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                                MEMS設備和方法與流程
                            
      
                            
      文檔序號：11291507閱讀：來源：國知局
      
                            
                        
      
                        
      
                        
      
                                                                                            
      技術特征：

      技術總結
      本申請描述了具有柔性膜的MEMS換能器，并且尋求減輕和/或重分布膜層內的應力。描述了具有第一/活性區(qū)域和第二/非活性區(qū)域的膜。

      技術研發(fā)人員：S·L·卡吉爾;C·R·詹金斯;E·J·博伊德;R·I·拉明
      受保護的技術使用者：思睿邏輯國際半導體有限公司
      技術研發(fā)日：2016.01.25
      技術公布日：2017.09.26                                                                
                        
      
                        
      
                        
      
                            
                        
      

                        
                            
                    
      
                    
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