]在圖5E中示出最終的安放結(jié)果,其中器件2在此透明地示出。
[0081]在圖6A至6F中描述了安放方法的一個實施方式,所述實施方式與圖5中的實施方式的區(qū)別在于:在此使用更大的器件2。這意味著,攝像設(shè)備31不能從一個位置拍攝器件2的圖像33。此外,器件2在此在“朝上(face-up) ”的取向中安放在襯底1上,也就是說,器件上側(cè)朝向襯底1的上側(cè)定向。由此,不僅襯底1的而且器件2的所有的單個圖像由唯一的攝像設(shè)備31拍攝,但是這不是強制性必須的。
[0082]在圖6A中,攝像設(shè)備31從第一位置拍攝器件2的第一圖像33。
[0083]在圖6B中示出,攝像設(shè)備和/或器件行進為,使得攝像設(shè)備31拍攝器件2的另一個部位的第二圖像34。應(yīng)注意的是,在這種情況下,器件2的第二圖像34與第一圖像33不同,這不必總是這種情況。
[0084]因為器件2較大,所以襯底1上的安放位置也較大。
[0085]在圖6C中由攝像設(shè)備31從第一位置處進行襯底位置的第一拍攝。該圖像與之前從器件2處拍攝的第一圖像33的疊加在輸出數(shù)據(jù)集40中產(chǎn)生第一疊加圖像41。
[0086]在圖6D中隨后重復在第二襯底位置處的這種過程。在此,在輸出數(shù)據(jù)集40中產(chǎn)生第二疊加圖像42。該過程能夠在任意多個其它的攝像位置處重復。
[0087]由疊加的圖像41、42和可能的其它圖像組成的輸出數(shù)據(jù)集40能夠向設(shè)施操作員顯示,其中提供用于示出輸出數(shù)據(jù)集的整體視圖或令人感興趣的部分片斷的適當?shù)墓ぞ?類似于圖3的描述)。此外,在此,一些或者所有被拍攝的圖像33、34等也能夠通過校正機構(gòu)81、82來校正。
[0088]緊接著(圖6E),接近最終的安放位置,并且安放單元10將器件2安放在襯底1上。
[0089]在圖6F中示出最終的安放結(jié)果。
[0090]圖7示出安放設(shè)備與位置評估設(shè)備50的一個實施方式,所述位置評估設(shè)備具有用于顯示輸出數(shù)據(jù)集40中的圖形對象的機構(gòu)。對此,在安放配合件的圖像中合成地產(chǎn)生相應(yīng)的對象并且通過特定參數(shù)來描述。有利的合成產(chǎn)生的幾何形狀尤其是圓形、環(huán)形、直線和十字形,進行描述的參數(shù)尤其是大小、位置和顏色。為了使圖形對象與圖像內(nèi)容適當?shù)仃P(guān)聯(lián),重要的是,將這些圖形對象單獨地或者作為整體圖形相對于圖像內(nèi)容定向。對此,安放設(shè)備100提供如下可能性:通過設(shè)施操作員實行定向,例如通過在所顯示的圖像35’、33’中移動圖形的方式。替選地,圖形的自動定向能夠通過應(yīng)用圖像識別系統(tǒng)的結(jié)果來實現(xiàn)。所添加的圖形對象在此也能夠在輸入圖像35’、33’外部成像。在這種情況下圖像以所需要的范圍擴展。
[0091]在圖像中使用圖形對象是一種指出安放配合件1、2的特定位置、例如器件2的接觸中心點或者襯底1上的安放位置的中心位置的可能性。特別地,在圖像內(nèi)容不包含關(guān)于相應(yīng)的安放配合件的重要的圖像部位的信息或者不包含關(guān)于相應(yīng)的安放配合件的重要的圖像部位的可充分識別的信息的情況下,圖形對象能夠補償圖像信息的這種缺失。用于附加地示出輸出數(shù)據(jù)集40中的圖形對象的應(yīng)用,由此擴展用于評估輸出數(shù)據(jù)集40的可能性,因為除了圖像內(nèi)容以外,圖形對象也能夠相對于圖像內(nèi)容被評價和/或圖形對象相互間被評價。
