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      一種MEMS麥克風(fēng)的封裝結(jié)構(gòu)的制作方法

      文檔序號(hào):11056536閱讀:來源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種MEMS麥克風(fēng)的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于;包括基板(1)以及固定在基板(1)上并與所述基板(1)構(gòu)成外部封裝的殼體(2),還包括位于所述外部封裝內(nèi)腔(3)中的MEMS麥克風(fēng)芯片(5)以及ASIC芯片(4);在所述外部封裝的側(cè)壁上設(shè)置有連通所述內(nèi)腔(3)與外界的泄壓孔(8)以及連通外界與MEMS麥克風(fēng)芯片(5)的聲音流通通道(7),所述聲音流通通道(7)的一端與所述泄壓孔(8)連通,另一端在外部封裝的側(cè)壁內(nèi)部延伸并從外部封裝的側(cè)壁上穿出,與MEMS麥克風(fēng)芯片(5)連通在一起;在所述外部封裝的內(nèi)側(cè)還設(shè)有覆蓋所述泄壓孔(8)的彈性片(9),所述彈性片(9)被配置為可相對(duì)于泄壓孔(8)翹起或回彈,以打開或關(guān)閉所述泄壓孔(8)。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述泄壓孔(8)設(shè)置在所述外部封裝側(cè)壁上與MEMS麥克風(fēng)芯片(5)錯(cuò)開的位置。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述聲音流通通道(7)與所述MEMS麥克風(fēng)芯片(5)的背腔連通在一起。

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述MEMS麥克風(fēng)芯片(5)以及ASIC芯片(4)均安裝在所述基板(1)上,所述泄壓孔(8)以及聲音流通通道(7)設(shè)置在基板(1)上。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述MEMS麥克風(fēng)芯片(5)中設(shè)置的是振膜在上、背極在下的電容器結(jié)構(gòu)。

      6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述MEMS麥克風(fēng)芯片(5)中設(shè)置的是振膜在下、背極在上的電容器結(jié)構(gòu)。

      7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述基板(1)為疊層的電路板,所述MEMS麥克風(fēng)芯片(5)以及ASIC芯片(4)通過引線或者植錫球的方式與所述電路板的焊盤連接在一起。

      8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述泄壓孔(8)直接貫穿所述基板(1)相對(duì)的兩側(cè)。

      9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述彈性片(9)包括用于連接在所述基板(1)上的連接部,以及覆蓋所述泄壓孔(8)內(nèi)側(cè)位置的翹起部,所述連接部與翹起部是一體的。

      10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述彈性片(9)為硅膠體。

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