本發(fā)明涉及集成電路板制造，尤其涉及一種新能源的集成電路芯片制造裝置及其使用方法。

背景技術(shù)：

1、集成電路板是載裝集成電路的一個(gè)載體；但往往說(shuō)集成電路板時(shí)也把集成電路帶上；集成電路板主要由硅膠構(gòu)成，所以一般呈綠色；集成電路板是采用半導(dǎo)體制作工藝，在一塊較小的單晶硅片上制作上許多晶體管及電阻器、電容器等元器件，并按照多層布線或遂道布線的方法將元器件組合成完整的電子電路。

2、經(jīng)檢索申請(qǐng)?zhí)枮椤?02011410684.4”公開(kāi)了一種系統(tǒng)級(jí)集成電路制造用烘烤裝置及其使用方法，包括烘烤箱本體，烘烤箱本體的頂部固定安裝有干燥機(jī)構(gòu)；本方案，能夠通過(guò)壓板、滑動(dòng)桿、伸縮柱、移動(dòng)塊構(gòu)成的下壓機(jī)構(gòu)將擺放好的集成電路板進(jìn)行下壓，避免集成電路板傾倒的狀況，提高了集成電路板的穩(wěn)定性，同時(shí)通過(guò)干燥機(jī)構(gòu)能夠?qū)⒑婵緯r(shí)，從集成電路板上蒸發(fā)出來(lái)的水分抽入至干燥機(jī)構(gòu)的內(nèi)腔，通過(guò)無(wú)水氯化鈣干燥棉填充塊將水分干燥后，再送入烘烤箱本體的內(nèi)腔，完成干燥，避免了烘烤后的水分積蓄在箱體內(nèi)腔的狀況，通過(guò)冷卻機(jī)構(gòu)，可以吸入外界環(huán)境中的冷空氣，對(duì)冷空氣進(jìn)行過(guò)濾和干燥后吹入箱體的內(nèi)腔，從而加速集成電路板的冷卻。

3、該技術(shù)方案在進(jìn)行使用時(shí)，其上的集成電路板在進(jìn)行烘干時(shí)，將集成電路板夾持固定在干燥機(jī)內(nèi)進(jìn)行烘干，此方式集成電路板位置固定，其上接觸到的熱風(fēng)不均勻，繼而導(dǎo)致集成電路板在烘干時(shí)效果較差，并且其上的烘干設(shè)備為固定結(jié)構(gòu)，噴灑的面積固定，容易產(chǎn)生噴灑死角，影響烘干效果。

4、為此，我們提出一種新能源的集成電路芯片制造裝置及其使用方法。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明主要是解決集成電路板烘干效果較差的技術(shù)問(wèn)題，提供一種新能源的集成電路芯片制造裝置及其使用方法。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案，一種新能源的集成電路芯片制造裝置及其使用方法，包括：

3、烘干箱本體，烘干箱本體外壁一側(cè)設(shè)置有用于控制的控制中樞；烘干箱本體內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)隔板，隔板上開(kāi)設(shè)有多個(gè)呈矩陣排列的貫穿的過(guò)濾孔，兩個(gè)隔板將烘干箱本體內(nèi)兩端和中間分隔為儲(chǔ)料腔和烘干腔，且烘干腔一側(cè)和儲(chǔ)料腔頂部合頁(yè)連接有用于控制啟閉的第一箱門和第二箱門；

4、烘干組件，烘干組件設(shè)置于烘干腔中心位置，烘干組件內(nèi)包括烘干筒、噴灑管道和噴灑頭；

5、夾持組件，夾持組件設(shè)置于烘干腔處，夾持組件內(nèi)包括用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸、轉(zhuǎn)動(dòng)盤和齒輪環(huán)，且?jiàn)A持組件內(nèi)設(shè)置有用于夾持固定的夾持部，夾持部?jī)?nèi)包括連接桿、連接板和夾持板；