[0092]應(yīng)注意的是,合成對象對于這兩個安裝配合件而言不必是強制性產(chǎn)生的。通常,所述合成對象僅對于安裝配合件是有益的。
[0093]圖8A至8F包含安放方法的一個實施方式,所述實施方式強制性地需要在圖7中所描述的圖形對象,以便能夠事先以適當?shù)寞B加圖像41、42的形式向機器操作員示出所期望的安放結(jié)果。
[0094]在圖8中描述了安放方法的類似于圖6的一個實施方式,然而其中不遮蓋拍攝器件和襯底的單個圖像的相關(guān)的位置。因此,器件和襯底的圖像也絕不能夠直接疊加,而是附加地需要產(chǎn)生和應(yīng)用圖形對象。
[0095]在圖8A和8B中,攝像設(shè)備31,如在圖6A和6B中所示出的那樣,拍攝器件2的第一圖像33和第二圖像34。
[0096]在圖8C中,由攝像設(shè)備31 (從第一位置處)進行襯底位置的第一拍攝。
[0097]然而,對于該位置不提供從器件處拍攝的圖像,因為器件(如在附圖中那樣)對此而言是過小的或者因為所述器件在互補的位置處不具有可用于識別的結(jié)構(gòu)。因此,基于從器件2處拍攝的圖像以及其它的參數(shù)合成地產(chǎn)生用于所需要的襯底位置的圖形對象,其中器件2的圖像在其延展方面擴展。
[0098]器件2的在圖像的大小方面擴展的并且設(shè)有圖形的環(huán)形結(jié)構(gòu)的圖像接下來與襯底1的當前的圖像一起被輸送給用于產(chǎn)生輸出數(shù)據(jù)集40的算法。在輸出數(shù)據(jù)集40中產(chǎn)生第一疊加圖像41。
[0099]在圖8D中隨后在第二襯底位置處重復該過程。在此,人工產(chǎn)生的對象和當前的襯底圖像的疊加產(chǎn)生第二疊加圖像42。
[0100]圖8E示出輸出數(shù)據(jù)集40,其中在襯底位置35、36的被拍攝的圖像處疊加時成像器件圖像33’、34’的以圖形的方式產(chǎn)生的環(huán)。在整體視圖中,也可通過所拍攝的器件圖像33,34識別器件2的所期望的位置。
[0101]輸出數(shù)據(jù)組40能夠再次以其整體或者以子區(qū)域向設(shè)施操作員顯示,如這結(jié)合圖5和6已經(jīng)描述過的那樣,其中所有被拍攝的圖像33、34等能夠再次通過校正機構(gòu)81、82校正。
[0102]緊接著(圖8F),接近最終的安放位置,并且安放單元10將器件2安放在襯底1上。
[0103]在圖8G中示出最終的安放結(jié)果。
[0104]圖9示出安放設(shè)備和待借助于其實施的安放方法的一個實施方式的框圖,所述實施方式用于借助于對調(diào)節(jié)設(shè)備的可移動的軸的追蹤來調(diào)節(jié)和定向器件2相對于襯底1的位置。這能夠在安放設(shè)備100中執(zhí)行。
[0105]在此,安放設(shè)備100確保手動地校正器件2和/或襯底1的位置和/或轉(zhuǎn)達的可能性,例如通過在驅(qū)動的調(diào)節(jié)設(shè)備中的人工控制操作(控制桿)和/或通過操作員手動地移動和/或扭轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)設(shè)備的軸來進行。在這種情況下,用于人工控制操作的機構(gòu)例如是用于在空間上設(shè)置器件2和/或襯底1的機構(gòu)。
