的側壁外側。由于磁芯電 感20本身的特性，使得其與現(xiàn)有技術中的空氣芯電感在相同的電感值的情況下，具有磁芯 電感20的射頻濾波器30的自諧振頻率增大，因而可W在對低頻的射頻信號濾波同時可W 對高頻的射頻信號濾波，從而可W使得具有磁芯電感20的射頻濾波器30同時對兩路或者 多路頻率相差很大的射頻信號濾波，進而可W提高該射頻濾波器30的適用性。
[0027] 當采用本實施例提供的射頻濾波器30在射頻功率源RF輸出兩路或者多路頻率相 差較大的射頻信號時，可W通過設置磁芯電感20的電感值，不僅可W對低頻的射頻信號進 行濾波，而且增大射頻濾波器30的自諧振頻率W對高頻的射頻信號進行濾波，在該種情況 下，電感元件為高頻磁芯電感20。
[0028] 容易理解，采用本實施例的射頻濾波器30同樣可W對射頻功率源RF輸出單一低 頻的射頻信號濾波，或者，可W對射頻功率源RF輸出兩路或者多路頻率相差不大的低頻信 號濾波，具體地，增大磁芯電感20的電感值即可對一路、二路或者多路的低頻信號進行濾 波，在該種情況下，電感元件為低頻磁芯電感20。
[0029] 采用本實施例的射頻濾波器30同樣可W對射頻功率源RF輸出單一高頻的射頻信 號濾波，或者，可W對射頻功率源RF輸出兩路或者多路頻率相差不大的高頻信號濾波，具 體地，減小磁芯電感20的電感值W增大射頻濾波器30的自諧振頻率，從而可實現(xiàn)對一路、 二路或者多路的高頻信號進行濾波掉，在該種情況下，電感元件為高頻磁芯電感20。
[0030] 在本實施例中，由于該濾波電路上有兩個電感元件L1和L2,為防止相鄰兩個電感 元件L1和L2之間產生的磁力線相互影響而形成禪合電容，從而影響到射頻濾波器30的濾 波，優(yōu)選地，電感元件L1和L2均采用磁芯環(huán)狀電感，磁芯環(huán)狀電感產生沿環(huán)狀磁芯21周向 的閉合的磁力線，如圖3所示，當電感線圈22中的電流I的方向如圖3所示時，該磁芯環(huán)狀 電感產生圖3中閉合且方向為順時針的磁力線L該與磁芯電感20為磁芯柱狀電感時產生 非閉合的磁力線相比，可W使得相鄰兩個電感元件L1和L2產生的磁力線不會相互影響，因 而不會產生禪合電容對該射頻濾波器30的濾波性能產生影響，從而可W提高靜電卡盤ESC 的工作的穩(wěn)定性；另外，在相同電感值的前提下，磁芯環(huán)狀電感的電感線圈22的面間距相 對磁芯柱狀電感的電感線圈的面間距較大，可W減小磁芯電感20本身的寄生電容，從而可 W減小磁芯電感20在高頻信號時的容性，進而可W提高該射頻濾波器30對高頻的射頻信 號的抑制性。
[0031] 容易理解，在實際應用中，當射頻濾波器30的濾波電路中的電感元件的數(shù)量超過 兩個時，基于上述同樣的原因，每個磁芯電感20采用磁芯環(huán)狀電感。另外，當電感元件的數(shù) 量為一個時，由于不存在相鄰的兩個電感元件之間產生的磁力線相互影響，因此，磁芯電感 20可W為磁芯環(huán)狀電感或者磁芯柱狀電感，也可W采用其他結構的磁芯電感20。
[003引在本實施例中，如圖4所示，直流電源DC輸出一路正偏壓S、一路負偏壓R和一路 基準電壓T，在該種情況下，射頻濾波器30的數(shù)量為H個，且對應設置在直流電源DC的每路 的輸出端。由于通常H個射頻濾波器30設置在一個PCB板上，該使PCB板上最少設置有H 個電感元件，為了防止各個電感元件產生的磁力線之間的相互影響，從而影響射頻濾波器 30的濾波效果，因此，每個射頻濾波器30中的電感元件均采用磁芯環(huán)狀電感。
