移載方法、保持裝置及移載系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及移載方法、保持裝置及移載系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在向處理裝置等輸送基板時(shí)，如柔性基板的那樣比較薄的基板存在產(chǎn)生翹度的情況，存在其輸送困難的情況。因此，在由載體保持了基板的狀態(tài)下向輸送目的地輸送的方案已被提出。在此情況下，需要從載體僅將基板取出向處理裝置等移載的結(jié)構(gòu)。在日本特開2010-272650號公報(bào)中，公開了一種將基板的罩卸下并由銷頂起基板而取出的裝置。
[0003]在日本特開2010-272650號公報(bào)的裝置中，需要去掉罩進(jìn)行移動的工序和取出基板進(jìn)行移動的工序的2個(gè)工序，在基板的移載的效率的方面存在改善的余地。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]發(fā)明所要解決的課題
[0005]本發(fā)明的目的，在于提高基板的移載效率。
[0006]為了解決課題的手段
[0007]根據(jù)本發(fā)明，提供一種移載方法，是從具備載置基板的載置部和緊貼地重疊在上述載置部上面上的罩的載體，移載被保持在上述載置部和上述罩之間的上述基板的移載方法，其特征在于，包含:由保持裝置保持上述載置部上的上述基板及上述罩的保持工序；和通過移動上述保持裝置，從載置部向移載目的地移動上述基板及上述罩的移動工序，在上述保持工序中，以上述罩和上述基板平行的姿勢，由上述保持裝置的罩保持單元保持上述罩，由上述保持裝置的基板保持單元保持上述基板。
[0008]另外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種保持裝置，是從具備載置基板的載置部和緊貼地重疊在上述載置部上面上的罩的載體，保持被保持在上述載置部和上述罩之間的上述基板和上述罩的裝置，其特征在于，具備:保持上述罩的罩保持單元；保持上述基板的基板保持單元；和對上述罩保持單元及上述基板保持單元進(jìn)行支承的支承單元，上述支承單元，以上述罩保持單元在與上述載體接近或離開的方向可位移的方式支承上述罩保持單元。
[0009]另外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種移載系統(tǒng)，是從具備載置基板的載置部和緊貼地重疊在上述載置部上面上的罩的載體，移載被保持在上述載置部和上述罩之間的上述基板的移載系統(tǒng)，其特征在于，具備:將上述載體的上述載置部定位而保持的定位單元；將上述罩從被保持在上述定位單元上的上述載體的上述載置部分離的分離單元；上述保持裝置；和移動上述保持裝置的移動裝置。
[0010]本發(fā)明的更多的特征將從下述的具體的實(shí)施方式(同時(shí)參照附圖)的描述中明確。
【附圖說明】
[0011]圖1是適用了本發(fā)明的一實(shí)施方式的移載系統(tǒng)的基板處理設(shè)備的概要圖。
[0012]圖2是圖1的移載系統(tǒng)的概要圖。
[0013]圖3是圖1的移載系統(tǒng)具備的載體處理裝置的概要圖。
[0014]圖4A及圖4B是圖1的移載系統(tǒng)具備的保持裝置的概要圖。
[0015]圖5A及圖5B是罩保持單元的概要圖。
[0016]圖6A及圖6B是基板保持單元的概要圖。
[0017]圖7是控制單元的框圖。
[0018]圖8A及圖8B是圖1的移載系統(tǒng)的動作說明圖。
[0019]圖9A及圖9B是圖1的移載系統(tǒng)的動作說明圖。
[0020]圖1OA及圖1OB是圖1的移載系統(tǒng)的動作說明圖。
[0021]圖1lA及圖1lB是圖1的移載系統(tǒng)的動作說明圖。
[0022]圖12是圖1的移載系統(tǒng)的動作說明圖。
[0023]圖13A及圖13B是圖1的移載系統(tǒng)的動作說明圖。
[0024]圖14是另一例的保持裝置的概要圖。
[0025]圖15A及圖15B是另一例的保持裝置的基板保持單元的概要圖。
[0026]圖16A及圖16B是另一例的保持裝置的動作說明圖。
[0027]圖17A及圖17B是另一例的保持裝置的動作說明圖。
[0028]圖18是另一例的保持裝置的動作說明圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]為了實(shí)施發(fā)明的方式
[0030]<第一實(shí)施方式>
[0031]下面，對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。在各圖中，箭頭Y表示上下方向，箭頭X及Z表示相互正交的水平方向。
[0032]<基板處理設(shè)備>
[0033]圖1是適用了本發(fā)明的一實(shí)施方式的移載系統(tǒng)I的基板處理設(shè)備A的概要圖?；逄幚碓O(shè)備A，具備移載系統(tǒng)1、容納裝置2、處理裝置3和處理裝置4。
