(gòu)的部分置換或組合。

圖1是本發(fā)明的第一實施方式涉及的彈性波裝置的電路圖。

彈性波裝置1是梯型濾波器。彈性波裝置1具有連接在輸入端子3與輸出端子4之間的串聯(lián)臂諧振器s1、s2。在串聯(lián)臂諧振器s1和串聯(lián)臂諧振器s2之間的連接點與接地電位之間，連接有并聯(lián)臂諧振器p1。在串聯(lián)臂諧振器s2和輸出端子4之間的連接點與接地電位之間，連接有并聯(lián)臂諧振器p2。在串聯(lián)臂諧振器s2并聯(lián)地連接有電容部18。另外，電容部18具有后述的電容電極、絕緣膜、以及隔著絕緣膜與電容電極對置的第一布線。并聯(lián)臂諧振器p1通過上述第一布線與接地電位連接。

以下，使用圖2～圖5，對本實施方式的更具體的結(jié)構(gòu)進行說明。

圖4是本實施方式涉及的彈性波裝置的簡圖式俯視圖。圖2以及圖3是示出本實施方式的彈性波裝置的制造工序的中途的階段的構(gòu)造的圖。更具體地，圖2是示出在壓電基板上設(shè)置了后述的第一導(dǎo)電材料層的狀態(tài)的簡圖式俯視圖。圖3是示出在圖2所示的第一導(dǎo)電材料層上設(shè)置了絕緣膜的狀態(tài)的簡圖式俯視圖。

如圖2～圖4所示，彈性波裝置1具有壓電基板2。壓電基板2由linbo3、litao3等的壓電單晶構(gòu)成。另外，壓電基板2也可以由壓電陶瓷構(gòu)成。

在壓電基板2上，構(gòu)成了串聯(lián)臂諧振器s1、s2以及并聯(lián)臂諧振器p1、p2。在串聯(lián)臂諧振器s2的側(cè)方設(shè)置有電容電極8。串聯(lián)臂諧振器s1、s2以及并聯(lián)臂諧振器p1、p2通過連接布線17進行連接。另外，在本說明書中，通過矩形以及在該矩形中繪制了兩條對角線的簡圖表示串聯(lián)臂諧振器s1、s2以及并聯(lián)臂諧振器p1、p2。

圖5是串聯(lián)臂諧振器s2的俯視圖。

在壓電基板2上設(shè)置有idt電極6。idt電極6具有多根第一電極指6a1、多根第二電極指6b1以及第一匯流條6a2、第二匯流條6b2。多根第一電極指6a1和多根第二電極指6b1在交叉寬度方向上彼此相互交替插入。多根第一電極指6a1的一端共同連接到第一匯流條6a2。多根第二電極指6b1的一端共同連接到第二匯流條6b2。

在idt電極6的聲表面波的傳播方向的兩側(cè)，分別設(shè)置有反射器7。由此，構(gòu)成了分別具有一個輸入端子和一個輸出端子的作為單端口型的彈性波諧振器的串聯(lián)臂諧振器s2。串聯(lián)臂諧振器s1以及并聯(lián)臂諧振器p1、p2也具有與串聯(lián)臂諧振器s2同樣的結(jié)構(gòu)。

返回到圖2，電容電極8由一對梳齒狀電極構(gòu)成。一個梳齒狀電極具有多根第三電極指8a1。多根第三電極指8a1的一端共同連接到第三匯流條8a2。另一個梳齒狀電極具有多根第四電極指8b1。多根第四電極指8b1的一端共同連接到第四匯流條8b2。多根第三電極指8a1和多根第四電極指8b1在交叉寬度方向上彼此相互交替插入。

