本發(fā)明涉及真空熱壓，具體是涉及一種ic載板真空熱壓裝置及其方法。

背景技術(shù)：

1、ic載板真空熱壓是一種用于集成電路封裝中的關(guān)鍵技術(shù)，主要用于將多層電路板或其他相關(guān)材料通過高溫高壓結(jié)合在一起，以形成具有高可靠性和良好電氣性能的集成電路封裝基板。

2、在傳統(tǒng)的ic載板熱壓工藝中，通常采用固定式的熱壓設(shè)備，通過上下加熱單元對材料進行加熱壓合。然而，這種設(shè)備在調(diào)節(jié)熱壓臺間距、適應不同尺寸的待壓材料方面存在一定的局限性，且在壓合過程中難以保持熱壓臺之間的穩(wěn)定性，容易導致壓合效果不理想。

3、此外，傳統(tǒng)設(shè)備在操作過程中，人工調(diào)節(jié)熱壓臺間距和加熱單元的位置，工作效率較低，而不調(diào)節(jié)熱壓臺與加熱單元容易使得靠近加熱單元的部分溫度較高，而遠離加熱單元的部分溫度較高，不利于ic載板壓合過程中溫度的統(tǒng)一控制。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種ic載板真空熱壓裝置及其方法，能夠自動調(diào)節(jié)加熱單元與熱壓臺間距，保障熱壓過程中溫度對ic載板待熱壓材料的穩(wěn)定性。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種ic載板真空熱壓裝置，包括密封熱壓倉，安裝在密封熱壓倉內(nèi)兩個可調(diào)節(jié)角度的熱壓臺，所述熱壓臺下方設(shè)有下加熱單元，所述熱壓臺上方設(shè)有可升降的上加熱單元；

3、位于所述熱壓臺的兩側(cè)分別設(shè)有一個立式支架，位于所述立式支架上開設(shè)有兩個與相鄰熱壓臺側(cè)邊位置相對應的移動槽，所述移動槽內(nèi)設(shè)有可水平滑動的移動輪，所述移動輪與相鄰的熱壓臺側(cè)邊之間設(shè)有第二皮帶輪，所述第二皮帶輪與熱壓臺的側(cè)邊可轉(zhuǎn)動連接，當?shù)诙л喰D(zhuǎn)時能夠帶動熱壓臺旋轉(zhuǎn)；

4、兩個所述熱壓臺位于同一平面且中間留有一定的間隙，以便于在熱壓臺上放置待熱壓材料，使得位于兩個熱壓臺的材料底部能夠在熱壓過程中相互接觸，實現(xiàn)完全熱壓效果；

5、位于所述熱壓臺上方的立式支架上設(shè)有兩個沿熱壓臺橫向軸線分布的第一皮帶輪，兩個所述第二皮帶輪分別通過傳動皮帶與位置相對應的第一皮帶輪連接，位于靠近立式支架的的一個第一皮帶輪通過安裝在立式支架上的電機帶動進行旋轉(zhuǎn)，因此當?shù)谝黄л喰D(zhuǎn)時由于相連的傳動皮帶作用下帶動兩個第二傳動輪旋轉(zhuǎn)，從而使得與其連接的兩個熱壓臺實現(xiàn)逐漸折疊，并對放置在兩個熱壓臺上的材料逐漸壓合；

6、所述上加熱單元包括設(shè)于遠離立式支架處的第一皮帶輪上的繞卷器和通過牽引繩與繞卷器連接的上電動加熱器，當?shù)谝黄л嗈D(zhuǎn)動時能夠帶動繞卷器對上電動加熱器的位置實現(xiàn)升降效果，從而在兩個熱壓臺處于相互折疊狀態(tài)下，上電動加熱器逐漸上升，從而能夠使得壓合位置始終與上電動加熱器保持較近距離，以避免上電動加熱器距壓合位置較遠導致真空熱壓效果不理想，其中一個繞卷器通過連接軸與安裝在另一個立式支架上的繞卷器連接，可以在其中一個繞卷器在電機驅(qū)動下轉(zhuǎn)動時帶動另一繞卷器同步轉(zhuǎn)動，保持兩個繞卷器始終保持同步狀態(tài)的同時，減少裝置的制造成本。

