的壓電振動(dòng)器I進(jìn)行說(shuō)明。
[0046]圖2是第I實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)器的分解立體圖。圖3是圖2的III 一 III線上的截面圖。此外，在圖3中，為了容易理解而夸大圖示了第2裝配電極32的膜厚(關(guān)于以下的截面圖也同樣)。
[0047]如圖2所示，本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)器I在封裝件5的空腔C的內(nèi)部容納壓電振動(dòng)片10。封裝件5疊合基底基板2和蓋基板3而形成。
[0048]基底基板2具備以矩形板狀形成的底壁部2a和從底壁部2a的周緣部立設(shè)的側(cè)壁部2b。底壁部2a及側(cè)壁部2b利用陶瓷材料等來(lái)形成。
[0049]在空腔C的內(nèi)部的底壁部2a的表面形成有一對(duì)內(nèi)部電極7。一對(duì)內(nèi)部電極7沿既定方向分離而形成。另外，在空腔C的外部的底壁部2a的表面形成有一對(duì)外部電極(未圖示)。而且，通過(guò)沿厚度方向貫通底壁部2a的貫通電極(未圖示)，內(nèi)部電極7和外部電極連接。此外，內(nèi)部電極7和外部電極的連接方式并不局限于此，也可為例如經(jīng)由向陶瓷片的面方向延伸出的布線連接內(nèi)部電極7和外部電極的方式。
[0050]另外，蓋基板3利用陶瓷材料等以矩形板狀形成。蓋基板3的周緣部粘接在基底基板2的側(cè)壁部2b的端面。而且，在由基底基板2的底壁部2a及側(cè)壁部2b和蓋基板3包圍的區(qū)域，形成有空腔C。
[0051]如圖3所示，在空腔C的內(nèi)部容納有壓電振動(dòng)片10。壓電振動(dòng)片10經(jīng)由導(dǎo)電膏等安裝部件9安裝在基底基板2的底壁部2a。更具體而言，對(duì)于形成在基底基板2的底壁部2a的一對(duì)內(nèi)部電極7，壓電振動(dòng)片10的一對(duì)裝配部21、22所具有的第I裝配電極31及第2裝配電極32經(jīng)由安裝部件9安裝。由此，壓電振動(dòng)片10機(jī)械保持在封裝件5，并且第I裝配電極31及第2裝配電極32和內(nèi)部電極7成為分別導(dǎo)通的狀態(tài)。
[0052]這樣，本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片10具備:俯視下以矩形狀形成的壓電板11 ;形成在壓電板11的主面中央?yún)^(qū)域的振動(dòng)部12 ;以及安裝壓電板11的一對(duì)裝配部21、22，一對(duì)裝配部21、22在壓電板11中的短邊方向的一端部，形成在壓電板11中的長(zhǎng)邊方向的兩端部。
[0053]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，當(dāng)安裝壓電振動(dòng)片10時(shí)，由于利用形成在壓電板11的短邊方向的一端部的一對(duì)裝配部21、22支撐矩形狀的壓電板11，所以與現(xiàn)有構(gòu)造那樣在長(zhǎng)邊方向的一端部支撐的情況相比，以裝配部21、22為中心的力矩變小。由此，減小加到裝配部21、22的應(yīng)力，因此，即便因壓電振動(dòng)片10的小型化而裝配部21、22縮小，且安裝時(shí)的固定力減少的情況下，也能抑制裝配部21、22中的破損。因此，能得到耐久性優(yōu)異的小型壓電振動(dòng)片10。
[0054]另外，與將裝配部設(shè)置在振動(dòng)板中的短邊方向的中央附近的構(gòu)造相比，裝配部21、22與激振電極34的距離變長(zhǎng)。因此，由于能夠加長(zhǎng)在裝配部21、22傳播由振動(dòng)部12產(chǎn)生的振動(dòng)時(shí)的傳播距離，所以能夠充分地衰減由振動(dòng)部12產(chǎn)生的振動(dòng)，并能減少振動(dòng)能量從裝配部21、22泄漏到外部的所謂振動(dòng)泄漏的課題。
