，所述基底101為PET柔性基底。
[0134]作為示例，所述第一柔性材料層102及第二柔性材料層105為UV膠層。
[0135]另外，本實(shí)施例還可以包括兩個(gè)以上的第三線路層，形成多層互聯(lián)線路。
[0136]如上所述，本發(fā)明提供一種柔性雙面超細(xì)線條互連線路板及其制備方法，包括:基底101 ;第一柔性材料層102，形成于所述基底101的第一面，所述第一柔性材料層102表面形成有多個(gè)第一凹槽結(jié)構(gòu)103及若干個(gè)第一孔位結(jié)構(gòu)109 ;第一導(dǎo)電線路104，填充于所述多個(gè)第一凹槽結(jié)構(gòu)103及若干個(gè)第一孔位結(jié)構(gòu)109中；第二柔性材料層105，形成于所述基底101的第二面，所述第二柔性材料層105表面形成有多個(gè)第二凹槽結(jié)構(gòu)106及若干個(gè)第二孔位結(jié)構(gòu)110，其中，所述第一孔位結(jié)構(gòu)109與第二孔位結(jié)構(gòu)110的按預(yù)設(shè)精度對準(zhǔn)，所述第一孔位結(jié)構(gòu)109與第二孔位結(jié)構(gòu)110之間形成有通孔；第二導(dǎo)電線路108，填充于所述多個(gè)第二凹槽結(jié)構(gòu)106及若干個(gè)第二孔位結(jié)構(gòu)110中，并通過所述通孔與所述第一導(dǎo)電線路104電性連接，形成兩面互聯(lián)線路。本發(fā)明具有以下有益效果:
[0137]第一、能夠大大減小線寬，從而提高布線密度，減小器件面積。
[0138]第二、圖形一致性高。不同于傳統(tǒng)的曝光技術(shù)，本發(fā)明采取卷到卷微納米壓印的方法定義圖形并進(jìn)行復(fù)制。這是一種低成本，高產(chǎn)出，高穩(wěn)定性的方法，適合于大量高頻線路的制備。
[0139]第三、穩(wěn)定性高。采用該方法制備的金屬線路內(nèi)嵌于溝槽中，能夠被很好的保護(hù)，不易刮傷，斷裂，可靠性高。
[0140]第四、工藝流程簡單。利用該方法，能夠制備雙面板以及多層板，這大大提高了工藝適用性。在線路金屬化的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了孔金屬化，大大簡化了工藝流程，提高了生產(chǎn)效率。
[0141]第五、量產(chǎn)性好，成本低。導(dǎo)入卷到卷的工藝(包括卷到卷打孔，壓印，電鍍)，實(shí)現(xiàn)直通，具有很大的成本優(yōu)勢以及產(chǎn)能優(yōu)勢。
[0142]所以，本發(fā)明有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
[0143]上述實(shí)施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種柔性雙面超細(xì)線條互連線路板的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括步驟: 1)提供一基底，于所述基底的第一面形成第一柔性材料層，于所述第一柔性材料層表面形成多個(gè)第一凹槽結(jié)構(gòu)及若干個(gè)第一孔位結(jié)構(gòu)； 2)于所述基底的第二面形成第二柔性材料層，于所述第二柔性材料層表面形成多個(gè)第二凹槽結(jié)構(gòu)及若干個(gè)第二孔位結(jié)構(gòu)，其中，所述第一孔位結(jié)構(gòu)與第二孔位結(jié)構(gòu)的按預(yù)設(shè)精度對準(zhǔn)； 3)于所述第一孔位結(jié)構(gòu)與第二孔位結(jié)構(gòu)之間形成通孔； 4)于各第一凹槽結(jié)構(gòu)及第一孔位結(jié)構(gòu)內(nèi)形成第一導(dǎo)電線路，于各第二凹槽結(jié)構(gòu)、第二孔位結(jié)構(gòu)內(nèi)形成第二導(dǎo)電線路，所述第一導(dǎo)電線路及第二導(dǎo)電線路藉由所述通孔電性連接，以形成兩面互聯(lián)線路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性雙面超細(xì)線條互連線路板的制備方法，其特征在于:還包括步驟: 