如上所述，電容電極8設(shè)置在串聯(lián)臂諧振器s2的聲表面波的傳播方向的側(cè)方。串聯(lián)臂諧振器s2在串聯(lián)臂諧振器s1、s2以及并聯(lián)臂諧振器p1、p2之中配置在與電容電極8距離最近的位置。串聯(lián)臂諧振器s2的第一匯流條6a2和電容電極8的第三匯流條8a2通過第二布線15進行連接。串聯(lián)臂諧振器s2的第二匯流條6b2和電容電極8的第四匯流條8b2通過第三布線16進行連接。因此，電容電極8與串聯(lián)臂諧振器s2并聯(lián)地連接。

電容電極8配置為，電容電極8的第三電極指8a1、第四電極指8b1與串聯(lián)臂諧振器s2的第一電極指6a1、第二電極指6b1正交。

圖2示出了在壓電基板2上設(shè)置了第一導(dǎo)電材料層的狀態(tài)。第一導(dǎo)電材料層是設(shè)置在壓電基板2上的第二布線15、第三布線16、電容電極8以及連接布線17。使用圖5說明的串聯(lián)臂諧振器s1、s2以及并聯(lián)臂諧振器p1、p2的多個idt電極以及多個反射器也是第一導(dǎo)電材料層。在設(shè)置第一導(dǎo)電材料層時，例如通過cvd法、濺射法等對金屬膜進行成膜。接著，通過光刻法等對金屬膜進行圖案化。

如圖3所示，在電容電極8上以及第二布線、第三布線上，層疊有絕緣膜9。在本實施方式中，絕緣膜9由sio2構(gòu)成。另外，絕緣膜9也可以由sio2以外的無機氧化膜構(gòu)成，還可以由sin等無機氮化膜構(gòu)成。在形成絕緣膜9時，例如通過cvd法、濺射法等在整個面形成絕緣膜。接著，通過光刻法等對絕緣膜進行圖案化。另外，本實施方式的絕緣膜9也可以設(shè)置在第一導(dǎo)電材料層的整個面。由此，能夠使彈性波裝置1難以破損。

如圖4所示，在壓電基板2上設(shè)置有輸入端子3、輸出端子4、與接地電位連接的接地端子5以及第一布線14。第一布線14對并聯(lián)臂諧振器p1和接地端子5進行連接。第一布線14的一部分設(shè)置在絕緣膜9上。

另外，在圖4中，在壓電基板2上、絕緣膜9上以及第一導(dǎo)電材料層上設(shè)置有第二導(dǎo)電材料層。輸入端子3、輸出端子4、接地端子5以及第一布線14是設(shè)置在壓電基板2以及絕緣膜9上的第二導(dǎo)電材料層。在第一導(dǎo)電材料層中的各idt電極的各匯流條以及連接布線17上，也設(shè)置有第二導(dǎo)電材料層。由此，能夠降低電阻。

設(shè)置在絕緣膜9上的作為第一布線14的一部分的第一部分14b隔著絕緣膜9與電容電極8對置。由此，構(gòu)成了電容部18。

在設(shè)置第二導(dǎo)電材料層時，例如通過cvd法、濺射法等對金屬膜進行成膜。接著，通過光刻法等對金屬膜進行圖案化。

本實施方式的特征在于，電容電極8隔著絕緣膜9與第一布線14在厚度方向上對置。由此，能夠使彈性波裝置變得小型。以下對此進行說明。

圖6是第一比較例的彈性波裝置的簡圖式俯視圖。

在第一比較例中，第一布線74的所有部分設(shè)置在壓電基板72上。電容電極8和第一布線74配置在壓電基板72上。因此，彈性波裝置71的面積增大。

相對于此，如圖2～圖4所示，在本實施方式中，第一布線14的第一部分14b與電容電極8隔著絕緣膜9在厚度方向上相互對置。第一布線14與第二布線15、第三布線16也隔著絕緣膜9對置。由此，能夠減小第一布線14設(shè)置在壓電基板2上的面積。因此，能夠使彈性波裝置1變得小型。

