狀設(shè)置。此外，就其他的實(shí)施方式，例如間隔壁3于顯示區(qū)域30內(nèi)以條紋狀設(shè)置。
[0067]有機(jī)EL元件4分別設(shè)于由格子狀的間隔壁3所包圍的區(qū)域。
[0068]基板2上設(shè)定有以間隔壁3與基板2所規(guī)定的多個(gè)凹部5。于多個(gè)凹部5分別設(shè)有多個(gè)有機(jī)EL元件4。
[0069]由于本實(shí)施方式的間隔壁3以格子狀設(shè)置，故從基板2的厚度方向Z的一方觀察時(shí)(以下，有時(shí)稱為「俯視觀察」)，多個(gè)凹部5以矩陣狀地配置。即多個(gè)凹部5于行方向X以預(yù)定間隔排列的方式設(shè)置的同時(shí)于列方向Y亦以預(yù)定間隔排列的方式設(shè)置。多個(gè)凹部5各自的俯視觀察的形狀并無特別限定。例如凹部5于俯視觀察可以近似矩形狀或近似楕圓形狀地形成。本實(shí)施方式設(shè)有于俯視觀察為近似矩形狀的多個(gè)凹部5。此外本說明書中「行方向X」以及「列方向Y」為與基板的厚度方向Z垂直的方向，且互相垂直。
[0070]此外，作為其他實(shí)施方式而設(shè)有條紋狀間隔壁3時(shí)，關(guān)于間隔壁3，例如在行方向X延伸的多條間隔壁構(gòu)件于列方向Y以預(yù)定的間隔排列的方式配置。于此形態(tài)，通過條紋狀的間隔壁3與基板2規(guī)定條紋狀的凹部5。
[0071]如第3圖所示，間隔壁3的基板2側(cè)的端部3a，于顯示區(qū)域30內(nèi)，在以在間隔壁3的厚度方向延伸的平面切斷包含由間隔壁3所規(guī)定的凹部5的區(qū)域時(shí)，以規(guī)定凹部5的間隔壁3的側(cè)面與間隔壁3的底面所成的角Θ1為鈍角的方式形成。端部3a例如設(shè)為將在列方向Y延伸的間隔壁3以與其延伸的方向(列方向Y)垂直的平面切斷時(shí)的剖面的寬度隨著從基板2遠(yuǎn)離而變大的形式。
[0072]于顯示區(qū)域30，間隔壁3的側(cè)面與基板2的表面(間隔壁3的底面)所成的角度Θ 1，即間隔壁3的側(cè)面的傾斜角Θ1為95°至170°左右，優(yōu)選為100°至120°。此外該間隔壁3的側(cè)面的傾斜角0 1為0°至90°的間隔壁3被稱為所謂的順錐形形狀的間隔壁，而間隔壁3的側(cè)面的傾斜角θ 1為90°至180°的間隔壁3被稱為所謂的倒錐形形狀的間隔壁。即，本實(shí)施方式的顯示區(qū)域30設(shè)有倒錐形形狀的間隔壁3。
[0073]此外，間隔壁3的與基板2側(cè)相反一側(cè)的端部3b，優(yōu)選于顯示區(qū)域30，以間隔壁3的側(cè)面與間隔壁3的底面所成的角系銳角的方式所形成。即間隔壁3從基板2側(cè)的端部3a至與基板2側(cè)相反一側(cè)的端部3b為止，并非一貫地以倒錐形形狀形成，基板2側(cè)的端部3a以倒錐形形狀形成，而與基板2側(cè)相反一側(cè)的端部3b則以正錐形形狀形成者優(yōu)選。由如此的形狀可更有效地防止于間隔壁3與有機(jī)EL層7、9的邊界區(qū)域的第2電極10的斷線。
[0074]有機(jī)EL元件4設(shè)于由間隔壁3與基板2所區(qū)劃的區(qū)間(即凹部5)。如本實(shí)施方式般設(shè)有格子狀間隔壁3時(shí)，多個(gè)有機(jī)EL元件4分別設(shè)于多個(gè)凹部5。即有機(jī)EL元件4與各凹部5同樣地以矩陣狀配置，于基板2上，在行方向X以預(yù)定的間隔排列，且于列方向Y亦以預(yù)定的間隔排列的方式設(shè)置。