[0055]另外，壓電板11利用AT切割石英基板形成，壓電板11的長(zhǎng)邊方向沿著Z’軸方向。在此，作為AT切割石英基板的主振動(dòng)模式的厚度滑移振動(dòng)為在X軸方向較大地位移的振動(dòng)。因此，通過(guò)在沿著與X軸方向正交的Z’軸方向的2個(gè)點(diǎn)懸臂支撐壓電振動(dòng)片10，裝配部21、22不會(huì)妨礙振動(dòng)部12的X軸方向的位移。在裝配部妨礙振動(dòng)部的位移的情況下，在振動(dòng)部、裝配部容易產(chǎn)生不需要振動(dòng)，其結(jié)果是，難以得到期望的振動(dòng)特性，但是依據(jù)本實(shí)施形成的結(jié)構(gòu)，由于裝配部21、22的配置方向和振動(dòng)部12的位移方向處于正交關(guān)系，所以與這些方向?yàn)橥粋€(gè)方向的情況相比，能夠顯著減少不需要振動(dòng)的發(fā)生。
[0056]另外，壓電板11的長(zhǎng)邊方向上的外形尺寸為壓電板11的短邊方向上的外形尺寸的1.4倍以下，因此壓電振動(dòng)片10能夠?qū)?yīng)向例如俯視下接近正方形狀的小型封裝件的安裝。
[0057]另外，本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)器I具備壓電振動(dòng)片10和安裝壓電振動(dòng)片10的裝配部21、22的封裝件5，因此能得到耐久性優(yōu)異的小型壓電振動(dòng)器I。
[0058][第2實(shí)施方式]
接著，對(duì)第2實(shí)施方式的壓電振動(dòng)器及壓電振動(dòng)片進(jìn)行說(shuō)明。
[0059]圖4是第2實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)器的截面圖，并且是相當(dāng)于圖2的III 一III線的部分上的截面圖。圖5是第2實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的仰視圖。
[0060]圖4及圖5所示的第2實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片110，在振動(dòng)部112比裝配部121、122更薄地形成這一點(diǎn)上，與第I實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片10不同。此外，關(guān)于與第I實(shí)施方式同樣的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注同一標(biāo)號(hào)并省略詳細(xì)的說(shuō)明(關(guān)于以下的實(shí)施方式也同樣)。
[0061]如圖4所示，壓電振動(dòng)器101具有經(jīng)由安裝部件9安裝在封裝件5的壓電振動(dòng)片110。此外，作為安裝部件9，能夠適用導(dǎo)電性粘接劑、膏劑等。
[0062]如圖4及圖5所示，壓電振動(dòng)片110所具備的壓電板111具有在+ Y’方向上比振動(dòng)部112中的另一主面IllB更高一個(gè)級(jí)地形成的第I裝配部121及第2裝配部122。
[0063]第I裝配部121通過(guò)壓電板111的側(cè)面及階梯差部115規(guī)定為俯視矩形狀。階梯差部115在第I裝配電極3IB的周?chē)?、從第I裝配電極3IB來(lái)看連續(xù)于+ X側(cè)及一 Z’側(cè)而形成。第I裝配部121的主面121a與壓電板111的另一主面IllB平行地形成。
[0064]第2裝配部122通過(guò)壓電板111的側(cè)面及階梯差部116規(guī)定為俯視矩形狀。階梯差部116在第2裝配電極32B的周?chē)?、從?裝配電極32B來(lái)看連續(xù)于+ X側(cè)及+ Z’側(cè)而形成。第2裝配部122的主面122a與壓電板111的另一主面IllB平行地形成。
[0065]在裝配部121、122的周?chē)?，振?dòng)部112比裝配部121、122更薄。
[0066]如圖4所示，壓電振動(dòng)片110以使壓電板111的另一主面IllB與基底基板2的底壁部2a對(duì)置的狀態(tài)安裝。此時(shí)，第I裝配部121的主面121a及第2裝配部122的主面122a經(jīng)由安裝部件9對(duì)封裝件5的內(nèi)部電極7安裝。
