本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2015年12月15日、申請(qǐng)?zhí)枮?01510933545.2、題為“晶圓級(jí)照相模塊”的專(zhuān)利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝，更具體地說(shuō)，涉及一種晶圓級(jí)照相模塊。

背景技術(shù)：

隨著攝像技術(shù)的發(fā)展，照相模塊與各種便攜式電子裝置如智能電話、便攜式攝像機(jī)、平板電腦等結(jié)合，使得對(duì)小型化照相模塊(也稱(chēng)作鏡頭模塊)的需求增加。

下面將參照附圖來(lái)描述相關(guān)技術(shù)中的照相模塊。圖1是示出根據(jù)相關(guān)技術(shù)的一種晶圓級(jí)照相模塊的示意性剖視圖，圖2是示出根據(jù)相關(guān)技術(shù)的包括電致變形層的另一照相模塊的示意性剖視圖。

參照?qǐng)D1，晶圓級(jí)照相模塊100包括：圖像傳感器110，包括形成在其頂表面上的成像區(qū)域111，其中成像區(qū)域111可具有多個(gè)微透鏡；第一玻璃層120，設(shè)置在圖像傳感器110上并覆蓋圖像傳感器110的成像區(qū)域111；第二玻璃層130，設(shè)置在第一玻璃層120上；下透鏡140，對(duì)應(yīng)于成像區(qū)域111設(shè)置在第二玻璃層130的中心部上；第三玻璃層150，設(shè)置在第二玻璃層130的外圍部分上并限定容納下透鏡140的空間s；第四玻璃層160，設(shè)置在第三玻璃層150上并具有面對(duì)空間s的下表面；上透鏡170，對(duì)應(yīng)于成像區(qū)域111附著在第四玻璃層160的下表面上，并且面對(duì)下透鏡140；第五玻璃層180，設(shè)置在第四玻璃層160上；以及外部連接端子190，設(shè)置在圖像傳感器110的與成像區(qū)域111相反的表面上以將圖像傳感器110與外部設(shè)備電連接。由于玻璃是硬質(zhì)材料，并且為了減小體積而無(wú)法在晶圓級(jí)封裝中設(shè)置機(jī)械傳動(dòng)裝置，因此采用圖1中示出的晶圓級(jí)照相模塊100只能制作定焦鏡頭。定焦鏡頭在光學(xué)成像方面的性能要差于變焦鏡頭。此外，晶圓級(jí)照相模塊100可能無(wú)法實(shí)現(xiàn)聚焦。

參照?qǐng)D2，可變焦的照相模塊200包括第一透鏡玻璃層210和第二透鏡玻璃層220以及設(shè)置在其間的電致變形層230。電致變形層230通過(guò)流過(guò)其的電流而變形，使得電致變形層230具有可變的厚度，從而實(shí)現(xiàn)變焦。然而，在該可變焦的照相模塊200中，難以實(shí)現(xiàn)多組透鏡的變焦。此外，在變焦時(shí)，照相模塊200的整體厚度會(huì)發(fā)生明顯變化。因此為了便于將照相模塊200安裝在便攜式電子裝置中，需要在照相模塊200外設(shè)置保護(hù)殼。保護(hù)殼需要單獨(dú)制作，因此無(wú)法完全實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)封裝。

在該背景技術(shù)部分中公開(kāi)的上述信息僅用于增強(qiáng)對(duì)本公開(kāi)的背景的理解，因此上述信息可以包含不形成本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在本國(guó)已經(jīng)知曉的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種晶圓級(jí)照相模塊。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種可變焦的晶圓級(jí)照相模塊。

本發(fā)明的又一目的在于提供一種在光學(xué)成像方面性能優(yōu)良的可變焦的晶圓級(jí)照相模塊。

本發(fā)明的再一目的在于提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)多組透鏡的變焦的可變焦的晶圓級(jí)照相模塊。