[0033] 下面通過實驗證明采用本實施例提供的射頻濾波器30可W同時對兩路或者多路 頻率相差較大的射頻信號進行濾波。具體地，磁芯電感20選擇高頻磁芯環(huán)狀電感，并同時 對兩路頻率相差較大的射頻信號濾波，一路射頻信號的頻率為2MHz，另一路的射頻信號的 頻率為60MHz，選擇高頻磁芯環(huán)狀電感的參數(shù)如下：
[0034]
【主權項】
1. 一種射頻濾波器，用于對與靜電卡盤相連接的射頻功率源向與靜電卡盤相連接的直 流電源回流的射頻信號進行濾波，包括電感元件和電容元件，其特征在于，所述電感元件為 磁芯電感。
2. 根據(jù)權利要求1所述的射頻濾波器，其特征在于，所述磁芯電感包括磁芯環(huán)狀電感 和磁芯柱狀電感。
3. 根據(jù)權利要求2所述的射頻濾波器，其特征在于，所述電感元件的數(shù)量為兩個或者 多個時,每個所述磁芯電感為磁芯環(huán)狀電感。
4. 根據(jù)權利要求2所述的射頻濾波器，其特征在于，所述電感元件的數(shù)量為一個時，所 述磁芯電感為磁芯環(huán)狀電感或磁芯柱狀電感。
5. 根據(jù)權利要求1所述的射頻濾波器，其特征在于，當所述射頻功率源輸出單一低頻 的射頻信號時，或者，當所述射頻功率源輸出兩路或者多路頻率相差不大的低頻信號時，所 述電感元件為低頻磁芯電感。
6. 根據(jù)權利要求1所述的射頻濾波器，其特征在于，當所述射頻功率源輸出單一高頻 的射頻信號時，或者，當所述射頻功率源輸出兩路或者多路頻率相差不大的高頻信號時，所 述電感元件為高頻磁芯電感。
7. 根據(jù)權利要求1所述的射頻濾波器，其特征在于，當所述射頻功率源輸出兩路或者 多路頻率相差較大的射頻信號時，所述電感元件為高頻磁芯電感。
8. 根據(jù)權利要求1所述的射頻濾波器，其特征在于，所述直流電源輸出一路正偏壓、一 路負偏壓和一路基準電壓，所述射頻濾波器的數(shù)量為三個，且對應設置在所述直流電源的 每路的輸出端。
9. 根據(jù)權利要求8所述的射頻濾波器，其特征在于，每個所述射頻濾波器中的所述電 感元件為磁芯環(huán)狀電感。
10. -種半導體加工設備，包括靜電卡盤、射頻功率源、直流電源和射頻濾波器，所述靜 電卡盤分別與所述射頻功率源、所述直流電源電連接，所述射頻濾波器用于對所述射頻功 率源向所述直流電源回流的射頻信號進行濾波，其特征在于，所述射頻濾波器采用權利要 求1-9任意一項所述的射頻濾波器。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種射頻濾波器及半導體加工設備，射頻濾波器用于對與靜電卡盤相連接的射頻功率源向與靜電卡盤相連接的直流電源回流的射頻信號進行濾波，包括電感元件和電容元件，電感元件為磁芯電感。本發(fā)明提供的射頻濾波器，其可以在對低頻的射頻信號濾波同時可以對高頻的射頻信號濾波，從而可以同時對兩路或者多路頻率相差很大的射頻信號濾波，進而可以提高射頻濾波器的適用性。
【IPC分類】H03H3-02, H03H7-00
【公開號】CN104753486
【申請?zhí)枴緾N201310752343
【發(fā)明人】張超, 陳鵬, 師帥濤
【申請人】北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2013年12月31日