5)于所述兩面互聯(lián)線路的表面形成第三柔性材料層，于所述第三柔性材料層表面形成多個(gè)第三凹槽結(jié)構(gòu)及若干個(gè)第三孔位結(jié)構(gòu)，其中，所述第三孔位結(jié)構(gòu)與第一孔位結(jié)構(gòu)或第二孔位結(jié)構(gòu)按預(yù)設(shè)精度對準(zhǔn)，所述第三凹槽結(jié)構(gòu)及第三孔位結(jié)構(gòu)的深度少于所述第三柔性材料層的厚度； 6)于所述第三孔位結(jié)構(gòu)中形成通孔； 7)于各第三凹槽結(jié)構(gòu)及第三孔位結(jié)構(gòu)內(nèi)及所述通孔內(nèi)形成第三導(dǎo)電線路，以形成三層互聯(lián)線路。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性雙面超細(xì)線條互連線路板的制備方法，其特征在于:還包括步驟:重復(fù)進(jìn)行步驟5)?步驟7)，以形成多層互聯(lián)線路。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3任意一項(xiàng)所述的柔性雙面超細(xì)線條互連線路板的制備方法，其特征在于:所述第一凹槽結(jié)構(gòu)、第一孔位結(jié)構(gòu)、第二凹槽結(jié)構(gòu)及第二孔位結(jié)構(gòu)采用模具壓印的方法制備。
5.根據(jù)權(quán)利要求1?3任意一項(xiàng)所述的柔性雙面超細(xì)線條互連線路板的制備方法，其特征在于:所述多個(gè)第一凹槽結(jié)構(gòu)及第二凹槽結(jié)構(gòu)分別呈獨(dú)立分布或呈網(wǎng)絡(luò)狀互聯(lián)分布。
6.根據(jù)權(quán)利要求1?3任意一項(xiàng)所述的柔性雙面超細(xì)線條互連線路板的制備方法，其特征在于:所述第一凹槽結(jié)構(gòu)及第二凹槽結(jié)構(gòu)的深度為10微米?50微米，寬度為5微米?20微米，且截面形狀為側(cè)壁具有不大于10度脫模角的梯形結(jié)構(gòu)，所述第一孔位結(jié)構(gòu)及第二孔位結(jié)構(gòu)的深度為10微米?50微米，直徑為100微米?250微米。
7.根據(jù)權(quán)利要求1?3任意一項(xiàng)所述的柔性雙面超細(xì)線條互連線路板的制備方法，其特征在于:所述第一孔位結(jié)構(gòu)與第二孔位結(jié)構(gòu)的對準(zhǔn)精度為偏移不大于50微米。
8.根據(jù)權(quán)利要求1?3任意一項(xiàng)所述的柔性雙面超細(xì)線條互連線路板的制備方法，其特征在于:所述第一導(dǎo)電線路及第二導(dǎo)電線路采用如下方法制備: 1)于第一凹槽結(jié)構(gòu)、第一孔位結(jié)構(gòu)、第二凹槽結(jié)構(gòu)、第二孔位結(jié)構(gòu)及通孔表面形成種子層； 2)采用電鍍或化學(xué)鍍的方法于各凹槽結(jié)構(gòu)及微孔結(jié)構(gòu)內(nèi)填充導(dǎo)電材料。
9.一種柔性雙面超細(xì)線條互連線路板，其特征在于，包括: 基底; 第一柔性材料層，形成于所述基底的第一面，所述第一柔性材料層表面形成有多個(gè)第一凹槽結(jié)構(gòu)及若干個(gè)第一孔位結(jié)構(gòu)； 第一導(dǎo)電線路，填充于所述多個(gè)第一凹槽結(jié)構(gòu)及若干個(gè)第一孔位結(jié)構(gòu)中； 第二柔性材料層，形成于所述基底的第二面，所述第二柔性材料層表面形成有多個(gè)第二凹槽結(jié)構(gòu)及若干個(gè)第二孔位結(jié)構(gòu)，其中，所述第一孔位結(jié)構(gòu)與第二孔位結(jié)構(gòu)的按預(yù)設(shè)精度對準(zhǔn)，所述第一孔位結(jié)構(gòu)與第二孔位結(jié)構(gòu)之間形成有通孔； 第二導(dǎo)電線路，填充于所述多個(gè)第二凹槽結(jié)構(gòu)及若干個(gè)第二孔位結(jié)構(gòu)中，并通過所述通孔與所述第一導(dǎo)電線路電性連接，形成兩面互聯(lián)線路。