本發(fā)明的再一目的在于提供一種在變焦過(guò)程中厚度基本上不發(fā)生變化的可變焦的晶圓級(jí)照相模塊。

在一方面中，提供了一種晶圓級(jí)照相模塊，該晶圓級(jí)照相模塊包括：圖像傳感器，包括形成在其頂表面上的成像區(qū)域；第一支撐層，設(shè)置在圖像傳感器上并具有用于暴露成像區(qū)域的第一開(kāi)口；第一變焦單元，包括第一壓電薄膜、第一可變形層和第一透鏡，第一壓電薄膜設(shè)置在第一支撐層上并具有用于暴露成像區(qū)域的第二開(kāi)口，第一可變形層設(shè)置在第一壓電薄膜上以覆蓋第二開(kāi)口，第一透鏡對(duì)應(yīng)于成像區(qū)域附著到第一可變形層；第二支撐層，設(shè)置在第一可變形層上并具有用于暴露成像區(qū)域的第三開(kāi)口；第二變焦單元，包括第二壓電薄膜、第二可變形層和第二透鏡，第二壓電薄膜設(shè)置在第二支撐層上并具有用于暴露成像區(qū)域的第四開(kāi)口，第二可變形層設(shè)置在第二壓電薄膜上以覆蓋第四開(kāi)口，第二透鏡對(duì)應(yīng)于成像區(qū)域附著到第二可變形層；第一導(dǎo)電通路，貫穿圖像傳感器的未形成有成像區(qū)域的至少一部分和第一支撐層以電連接到第一壓電薄膜；以及第二導(dǎo)電通路，貫穿圖像傳感器的未形成有成像區(qū)域的至少一部分、第一支撐層、第一壓電薄膜、第一可變形層和第二支撐層以電連接到第二壓電薄膜。

圖像傳感器還可包括設(shè)置在圖像傳感器的底表面上以將從光轉(zhuǎn)換而來(lái)的電信號(hào)傳輸?shù)酵獠垦b置的第一外部連接端子。

第一壓電薄膜可包括第一壓電材料層以及分別設(shè)置在第一壓電材料層的相反的表面上的第一電極層和第二電極層。第二壓電薄膜可包括第二壓電材料層以及分別設(shè)置在第二壓電材料層的相反的表面上的第三電極層和第四電極層。

第一導(dǎo)電通路可包括電連接到第一電極層的第一導(dǎo)電子通路和電連接到第二電極層的第二導(dǎo)電子通路，圖像傳感器還可包括設(shè)置在圖像傳感器的底表面上并分別電連接到第一導(dǎo)電子通路和第二導(dǎo)電子通路的第二外部連接端子和第三外部連接端子。第二導(dǎo)電通路可包括電連接到第三電極層的第三導(dǎo)電子通路和電連接到第四電極層的第四導(dǎo)電子通路，圖像傳感器還可包括設(shè)置在圖像傳感器的底表面上并分別電連接到第三導(dǎo)電子通路和第四導(dǎo)電子通路的第四外部連接端子和第五外部連接端子。

該晶圓級(jí)照相模塊還可包括：第三支撐層，設(shè)置在第二可變形層上并具有用于暴露成像區(qū)域的第五開(kāi)口；以及保護(hù)層，設(shè)置在第三支撐層上以覆蓋第五開(kāi)口。

該晶圓級(jí)照相模塊還可包括設(shè)置在保護(hù)層的至少邊緣部分上的遮光層。

當(dāng)通過(guò)第一導(dǎo)電通路將驅(qū)動(dòng)電壓施加到第一壓電薄膜和/或通過(guò)第二導(dǎo)電通路將驅(qū)動(dòng)電壓施加到第二壓電薄膜時(shí)，第一透鏡和第二透鏡可相對(duì)于彼此運(yùn)動(dòng)。

當(dāng)通過(guò)第一導(dǎo)電通路將驅(qū)動(dòng)電壓施加到第一壓電薄膜時(shí)，第一壓電薄膜可變形，使得第一可變形層可變形并且第一透鏡可運(yùn)動(dòng)。

當(dāng)通過(guò)第二導(dǎo)電通路將驅(qū)動(dòng)電壓施加到第二壓電薄膜時(shí)，第二壓電薄膜可變形，使得第二可變形層可變形并且第二透鏡可運(yùn)動(dòng)。

在另一方面中，提供了一種晶圓級(jí)照相模塊，該晶圓級(jí)照相模塊包括：圖像傳感器，包括形成在其頂表面上的成像區(qū)域；順序地堆疊在圖像傳感器上的第一和第二變焦單元，第一和第二變焦單元中的每個(gè)包括壓電薄膜、可變形層和透鏡，壓電薄膜具有用于暴露成像區(qū)域的開(kāi)口，可變形層設(shè)置在壓電薄膜上以覆蓋開(kāi)口，透鏡對(duì)應(yīng)于成像區(qū)域附著到可變形層；第一和第二支撐層，第一支撐層設(shè)置在圖像傳感器與第一變焦單元之間，第二支撐層設(shè)置在第一變焦單元與第二變焦單元之間；第一和第二導(dǎo)電通路，第一導(dǎo)電通路貫穿圖像傳感器和第一支撐層并電連接到第一變焦單元，第二導(dǎo)電通路貫穿圖像傳感器、第一支撐層、第一變焦單元和第二支撐層并電連接到第二變焦單元。