另外，絕緣膜9只要至少設(shè)置在電容電極8的第三電極指8a1、第四電極指8b1上即可。

電容部18與串聯(lián)臂諧振器s2并聯(lián)地連接。電容部18具有電容電極8、設(shè)置在電容電極8上的絕緣膜9、以及隔著絕緣膜9與電容電極8對置的第一布線14。由此，在電容部18中，對電容電極8進一步附加了靜電電容。因此，能夠有效地增大對串聯(lián)臂諧振器s2附加的靜電電容。通過由該電容部18附加靜電電容，從而能夠使串聯(lián)臂諧振器s2的反諧振點向低頻側(cè)移動。因此，能夠有效地提高彈性波裝置1的通帶中的高頻側(cè)的端部附近的陡峭性。

在本實施方式中，在電容部18中，對電容電極8進一步附加了靜電電容。因此，例如在得到與第一比較例的電容部58同等的靜電電容的情況下，能夠減小本實施方式的電容電極8的面積。因此，能夠使彈性波裝置1變得更加小型。

電容電極8配置為，第三電極指8a1、第四電極指8b1與串聯(lián)臂諧振器s2的第一電極指6a1、第二電極指6b1正交。因此，在電容電極8中激勵的聲表面波的傳播方向與在串聯(lián)臂諧振器s1、s2以及并聯(lián)臂諧振器p1、p2中激勵的聲表面波的傳播方向正交。因此，在電容電極8中激勵的聲表面波與在串聯(lián)臂諧振器s1、s2以及并聯(lián)臂諧振器p1、p2中激勵的聲表面波難以發(fā)生干擾。因此，能夠有效地減小在電容電極8中激勵的聲表面波對串聯(lián)臂諧振器s1、s2以及并聯(lián)臂諧振器p1、p2的影響。

另外，電容電極只要配置為將第三電極指、第四電極指延長的線與將串聯(lián)臂諧振器以及并聯(lián)臂諧振器的第一電極指、第二電極指延長的線交叉即可。由此，也能夠減小在電容電極中激勵的聲表面波對串聯(lián)臂諧振器以及并聯(lián)臂諧振器的影響?？墒?，優(yōu)選為，像本實施方式這樣，將電容電極8配置為，電容電極8的第三匯流條8a2、第四匯流條8b2與串聯(lián)臂諧振器s2的第一匯流條6a2、第二匯流條6b2正交。

電容電極8配置在串聯(lián)臂諧振器s2的側(cè)方。由此，能夠使第一布線14延伸的方向與電容電極8的第三匯流條8a2、第四匯流條8b2延伸的方向平行。因此，能夠使第三匯流條8a2、第四匯流條8b2的長度變長。由此，能夠在不改變各第三電極指8a1與各第四電極指8b1之間的距離的情況下增加第三電極指8a1、第四電極指8b1的對數(shù)。因此，能夠增大電容電極8與第一布線14相互對置的部分的面積。因此，能夠有效地增大電容部18的靜電電容。

進而，通過使第三匯流條8a2、第四匯流條8b2的長度變長，并增加第三電極指8a1、第四電極指8b1的對數(shù)，從而能夠增大第三電極指8a1、第四電極指8b1的交叉部的面積。因此，也能夠有效地增大電容電極8的靜電電容。

也可以使電容電極8的第三匯流條8a2、第四匯流條8b2的長度變長，并增加第三電極指8a1、第四電極指8b1的對數(shù)，并且縮短第三電極指8a1、第四電極指8b1的交叉部的長度。由此，能夠在不減小電容電極8的靜電電容的情況下有效地減小電阻。進而，還能夠謀求彈性波裝置的小型化。

圖7是本發(fā)明的第二實施方式涉及的彈性波裝置的電路圖。

在彈性波裝置21中，與第一實施方式的不同點在于，在并聯(lián)臂諧振器p1并聯(lián)地連接有電容部28。在上述以外的方面，第二實施方式具有與第一實施方式同樣的結(jié)構(gòu)。