6、吸水組件，吸水組件設(shè)置于儲(chǔ)料腔內(nèi)，吸水組件內(nèi)包括用于下料的下料部，下料部?jī)?nèi)包括下料板和下料通道，吸水組件內(nèi)還設(shè)置有用于清理的清理部，清理部?jī)?nèi)包括收集箱和刮板。

7、進(jìn)一步，所述烘干腔內(nèi)設(shè)置有熱流風(fēng)機(jī)，烘干筒一端固定連接于烘干腔一側(cè)內(nèi)壁中心位置并與熱流風(fēng)機(jī)相連通，且烘干筒內(nèi)開(kāi)設(shè)有多個(gè)呈圓周排列的第二轉(zhuǎn)動(dòng)孔，噴灑管道轉(zhuǎn)動(dòng)連接于第二轉(zhuǎn)動(dòng)孔內(nèi)壁，噴灑管道外壁位于烘干筒內(nèi)開(kāi)設(shè)有多個(gè)呈圓周排列的通孔，噴灑管道遠(yuǎn)離烘干筒軸線位置固定連接有噴灑頭，噴灑頭上開(kāi)設(shè)有多個(gè)呈圓周排列的噴灑孔。

8、進(jìn)一步，所述烘干腔另一側(cè)中心位置通過(guò)第一電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，烘干筒內(nèi)開(kāi)設(shè)有貫穿的第一轉(zhuǎn)動(dòng)孔，轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接于第一轉(zhuǎn)動(dòng)孔內(nèi)壁，轉(zhuǎn)動(dòng)軸另一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接于烘干筒內(nèi)壁位置，轉(zhuǎn)動(dòng)軸外壁固定連接有第一錐齒輪，噴灑管道靠近轉(zhuǎn)動(dòng)軸一端軸向位置固定連接有與第一錐齒輪相嚙合的第二錐齒輪。

9、進(jìn)一步，所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤固定連接于轉(zhuǎn)動(dòng)軸外壁一端，轉(zhuǎn)動(dòng)盤呈環(huán)形結(jié)構(gòu)，且轉(zhuǎn)動(dòng)盤上開(kāi)設(shè)有多個(gè)呈圓周排列的第三轉(zhuǎn)動(dòng)孔，連接桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接于第三轉(zhuǎn)動(dòng)孔內(nèi)壁，連接板固定連接于連接桿一端軸向位置，且齒輪環(huán)固定連接于烘干腔一側(cè)內(nèi)壁上，連接桿另一端固定連接有傳動(dòng)齒輪，傳動(dòng)齒輪嚙合于齒輪環(huán)內(nèi)壁上。

10、進(jìn)一步，所述連接板中間為中空結(jié)構(gòu)，且連接板兩側(cè)內(nèi)壁兩端均固定連接有第一固定板，同一側(cè)的兩個(gè)第一固定板相對(duì)一端均固定連接有第三復(fù)位彈簧，夾持板固定連接于第三復(fù)位彈簧另一端位置，夾持板滑動(dòng)連接于連接板內(nèi)壁上，夾持板相對(duì)一端為橡膠材質(zhì)。

11、進(jìn)一步，所述儲(chǔ)料腔內(nèi)壁頂部位置設(shè)置有下料板，下料板兩端均呈傾斜狀，且下料板底部位置設(shè)置有固定孔，下料通道固定連接于固定孔內(nèi)壁，下料通道內(nèi)設(shè)置有控制啟閉的電磁閥。

12、進(jìn)一步，所述儲(chǔ)料腔底部?jī)啥司潭ㄟB接有第一復(fù)位彈簧，第一復(fù)位彈簧頂部位置固定連接有承載板，收集箱固定連接于烘干箱本體兩側(cè)外壁上，收集箱和儲(chǔ)料腔相鄰處開(kāi)設(shè)有固定槽，固定槽設(shè)置于承載板頂部位置，固定槽內(nèi)壁合頁(yè)連接有單開(kāi)門，單開(kāi)門向收集箱處開(kāi)啟。