[0075]此外，作為其他的實(shí)施方式而設(shè)有條紋狀間隔壁時(shí)，有機(jī)EL元件4于在行方向X延伸的各凹部5，在行方向X分別以預(yù)定的間隔排列的方式配置。
[0076]本實(shí)施方式設(shè)有3種發(fā)光色的有機(jī)EL元件4。即設(shè)有(1)射出紅色光的紅色有機(jī)EL元件4R、⑵射出綠色光的綠色有機(jī)EL元件4G、以及(3)射出藍(lán)色光的藍(lán)色有機(jī)EL元件4B。
[0077]如第2圖所示，這些3種有機(jī)EL元件4 (紅色有機(jī)EL元件4R、綠色有機(jī)EL元件4G、藍(lán)色有機(jī)EL元件4B)例如將下述的行⑴、行(II)、行(III)，于列方向Y以此順序重復(fù)配置，從而以分別排列紅色有機(jī)EL元件4R、綠色有機(jī)EL元件4G、藍(lán)色有機(jī)EL元件4B的方式配置。
[0078](I)紅色有機(jī)EL元件4R為于行方向X分別以預(yù)定的間隔排列的方式配置的行。
[0079](II)綠色有機(jī)EL元件4G為于行方向X分別以預(yù)定的間隔排列的方式配置的行。
[0080](III)藍(lán)色有機(jī)EL元件4B為于行方向X分別以預(yù)定的間隔排列的方式配置的行。
[0081]此外，作為其他的實(shí)施方式，除了上述3種有機(jī)EL元件4外，例如亦可進(jìn)一步設(shè)有射出白色光的有機(jī)EL元件。此外，亦可僅設(shè)有1種有機(jī)EL元件4，從而實(shí)現(xiàn)單色顯示裝置。
[0082]有機(jī)EL元件4具有:第1電極6、較該第1電極6從所述基板2遠(yuǎn)離而設(shè)置的第2電極10、以及設(shè)于所述第1電極6與所述第2電極10之間的1層或多層有機(jī)EL層。本說明書中設(shè)于第1電極6與第2電極10之間的1層或多層系分別稱為有機(jī)EL層。有機(jī)EL元件4具有作為有機(jī)EL層的至少1層發(fā)光層。此外，有機(jī)EL元件4除了 1層發(fā)光層外，有時(shí)視需要而進(jìn)一步具備與發(fā)光層相異的有機(jī)EL層。例如在第1電極6與第2電極10之間，可設(shè)有作為有機(jī)EL層的空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層、電子傳輸層、以及電子注入層等。此外在第1電極6與第2電極10之間有時(shí)設(shè)有2層以上發(fā)光層。
[0083]有機(jī)EL元件4具備第1電極6與第2電極10作為包含陽極及陰極的一對(duì)電極。第1電極6以及第2電極10中的一個(gè)電極設(shè)為陽極，另一電極則設(shè)為陰極。
[0084]本實(shí)施方式中，作為有機(jī)EL元件的例子，就將發(fā)揮陽極功能的第1電極6、發(fā)揮空穴注入層功能的第1有機(jī)EL層7、發(fā)揮發(fā)光層功能的第2有機(jī)EL層9、發(fā)揮陰極功能的第2電極10以此順序于基板2上層疊所構(gòu)成的有機(jī)EL元件4予以說明。