接著，使用圖8～圖10，對第二實施方式的更具體的結(jié)構(gòu)進行說明。

圖10是本實施方式涉及的彈性波裝置的簡圖式俯視圖。圖8以及圖9是示出本實施方式的彈性波裝置的制造工序的中途的階段的構(gòu)造的圖。更具體地，圖8是示出在壓電基板上設(shè)置了第一導(dǎo)電材料層的狀態(tài)的簡圖式俯視圖。圖9是示出在圖8所示的第一導(dǎo)電材料層上設(shè)置了絕緣膜的狀態(tài)的簡圖式俯視圖。

如圖10所示，在彈性波裝置21中，串聯(lián)臂諧振器s2的第二匯流條6b2與電容電極8的第四匯流條8b2未連接，第四匯流條8b2與接地端子5連接。第一布線24的一部分不僅設(shè)置在絕緣膜9上，還設(shè)置在第四匯流條8b2上。像這樣，第一布線24與第四匯流條8b2連接。電容電極8和第一布線24隔著絕緣膜9相互對置。由此，構(gòu)成了電容部28。

在此，在圖11所示的第二比較例中，第一布線84的所有部分設(shè)置在壓電基板72上。因為電容電極8和第一布線84配置在壓電基板72上，所以彈性波裝置81的面積大。

相對于此，如圖8～圖10所示，在本實施方式中，第一布線24隔著絕緣膜9與電容電極8對置，并且設(shè)置在第四匯流條8b2上。由此，能夠減小第一布線24設(shè)置在壓電基板2上的部分的面積。因此，能夠使彈性波裝置21變得小型。

如上所述，電容部28與并聯(lián)臂諧振器p1并聯(lián)地連接。電容部28具有電容電極8、設(shè)置在電容電極8上的絕緣膜9、以及隔著絕緣膜9與電容電極8對置的第一布線24。由此，在電容部28中，對電容電極8進一步附加了靜電電容。因此，能夠有效地增大對并聯(lián)臂諧振器p1附加的靜電電容。通過由該電容部28附加靜電電容，從而能夠使并聯(lián)臂諧振器p1的反諧振點向低頻側(cè)移動。因此，能夠通過調(diào)整并聯(lián)臂諧振器p1的頻率而有效地提高彈性波裝置21的通帶中的低頻側(cè)的端部附近的陡峭性。

在本實施方式中，也與第一實施方式同樣地，在電容部28中對電容電極8進一步附加了靜電電容。因此，能夠減小電容電極8的面積。因此，能夠使彈性波裝置21變得小型。

接著，使用圖12以及圖13對第三實施方式進行說明。

圖12是沿著圖4中的a-a線的彈性波裝置的剖視圖。圖13是第三實施方式涉及的彈性波裝置的配置有電容電極的部分的部分剖視圖。

如圖12所示，在第一實施方式中，絕緣膜9追隨由壓電基板2上的電容電極8的第三電極指8a1、第四電極指8b1造成的凹凸形狀。由此，絕緣膜9的上表面9a也成為凹凸形狀。如上所述，絕緣膜9由sio2構(gòu)成。

在圖13所示的第三實施方式中，絕緣膜39由聚酰亞胺構(gòu)成。另外，絕緣膜39也可以由聚酰亞胺以外的樹脂等不具有壓電性的絕緣材料構(gòu)成。除上述的方面以外，第三實施方式具有與第一實施方式同樣的結(jié)構(gòu)。

另外，在本實施方式中，絕緣膜39設(shè)置在電容電極8上，并且未設(shè)置在串聯(lián)臂諧振器上以及并聯(lián)臂諧振器上。

在第三實施方式中，因為絕緣膜39由樹脂構(gòu)成，所以絕緣膜39不追隨由壓電基板2上的電容電極8的第三電極指8a1、第四電極指8b1造成的凹凸形狀。因此，能夠使絕緣膜39的上表面39a為平坦的形狀。因此，能夠在絕緣膜39的上表面39a容易地設(shè)置第一布線14。因此，能夠有效地提高生產(chǎn)率。