[0106]一旦根據(jù)對調(diào)節(jié)的匹配來改變一個或多個攝像圖像,所述方法在使用校正機構(gòu)的情況下總是反復產(chǎn)生具有器件2與襯底1的疊加圖像的新的輸出數(shù)據(jù)集40。
[0107]在一個有利的實施方式中,實時計算和顯示輸出數(shù)據(jù)集40,使得操作員在疊加的圖像中識別到其所做的調(diào)節(jié)的立即的改變。
[0108]該方法的一個實施方式是拍攝器件2的一個或多個圖像,例如在根據(jù)圖1或圖2的設(shè)備中。緊接著,在攝像設(shè)備31連續(xù)地拍攝安放位置的圖像期間,進行對至少一個軸的跟蹤。輸出數(shù)據(jù)集40分別通過器件2的靜態(tài)圖像和通過襯底1的變化的圖像產(chǎn)生。校正機構(gòu)的使用引起:操作員在疊加的圖像中獲得對當前所期望的安放結(jié)果的印象,盡管所述設(shè)備并非強制性地將器件2保持在安放位置中。
[0109]根據(jù)圖9的該方法的第二實施方式在于:在連續(xù)拍攝器件2的圖像期間拍攝襯底1的一個或多個圖像并且對其進行后續(xù)調(diào)節(jié)。功能和作用方式類似于之前所描述的實施方式,僅具有下述區(qū)別:輸出數(shù)據(jù)集40分別通過襯底1的靜態(tài)圖像和器件2的變化的圖像產(chǎn)生。
[0110]根據(jù)圖9的該方法的第三實施方式在于:在調(diào)節(jié)期間同時連續(xù)地拍攝襯底1和器件2的圖像。功能和作用方式類似于之前所描述的。
[0111]根據(jù)對輸出數(shù)據(jù)集40的正面評價,也就是說,器件2相對于襯底1的相對位置的視覺視圖是足夠精確的,能夠通過安放設(shè)備100進行安放配合件的安放。
[0112]圖10示出安放設(shè)備100和待借助于其實施的安放方法的一個實施方式的框圖,所述實施方式用于借助于輸出數(shù)據(jù)集40中的安放配合件1、2的視覺成像的定向來調(diào)節(jié)和定向器件2相對于襯底1的位置。對此,首先分別拍攝器件2的至少一個圖像和襯底1的至少一個圖像并且將其輸送給根據(jù)圖3、圖4或者圖7的用于產(chǎn)生輸出數(shù)據(jù)集40的方法。然而,在該實施方式中,所述定向通過改變輸出數(shù)據(jù)集40的算法的參數(shù)來進行。一種適當?shù)男问嚼缒軌蚴?借助于電腦鼠標移動疊加圖像的視圖中的子圖像或者直接編輯在輸入掩碼中的值。參數(shù)的任何改變都啟動將隨后示出的輸出數(shù)據(jù)集40的新的計算。由此將印象傳送給設(shè)施操作員,所述設(shè)施操作員能夠?qū)⑵骷?和襯底1的視覺成像在疊加的圖像中彼此定向。需注意的是,所述設(shè)備對此不必運動并且算法總是借助于一開始拍攝的圖像來工作。根據(jù)輸出數(shù)據(jù)集40的正面評價,也就是說,器件2相對于襯底1的相對位置的視覺視圖是足夠精確的,通過安放設(shè)備100進行安放配合件1、2的自動調(diào)節(jié)。對此,關(guān)于器件2和襯底1的視覺成像的位置的最后有效的參數(shù)以適當?shù)男问綋Q算和應(yīng)用為安放設(shè)備100的運動坐標。緊接著能夠進行放置。
[0113]所有所描述的方法是共同的,使得向設(shè)施操作員提供呈疊加的圖像的形式的輸出數(shù)據(jù)集40。由此,能夠?qū)崿F(xiàn)一系列的優(yōu)點,所述優(yōu)點將在下文中提及。
[0114]因此,在沒有冗長的預(yù)編程的情況下的簡單的樣品裝配是可行的。設(shè)施操作員看見所