[0085]本實(shí)施方式設(shè)有3種有機(jī)EL元件，但這些分別與作為發(fā)光層的第2有機(jī)EL層9的構(gòu)成相異。紅色有機(jī)EL元件4R具備放射紅色光的紅色發(fā)光層9R，綠色有機(jī)EL元件4G具備放射綠色光的綠色發(fā)光層9G，藍(lán)色有機(jī)EL元件4B具備放射藍(lán)色光的藍(lán)色發(fā)光層9B。
[0086]本實(shí)施方式的第1電極6于每個(gè)有機(jī)EL元件4設(shè)置。即在基板2上設(shè)有與有機(jī)EL元件4同數(shù)量的多個(gè)第1電極6。第1電極6對(duì)應(yīng)有機(jī)EL元件4的配置而設(shè)置，于俯視觀察以與第1有機(jī)EL層7、第2有機(jī)EL層9重合方式的矩陣狀配置。此外本實(shí)施方式的間隔壁3，主要在第1電極6以外的區(qū)域以格子狀形成，但可進(jìn)一步以覆蓋第1電極6周緣部的方式，即以露出一部分第1電極6的方式設(shè)置。
[0087]相當(dāng)于空穴注入層的第1有機(jī)EL層7分別設(shè)于凹部5中的多個(gè)第1電極6上。該第1有機(jī)EL層7視需要，隨著每個(gè)有機(jī)EL元件4的種類(發(fā)光色)設(shè)有不同的材料或厚度。此外，從第1有機(jī)EL層7的形成步驟的簡便度的觀點(diǎn)，亦可以相同的材料、相同的厚度形成全部的第1有機(jī)EL層7。
[0088]發(fā)揮發(fā)光層功能的第2有機(jī)EL層9設(shè)于凹部5中的第1有機(jī)EL層7上。如上述般發(fā)光層對(duì)應(yīng)有機(jī)EL元件的種類而設(shè)置。因此紅色發(fā)光層9R設(shè)于設(shè)有紅色有機(jī)EL元件4R的凹部5，綠色發(fā)光層9G設(shè)于設(shè)有綠色有機(jī)EL元件4G的凹部5，藍(lán)色發(fā)光層9B設(shè)于設(shè)有藍(lán)色有機(jī)EL元件4B的凹部5。
[0089]第2電極10以覆蓋整面的設(shè)有有機(jī)EL元件4的顯示區(qū)域的方式所形成。即第2電極10不僅設(shè)于第2有機(jī)EL層9上，亦設(shè)于間隔壁3上，橫跨多個(gè)有機(jī)EL元件4、即多個(gè)凹部5而一體地連續(xù)地設(shè)置。
[0090]如第3圖所示，第2電極10的基板2側(cè)的面，優(yōu)選隨著從有機(jī)EL元件4的中央部C到靠近間隔壁3，而從基板2遠(yuǎn)離。換言之，由與第2電極10相接的有機(jī)EL層9以及間隔壁3所構(gòu)成的面(界面)，優(yōu)選隨著從有機(jī)EL元件4的俯視觀察的中央部C到靠近間隔壁3，而慢慢地從基板2遠(yuǎn)離。通過使由與第2電極10相接的有機(jī)EL層9以及間隔壁3所構(gòu)成的面有如此構(gòu)成，可有效地防止第2電極10在有機(jī)EL層9與間隔壁3的界面附近斷線。
[0091]以上實(shí)施方式的間隔壁3覆蓋第1電極6的周緣部，與基板2相接而設(shè)置，但作為其他的實(shí)施方式，可在間隔壁3與基板2之間進(jìn)一步設(shè)有絕緣膜。絕緣膜例如可與間隔壁同樣地于俯視觀察格子狀地設(shè)置，且以覆蓋第1電極6的周緣部的方式設(shè)置。如此的絕緣膜優(yōu)選為以顯示出比間隔壁3更具親液性的材料所形成。