與第一實施方式同樣地，在本實施方式中，也在壓電基板2上設(shè)置第一導(dǎo)電材料層，然后設(shè)置絕緣膜39。絕緣膜39例如能夠通過印刷、光刻法等進行設(shè)置。

在設(shè)置了絕緣膜39之后，與第一實施方式同樣地，設(shè)置第二導(dǎo)電材料層。另外，優(yōu)選在設(shè)置了第二導(dǎo)電材料層之后，在第一布線14上以及第一導(dǎo)電材料層上形成由sio2等構(gòu)成的保護膜。由此，能夠使彈性波裝置難以破損。

圖14是第四實施方式涉及的彈性波裝置的配置有電容電極的部分的部分剖視圖。

在第四實施方式中，與第一實施方式的不同點在于，第一布線44的整體設(shè)置在壓電基板2上，電容電極48的一部分未設(shè)置在壓電基板2上。除上述的方面以外，本實施方式具有與第一實施方式同樣的結(jié)構(gòu)。

在設(shè)置在壓電基板2上的第一布線44上，設(shè)置有由sio2等構(gòu)成的絕緣膜49。在絕緣膜49上設(shè)置有電容電極48。即，在本實施方式中，第一布線44是與各idt電極以及反射器同時設(shè)置的第一導(dǎo)電材料層。電容電極48是與輸入端子、輸出端子以及接地端子同時設(shè)置的第二導(dǎo)電材料層。作為第一布線44的一部分的第一部分44b和電容電極48隔著絕緣膜49相互對置。

通過第一布線44的第一部分44b和電容電極48隔著絕緣膜49相互對置，從而形成了電容部58。因此，能夠得到與第一實施方式同樣的效果。

因為第一布線44的上表面44a是平坦的，所以設(shè)置在第一布線44上的絕緣膜49的上表面49a也是平坦的。因此，能夠?qū)㈦娙蓦姌O48容易地設(shè)置在絕緣膜49的上表面49a。因此，能夠有效地提高生產(chǎn)率。

如圖15所示的變形例那樣，絕緣膜69也可以由聚酰亞胺、聚酰亞胺以外的樹脂等不具有壓電性的絕緣材料構(gòu)成。在該情況下，也能夠得到與第四實施方式同樣的效果。

在第一實施方式～第四實施方式中，對彈性波裝置為梯型濾波器的情況進行了說明，但是本發(fā)明中的彈性波裝置也可以是單端口型的諧振器。本發(fā)明中的彈性波裝置不限于聲表面波裝置，也可以是聲邊界波裝置。

附圖標(biāo)記說明

1：彈性波裝置；

2：壓電基板；

3：輸入端子；

4：輸出端子；

5：接地端子；

6：idt電極；

6a1、6b1：第一電極指、第二電極指；

6a2、6b2：第一匯流條、第二匯流條；

7：反射器；

8：電容電極；

8a1、8b1：第三電極指、第四電極指；

8a2、8b2：第三匯流條、第四匯流條；

9：絕緣膜；

9a：上表面；

14：第一布線；

14b：第一部分；

15：第二布線；

16：第三布線；

17：連接布線；

18：電容部；

21：彈性波裝置；

24：第一布線；

28：電容部；

39：絕緣膜；

39a：上表面；

44：第一布線；

44a：上表面；

44b：第一部分；

48：電容電極；

49：絕緣膜；

49a：上表面；

58：電容部；

69：絕緣膜；

71：彈性波裝置；

72：壓電基板；

74：第一布線；

81：彈性波裝置；

84：第一布線；

s1、s2：串聯(lián)臂諧振器；

p1、p2：并聯(lián)臂諧振器。