7、優(yōu)選的，兩個所述第一皮帶輪朝向立式支架的側(cè)面均設(shè)有一個調(diào)節(jié)座，所述調(diào)節(jié)座，位于最靠近立式支架的調(diào)節(jié)座與安裝在立式支架上的電機的轉(zhuǎn)軸連接，兩個所述調(diào)節(jié)座朝向第一皮帶輪的側(cè)面均設(shè)有調(diào)節(jié)單元，所述調(diào)節(jié)單元包括開設(shè)在調(diào)節(jié)座側(cè)面上多個橫向設(shè)置的槽體，所述槽體內(nèi)設(shè)有可滑動的連接座，所述連接座一側(cè)設(shè)有用于恢復連接座初始位置的復位彈簧，所述連接座與相鄰的第一皮帶輪連接，連接座在拉力作用下可帶動第一皮帶輪橫向位移以配合位于移動槽內(nèi)的移動輪的橫向位移，遠離所述立式支架的第一皮帶輪通過連接塊與繞卷器連接。

8、優(yōu)選的，位于所述移動輪的下方設(shè)有伸縮氣缸，所述所述氣缸的輸出端上設(shè)有可沿立式支架上下移動的鉸接座，所述鉸接座上向兩個移動輪分別伸出鉸接桿，當伸縮氣缸向上頂起時，鉸接座利用鉸接桿帶動移動輪在移動槽內(nèi)進行橫向位移，以調(diào)節(jié)兩個熱壓臺的間距，從而適應與不同尺寸大小的待壓材料，始終能夠使得兩個待壓材料能夠完全匹配壓合，提升壓合的精準性，同時第一皮帶輪也采用可移動式設(shè)計能夠使得在調(diào)節(jié)熱壓臺間距時不需要更換第一皮帶輪和第二皮帶輪上的傳動皮帶，從而提高本裝置的工作效率。

9、優(yōu)選的，所述立式支架上設(shè)有環(huán)形軌道，兩個所述熱壓臺對應環(huán)形軌道的側(cè)邊均設(shè)有一個電動伸縮桿，所述電動伸縮桿可滑動設(shè)于熱壓臺的側(cè)邊，所述電動伸縮桿的輸出端可伸入至環(huán)形軌道內(nèi)，沿環(huán)形軌道進行滑動，使得兩個熱壓臺在折疊過程中增加一定的穩(wěn)定性，但當需要調(diào)節(jié)兩個熱壓臺間距時，電動伸縮桿回收，同時根據(jù)調(diào)整后的熱壓臺與環(huán)形軌道位置，滑動調(diào)節(jié)電動伸縮桿的位置使其始終與環(huán)形軌道位置相對應，在調(diào)整結(jié)束后再通過電控將電動伸縮桿的輸出端伸入至環(huán)形軌道內(nèi)進行匹配滑動。

10、優(yōu)選的，所述下加熱單元包括位于所述熱壓臺的下方的支撐板，所述立式支架安裝在支撐板上，所述支撐板中心處呈開口狀，該開口位置設(shè)有呈豎直狀態(tài)設(shè)置的電動滑軌，所述電動滑軌上設(shè)有可上下滑動的滑塊，所述滑塊頂部安裝有隔熱架，所述隔熱架上設(shè)有用于對壓合進行加熱的下電動加熱器。

11、優(yōu)選的，所述熱壓臺靠近側(cè)邊的位置處均開設(shè)有滑槽，每個所述滑槽內(nèi)均設(shè)有可移動的夾具板，所述夾具板在外力推動下對放置在熱壓臺上的夾具板進行夾持。

12、優(yōu)選的，所述夾具板高度設(shè)置為2-4mm，以滿足夾具板的上水平面低于熱壓臺上待壓合材料的上水平面，避免在壓合狀態(tài)下造成待壓和材料因夾具板的影響造成不完全壓合情況。

13、優(yōu)選的，所述熱壓臺上表面開設(shè)有多個均勻分布的吸附孔，位于所述加熱臺的下方設(shè)有吸附倉，將待壓合材料放置在熱壓臺上表面時，吸附倉利用吸力將待壓合材料完全吸附在熱壓臺上，以提高壓合時的穩(wěn)定性。