[0067]這樣，本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片110中，振動(dòng)部112在裝配部121、122的周?chē)妊b配部121、122更薄地形成。因此，壓電振動(dòng)片110在安裝到封裝件5的狀態(tài)下，即便產(chǎn)生以裝配部121、122為中心的力矩，也能在較薄地形成的振動(dòng)部112中緩沖作用于裝配部121、122的應(yīng)力。因此，能得到耐久性更加優(yōu)異的壓電振動(dòng)片110。
[0068]另外，在將壓電振動(dòng)片110安裝在封裝件5時(shí)，通過(guò)使安裝部件9接觸到比另一主面IllB高一階梯的裝配部121、122的主面121a、122a，能夠防止安裝部件9從主面121a、122a浸潤(rùn)開(kāi)并附著到振動(dòng)部112。由此，能夠抑制壓電振動(dòng)片110的振動(dòng)特性的偏差。
[0069]此外，在本實(shí)施方式中，壓電振動(dòng)片110使安裝部件9接觸到壓電板111的另一主面IllB側(cè)的裝配部121、122的主面121a、122a而安裝在封裝件5，但并不局限于此。壓電振動(dòng)片110也可以使安裝部件9與壓電板111的一個(gè)主面IllA側(cè)的裝配部121、122的主面接觸。在該情況下，能夠得到在振動(dòng)部112中緩沖作用于上述的裝配部121、122的應(yīng)力的效果。
[0070]另外，在本實(shí)施方式中，裝配部121、122僅在壓電板111的厚度方向(Y’軸方向)的一方突出，但不限于此。
[0071]圖6及圖7是第2實(shí)施方式所涉及的其他壓電振動(dòng)片的截面圖，是相當(dāng)于圖5的V1- VI線的部分上的截面圖。
[0072]如圖6所示，裝配部121、122也可以分別比振動(dòng)部112中的一個(gè)主面11IA及另一主面IllB高一個(gè)階梯。通過(guò)這樣構(gòu)成，當(dāng)將壓電振動(dòng)片110安裝在封裝件5時(shí)，即便使壓電板111的兩主面11 IAUllB的哪一主面與基底基板2的底壁部2a對(duì)置，也能使安裝部件9接觸到裝配部121、122的高一個(gè)階梯地形成的主面121a、122a。因此，提高壓電振動(dòng)器101的制造效率，并能以低成本制造。
[0073]另外，如圖7所示，壓電振動(dòng)片110也可以為具有振動(dòng)部112從壓電板111的兩主面111A、IllB突出的厚壁部112a的、所謂臺(tái)面形狀的壓電振動(dòng)片。在該情況下，厚壁部112a及裝配部121、122分別獨(dú)立并以從壓電板111的兩主面111A、IllB突出的方式形成。由此壓電振動(dòng)片110除了上述作用效果以外，還能將振動(dòng)能量封入厚壁部112a內(nèi)，從而抑制振動(dòng)向裝配部121、122傳播。此外，在圖7中，作為厚壁部112a公開(kāi)了 I階梯的臺(tái)面形狀，但本發(fā)明不限于此。作為厚壁部112a，也可以為具有多階梯的臺(tái)面部的形狀。進(jìn)而，在兩主面11 IAUllB的至少一個(gè)主面形成厚壁部112a的構(gòu)成也可。
[0074]此外，在圖7所示的壓電振動(dòng)片110中，對(duì)于厚壁部112a及裝配部121、122的高度無(wú)特別限定，但是優(yōu)選厚壁部112a及裝配部121、122為相同高度。依據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠在形成壓電板111時(shí)同時(shí)形成厚壁部112a和裝配部121、122，因此能夠簡(jiǎn)化制造工序。
[0075]另外，圖7所示的壓電振動(dòng)片110中，厚壁部112a的主面以從壓電板111的兩主面111A、11IB高一個(gè)階梯的方式形成，但是厚壁部的主面也可以從壓電板111的兩主面111A、IllB多階梯變高的方式形成。
[0076][第2實(shí)施方式的變形例]
接著，對(duì)第2實(shí)