[0092]如第1圖所示，本實(shí)施方式的接觸區(qū)域31以在與顯示區(qū)域30的行方向X的一側(cè)(在第1圖為左側(cè))遠(yuǎn)離的位置，在列方向Y延伸而設(shè)置。此外接觸區(qū)域于本說明書指設(shè)有接觸孔以及埋入接觸孔的接觸導(dǎo)體的區(qū)域。進(jìn)一步地，于本實(shí)施方式，接觸區(qū)域31以在與顯示區(qū)域30的行方向X的另一側(cè)(在第1圖為右側(cè))遠(yuǎn)離的位置，在列方向Y延伸而設(shè)置。
[0093]如第4圖所示，形成有所述接觸孔的區(qū)域(接觸區(qū)域31)在間隔壁3的基板2側(cè)的端部(在第4圖為下端部)，以在間隔壁3的厚度方向延伸的平面切斷含有接觸區(qū)域31的區(qū)域時(shí)，規(guī)定接觸孔的間隔壁3的側(cè)面與間隔壁3的底面所成的角Θ2設(shè)為銳角。即于本實(shí)施方式，形成有接觸孔的區(qū)域設(shè)有順錐形形狀的間隔壁3。Θ2為5°至85°左右，優(yōu)選為20。至60。左右。
[0094]在接觸區(qū)域31，于間隔壁3中于與接觸孔相當(dāng)?shù)膮^(qū)域形成有貫通孔，從該貫通孔露出一部分電極布線20。于本實(shí)施方式，該貫通孔以在列方向Y延伸的方式形成。
[0095]此外，于基板2上在與貫通孔的基板2側(cè)的端部(在第4圖為下端)相接的位置設(shè)有與外部電源連接的電極布線20。進(jìn)一步地，以埋入間隔壁3上以及接觸孔內(nèi)的方式，設(shè)有與第2電極10 —體構(gòu)成的導(dǎo)電體膜。于該導(dǎo)電體膜，于間隔壁3上自顯示區(qū)域31延伸至接觸孔的部位稱為連接部23，而埋入接觸孔的部位稱為接觸導(dǎo)體22。
[0096]如此將第2電極10、連接部23以及接觸導(dǎo)體22 —體設(shè)置，且接觸導(dǎo)體22與電極布線20連接。結(jié)果使第2電極10通過這些連接部23、接觸導(dǎo)體22、電極布線20與外部電源連接。
[0097]以下，一邊參照第5A圖至第8B圖一邊說明顯示裝置的制造方法。
[0098]第5A圖至第8B圖為用以說明顯示裝置的制造方法所示的形成過程中的顯示裝置的概略剖面圖。此外第5A圖至第6C圖表示第3圖所示區(qū)域(顯示區(qū)域30)，第7A圖至第8B圖表示對(duì)應(yīng)第4圖的區(qū)域(接觸區(qū)域31)。
[0099](準(zhǔn)備基板的步驟)
[0100]于本步驟，在基板2上形成第1電極6與電極布線20 (參照第5A圖以及第7A圖)。此外，本步驟中亦可通過從市場取得設(shè)有第1電極6以及電極布線20的基板來準(zhǔn)備形成有第1電極6以及電極布線20的基板2 (以下，有時(shí)將形成有電極布線20等預(yù)定構(gòu)造的基板2，單純稱為基板2)。
[0101]顯示裝置為主動(dòng)型矩陣型時(shí)，可使用預(yù)先形成有用以分別驅(qū)動(dòng)多個(gè)有機(jī)EL元件的電路的基板作為本實(shí)施方式的基板2。例如可使用預(yù)先形成有TFT(Thin FilmTransistor)以及電容器等的基板作為基板2。
[0102]首先，于基板2上呈矩陣狀形成多個(gè)第1電極6，同時(shí)于預(yù)定的部位形成電極布線20。第1電極6通過例如于基板2上的一面形成導(dǎo)電性薄膜，該薄膜通過使用以光蝕刻法形成的圖案的導(dǎo)電性薄膜的圖案化步驟將導(dǎo)電性薄膜矩陣狀地圖案化而形成。此外，例如亦可在基板2上配置于預(yù)定部位形成有開口的掩模，透過該掩模于基板2上的預(yù)定部位選