14、優(yōu)選的，所述密封熱壓倉由內(nèi)部向外部延伸出一根抽氣管道，所述抽氣管道位于密封熱壓倉的外部與安裝在密封熱壓倉一側(cè)的真空泵連接，用于排出密封熱壓倉內(nèi)的氣體，以便于密封熱壓倉對ic載板待壓合材料進行真空熱壓，所述抽氣管道上設(shè)有電磁閥，用于電動控制抽氣管道的開閉狀態(tài)，提升一定的自動化效果，位于所述抽氣管道位于密封熱壓倉內(nèi)的部分向吸附倉處延伸出一根軟管與吸附倉貫通連接，從而使得吸附倉吸附待壓合材料。

15、一種ic載板真空熱壓裝置的使用方法，包括以下步驟，

16、s1、將兩個待熱壓的ic載板材料分別放置在兩個熱壓臺上，利用熱壓臺側(cè)邊的夾具板固定待熱壓材料，確保其在熱壓過程中不會移動，根據(jù)待熱壓材料的尺寸，通過伸縮氣缸調(diào)整移動輪的位置，進而改變兩個熱壓臺之間的距離，確保材料底部能夠相互接觸；

17、s2、開啟真空系統(tǒng)，通過抽氣管道和真空泵將密封熱壓倉內(nèi)的空氣抽出，形成真空環(huán)境，與此同時，抽氣管道位于密封熱壓倉內(nèi)的部分向吸附倉處延伸出一根軟管與吸附倉貫通連接，從而使得吸附倉吸附待壓合材料；

18、s3、啟動電機，帶動第一皮帶輪旋轉(zhuǎn)，通過傳動皮帶使第二皮帶輪旋轉(zhuǎn)，從而使得熱壓臺開始折疊并逐漸壓合材料，下加熱單元待移至熱壓臺底部時保持位置固定不動，上加熱單元中的第一皮帶輪轉(zhuǎn)動時能夠帶動繞卷器對上電動加熱器的位置實現(xiàn)升降效果，從而在兩個熱壓臺處于相互折疊狀態(tài)下，上電動加熱器逐漸上升，從而能夠使得壓合位置始終與上電動加熱器保持較近距離，以達到理想加熱效果；

19、s4、在兩個熱壓臺從水平位置開始折疊到ic載板材料完全貼合后，靜置3-5min，并持續(xù)對其進行加熱，從而保證兩個ic載板材料壓合的穩(wěn)定性；

20、s5、當靜置狀態(tài)完成后，停止電機和加熱單元，關(guān)閉真空系統(tǒng)，恢復熱壓臺到初始位置，取出已熱壓完成的ic載板材料。

21、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

22、1、本裝置通過兩個可調(diào)節(jié)角度的熱壓臺和上下加熱單元的協(xié)同工作，實現(xiàn)了對ic載板材料的高效、均勻加熱，有效解決了現(xiàn)有技術(shù)中加熱效率低、受熱不均的問題，這種設(shè)計使得加熱過程更加均勻，極大地提高了產(chǎn)品質(zhì)量和成品率，其次，本裝置的熱壓臺之間設(shè)有移動輪和第二皮帶輪，通過第一皮帶輪的傳動，使得熱壓臺能夠逐漸折疊并對材料進行壓合，這不僅提高了壓合的精準性，而且避免了因壓合不均造成的材料損壞，進一步提升了產(chǎn)品的良品率。

23、2、本裝置還設(shè)置了可伸縮的氣缸和電動伸縮桿，能夠根據(jù)待壓材料的尺寸調(diào)整熱壓臺間距，適應不同尺寸的壓合需求，這不僅提高了設(shè)備的適用性，也使得操作更加靈活方便。

24、3、本裝置的下加熱單元和上加熱單元均采用電動加熱器，不僅提高了加熱的效率和控溫的精確性，而且通過繞卷器和電機的協(xié)同工作，實現(xiàn)了加熱器的自動升降，確保了壓合位置始終與加熱器保持較近距離，從而避免了因加熱器距離過遠導致的熱壓效果不理想。

25、4、本裝置的夾具板設(shè)計高度為2-4mm，既保證了夾具板上水平面低于熱壓臺上待壓合材料的上水平面，避免了不完全壓合的情況，又確保了壓合過程的穩(wěn)定性。