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的柔性雙面超細(xì)線條互連線路板，其特征在于，還包括至少一層第三線路層，所述第三線路層包括: 第三柔性材料層，結(jié)合于所述兩面互聯(lián)線路表面，所述第三柔性材料層表面形成有多個(gè)第三凹槽結(jié)構(gòu)及若干個(gè)第三孔位結(jié)構(gòu)，其中，所述第三孔位結(jié)構(gòu)與第一孔位結(jié)構(gòu)或第二孔位結(jié)構(gòu)按預(yù)設(shè)精度對準(zhǔn)，所述第三凹槽結(jié)構(gòu)及第三孔位結(jié)構(gòu)的深度少于所述第三柔性材料層的厚度，所述第三孔位結(jié)構(gòu)中形成有通孔；以及 第三導(dǎo)電線路，填充于所述多個(gè)第三凹槽結(jié)構(gòu)及若干個(gè)第三孔位結(jié)構(gòu)中，并通過所述通孔與所述兩面互聯(lián)線路電性連接。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的柔性雙面超細(xì)線條互連線路板，其特征在于:包括兩個(gè)以上的第三線路層。
12.根據(jù)權(quán)利要求9?11任意一項(xiàng)所述的柔性雙面超細(xì)線條互連線路板，其特征在于:所述多個(gè)第一凹槽結(jié)構(gòu)及第二凹槽結(jié)構(gòu)分別呈獨(dú)立分布或呈網(wǎng)絡(luò)狀互聯(lián)分布。
13.根據(jù)權(quán)利要求9?11任意一項(xiàng)所述的柔性雙面超細(xì)線條互連線路板，其特征在于:所述第一凹槽結(jié)構(gòu)及第二凹槽結(jié)構(gòu)的深度為10微米?50微米，寬度為5微米?20微米，且截面形狀為側(cè)壁具有不大于10度脫模角的梯形結(jié)構(gòu)，所述第一孔位結(jié)構(gòu)及第二孔位結(jié)構(gòu)的深度為10微米?50微米，直徑為100微米?250微米。
14.根據(jù)權(quán)利要求9?11任意一項(xiàng)所述的柔性雙面超細(xì)線條互連線路板，其特征在于:所述第一孔位結(jié)構(gòu)與第二孔位結(jié)構(gòu)的對準(zhǔn)精度為偏移不大于50微米。
15.根據(jù)權(quán)利要求9?11所述的柔性雙面超細(xì)線條互連線路板，其特征在于:所述基底為柔性基底。
16.根據(jù)權(quán)利要求9?11所述的柔性雙面超細(xì)線條互連線路板，其特征在于:所述第一柔性材料層及第二柔性材料層為UV膠層。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種柔性雙面超細(xì)線條互連線路板及其制備方法，包括：基底；第一柔性材料層，形成有多個(gè)第一凹槽結(jié)構(gòu)及若干個(gè)第一孔位結(jié)構(gòu)；第一導(dǎo)電線路，填充于所述第一凹槽結(jié)構(gòu)及第一孔位結(jié)構(gòu)中；第二柔性材料層，形成有多個(gè)第二凹槽結(jié)構(gòu)及若干個(gè)第二孔位結(jié)構(gòu)，其中，所述第一孔位結(jié)構(gòu)與第二孔位結(jié)構(gòu)的按預(yù)設(shè)精度對準(zhǔn)，所述第一孔位結(jié)構(gòu)與第二孔位結(jié)構(gòu)之間形成有通孔；第二導(dǎo)電線路，填充于所述第二凹槽結(jié)構(gòu)第二孔位結(jié)構(gòu)中，并通過所述通孔與所述第一導(dǎo)電線路電性連接，形成兩面互聯(lián)線路。本發(fā)明能夠大大減小線寬，提高布線密度，減小器件面積，并且具有圖形一致性高、穩(wěn)定性高、工藝流程簡單、量產(chǎn)性好，成本低等優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】H05K1-11, H05K3-10, H05K1-02, H05K3-40
【公開號】CN104582313
【申請?zhí)枴緾N201410768151
【發(fā)明人】王慶軍, 徐厚嘉, 林曉輝, 楊愷
【申請人】上海藍(lán)沛新材料科技股份有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2014年12月12日