13、進(jìn)一步，所述承載板頂部?jī)啥司潭ㄟB接有第二固定板，兩個(gè)第二固定板相對(duì)一端均開(kāi)設(shè)有限位滑槽，限位滑槽內(nèi)壁滑動(dòng)連接有限位滑塊，且限位滑槽內(nèi)壁通過(guò)第二電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有絲桿，絲桿螺紋連接于限位滑塊內(nèi)壁，刮板兩端分別固定連接于兩個(gè)限位滑塊相對(duì)的外壁上。

14、進(jìn)一步，所述儲(chǔ)料腔底部位置固定連接有第二復(fù)位彈簧，第二復(fù)位彈簧頂部固定連接有第一觸發(fā)開(kāi)關(guān)，且儲(chǔ)料腔底部中間位置固定連接有第二觸發(fā)開(kāi)關(guān)，第一觸發(fā)開(kāi)關(guān)與電磁閥通過(guò)線路連通于同一通路中，第二觸發(fā)開(kāi)關(guān)通過(guò)線路與第二電機(jī)連通于同一通路中。

15、一種新能源的集成電路芯片制造裝置的使用方法，包括以下工作步驟：

16、第一步，開(kāi)啟第一箱門，將集成電路板夾持在連接板上的夾持板內(nèi)，進(jìn)行烘干；

17、第二步，開(kāi)啟第二箱門，將干燥劑加入儲(chǔ)料腔內(nèi)，并通過(guò)儲(chǔ)料腔上的下料通道落入底部的承載板內(nèi)，通過(guò)過(guò)濾孔處對(duì)烘干腔內(nèi)的水分吸收干燥；

18、第三步，開(kāi)啟轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的第一電機(jī)，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)盤和其上的連接桿和連接板轉(zhuǎn)動(dòng)，并通過(guò)相互嚙合的齒輪環(huán)和傳動(dòng)齒輪帶動(dòng)連接板和夾持其內(nèi)的集成電路板進(jìn)行公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)；

19、第四步，開(kāi)啟烘干筒內(nèi)的熱流風(fēng)機(jī)，熱風(fēng)即可通過(guò)通孔并經(jīng)過(guò)噴灑頭上的噴灑孔對(duì)集成電路板進(jìn)行烘干，此時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的第一錐齒輪帶動(dòng)嚙合其上的第二錐齒輪自轉(zhuǎn)，熱風(fēng)隨噴灑管道和噴灑頭轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行噴灑，對(duì)集成電路板烘干。

20、有益效果

21、本發(fā)明提供了一種新能源的集成電路芯片制造裝置及其使用方法。具備以下有益效果：

22、（1）、該一種新能源的集成電路芯片制造裝置及其使用方法，通過(guò)設(shè)置的烘干組件，噴灑頭在進(jìn)行噴灑同時(shí)通過(guò)自轉(zhuǎn)的離心力擴(kuò)大噴灑面積，避免出現(xiàn)噴灑死角，影響烘干效果。

23、（2）、該一種新能源的集成電路芯片制造裝置及其使用方法，通過(guò)設(shè)置的夾持組件，在對(duì)集成電路板烘干時(shí)，此時(shí)在連接板公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)下，帶動(dòng)集成電路板進(jìn)行公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，繼而能夠提高集成電路板各個(gè)面上受到的熱風(fēng)，提高烘干的均勻性，提高烘干效果。

24、（3）、該一種新能源的集成電路芯片制造裝置及其使用方法，通過(guò)設(shè)置的吸水組件，能夠自動(dòng)對(duì)干燥劑進(jìn)行更換，無(wú)需工作人員進(jìn)行操作，提高烘干時(shí)的便捷性。

25、（4）、該一種新能源的集成電路芯片制造裝置及其使用方法，通過(guò)設(shè)置的吸水組件，能夠及時(shí)對(duì)干燥劑進(jìn)行加入和更換，避免內(nèi)部的干燥劑過(guò)飽和，影響對(duì)烘干腔內(nèi)水蒸氣的吸收效果，進(jìn)而影響集成電路板的烘干效率。