[0034]容納裝置2可容納多個(gè)后述的載體5。載體5是用于保持基板的器具?；?，例如可舉出以FPC (柔性印刷基板)為代表的具有可撓性的薄膜狀基板，或者，具有可撓性的膜體，具有可撓性的片材體及具有可撓性的箔體等。在容納裝置2中，能容納保持了基板W的載體5或者取出了基板W的空的載體5。容納裝置2，是進(jìn)行載體5的相對于移載系統(tǒng)I的供給和來自移載系統(tǒng)I的載體5的回收的裝置。
[0035]處理裝置3例如是進(jìn)行被涂覆了的焊錫的加熱處理(回流)的裝置，處理裝置4例如是進(jìn)行冷卻、清洗處理的裝置。移載系統(tǒng)1，具備用于從處理裝置3輸入保持基板W的載體5的輸送裝置10。而且，從載體5取出基板W，將取出了的基板向處理裝置4輸送。取出了基板W的空的載體5向容納裝置2輸送。
[0036]<移載系統(tǒng)>
[0037]圖2是移載系統(tǒng)I的概要圖。移載系統(tǒng)1，具備輸送裝置10、載體處理裝置11、輸送裝置12、保持裝置13和移動裝置14。輸送裝置10、載體處理裝置11、輸送裝置12及移動裝置14的支承構(gòu)造及配置，不被特別地限定，但在本實(shí)施方式中，在具有基底部的架臺上，配置輸送裝置10、載體處理裝置11、輸送裝置12和移動裝置14。輸送裝置10及輸送裝置12，以各自的輸送方向成為平行的方式且在與輸送方向正交的方向離開地配置。另外，載體處理裝置11被配置在輸送裝置10和輸送裝置12之間。移動裝置14，在輸送裝置10、載體處理裝置11及輸送裝置12之間可移動地配置保持裝置13。
[0038]輸送裝置10，例如，具備在成為輸送方向的X方向延伸的皮帶式輸送機(jī)機(jī)構(gòu)，保持水平姿勢不變地輸送載置在了未圖示的皮帶上的載體5。在該圖的例子中，表示載體5被搭載在輸送裝置10上的狀態(tài)。輸送裝置10進(jìn)行來自處理裝置3的載體5的輸入和載體5向容納裝置2的輸出。在來自處理裝置3的載體5上保持了基板W。向容納裝置2輸出取出了基板W之后的空的載體5。
[0039]載體5具備載置基板W的載置部50和緊貼地重疊在載置部50的上面上的罩51。載置部50和罩51都是板狀的構(gòu)件，在本實(shí)施方式中構(gòu)成了方形狀。載置部50和罩51，在此，由磁力相互吸附(連結(jié))。在此情況下，例如，在載置部50設(shè)置永久磁鐵，罩51能做成粘在磁鐵上的金屬材料。作為載置部50和罩51的緊貼連結(jié)，除了由磁力產(chǎn)生的吸附以外，也可以由夾緊構(gòu)件等物理性地夾著。
[0040]基板W被夾著地保持在載置部50和罩51之間。罩51具有多個(gè)切口 51a、開口部51b和定位用的孔51c。切口 51a被形成在罩51的4角附近，是為了防止當(dāng)后述的載體處理裝置11保持載置部50時(shí)與罩51干涉而被形成的。開口部51b，形成基板W和罩51不重疊的露出部。本實(shí)施方式的情況下，在罩51的中央形成了開口部51b，但開口部51b的部位無論在何處都可以，另外，也可以代替開口部51b地做成切口。進(jìn)而，也可以將罩51的尺寸做得比基板W小，使得基板W在罩51的周緣外方露出?？?1c是設(shè)置在罩51的四角的貫通孔。在載置部50的四角，在與孔51c重疊的位置形成了孔50a(在圖3中圖示)。
[0041]輸送裝置12，進(jìn)行基板W向處理裝置4的輸出。輸送裝置12，例如，具備在X方向延伸的皮帶式輸送機(jī)機(jī)構(gòu)，將直接載置在了未圖示的皮帶上的基板W保持水平姿勢不變地輸送。
[0042]在輸送裝置10和輸送裝置12之間，設(shè)置了載體處理裝置11。參照圖2及圖3對載體處理裝置11進(jìn)行說明。圖3是載體處理裝置11的概要圖。載體處理裝置11具備定位單元I1和分離單元111。圖3表示載置部50被保持在定位單元110上的狀態(tài)。
[0043]定位單元110是定位地保持載體5的單元，在本實(shí)施方式的情況下，把持載置部50地進(jìn)行其定位。定位單元110，具備基底構(gòu)件1100、多個(gè)載置銷1101、多個(gè)動作執(zhí)行器1102和多個(gè)定位構(gòu)件1103。
[0044]基底構(gòu)件1100是板狀的構(gòu)件，搭載了上述的各結(jié)構(gòu)。在基底構(gòu)件1100的中央部，形成了后述的分離單元111的銷支承工作臺1113、抵接構(gòu)件1114可通過的開口部。抵接構(gòu)件1114在本實(shí)施方式中是銷。因此，存在將抵接構(gòu)件1114稱為銷1114的情況。
[0045]載置銷1101被直立設(shè)置在基底構(gòu)件1100上，設(shè)置了將前端部形成為圓錐狀的導(dǎo)向部IlOla和支承載置部50的下面的支承面1101b，在本實(shí)施方式的情況下，設(shè)置了 2個(gè)部位。在載置部50的下面上形成了游動嵌合載置銷1101的孔，載置部50在被導(dǎo)向的同時(shí)被支承并搭載在設(shè)置在載置銷1101上的支承面上。
[0046]動作執(zhí)行器1102，例如，是電動缸，使定位構(gòu)件1103在Z方向往返移動。在本實(shí)施方式的情況下，相對于一個(gè)定位構(gòu)件1103分配了一個(gè)動作執(zhí)行器1102。
[0047]定位構(gòu)件1103構(gòu)成了設(shè)置垂直部及水平部的L字