在另一方面中，提供了一種晶圓級(jí)照相模塊，該晶圓級(jí)照相模塊包括：圖像傳感器，包括形成在其頂表面上的成像區(qū)域；順序地堆疊在圖像傳感器上的多個(gè)變焦單元，多個(gè)變焦單元中的每個(gè)包括壓電薄膜、可變形層和透鏡，壓電薄膜具有用于暴露成像區(qū)域的開(kāi)口，可變形層設(shè)置在壓電薄膜上以覆蓋開(kāi)口，透鏡對(duì)應(yīng)于成像區(qū)域附著到可變形層；多個(gè)支撐層，分別設(shè)置在圖像傳感器與多個(gè)變焦單元中最靠近圖像傳感器的變焦單元之間，以及彼此相鄰的兩個(gè)變焦單元之間；多個(gè)導(dǎo)電通路，貫穿圖像傳感器和設(shè)置在圖像傳感器與最靠近圖像傳感器的變焦單元之間的支撐層，并電連接到各個(gè)變焦單元，其中，多個(gè)導(dǎo)電通路中的相應(yīng)的一個(gè)還貫穿設(shè)置在圖像傳感器與所電連接到的變焦單元之間的變焦單元和支撐層。

附圖說(shuō)明

通過(guò)下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述，本發(fā)明的以上和/或其它方面和優(yōu)點(diǎn)將變得清楚且更容易理解，其中：

圖1是示出根據(jù)相關(guān)技術(shù)的一種晶圓級(jí)照相模塊的示意性剖視圖；

圖2是示出根據(jù)相關(guān)技術(shù)的包括電致變形層的另一照相模塊的示意性剖視圖；

圖3是示出根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊的示意性剖視圖；

圖4是示出根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊的示意性仰視圖；

圖5是用于描述根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊的制造方法的示意性局部剖視圖；以及

圖6是用于描述圖3中示出的根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊執(zhí)行變焦操作的示意性剖視圖。

具體實(shí)施方式

在下文中，將通過(guò)參考附圖對(duì)示例性實(shí)施例進(jìn)行解釋來(lái)詳細(xì)描述本發(fā)明構(gòu)思。然而，本發(fā)明構(gòu)思可以按照多種不同形式具體實(shí)施，而不應(yīng)當(dāng)解釋為限制為本文所闡述的各實(shí)施例；相反，提供這些實(shí)施例是為了使得本公開(kāi)是清楚且完整的，并且將向本領(lǐng)域普通技術(shù)人員充分地傳達(dá)本發(fā)明構(gòu)思。因此，關(guān)于本發(fā)明構(gòu)思的一些實(shí)施例，不再描述已知的工藝、元件和技術(shù)。除非另外指出，否則在整個(gè)附圖和書(shū)面描述中同樣的附圖標(biāo)記表示同樣的元件，因此，將不再重復(fù)描述。此外，各個(gè)元件和區(qū)域是示意性示出的。因而，本發(fā)明構(gòu)思不限于圖中所示出的相對(duì)尺寸或距離。

應(yīng)該理解的是，盡管在這里可使用術(shù)語(yǔ)第一、第二、第三等來(lái)描述不同的元件、組件、區(qū)域、層和/或部分，但是這些元件、組件、區(qū)域、層和/或部分不應(yīng)該受這些術(shù)語(yǔ)的限制。這些術(shù)語(yǔ)僅是用來(lái)將一個(gè)元件、組件、區(qū)域、層或部分與另一個(gè)元件、組件、區(qū)域、層或部分區(qū)分開(kāi)來(lái)。因此，在不脫離本發(fā)明的教導(dǎo)的情況下，下面討論的第一元件、組件、區(qū)域、層或部分可被稱(chēng)作第二元件、組件、區(qū)域、層或部分。

為了便于描述，在這里可使用空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)，如“在…之下”、“在…下方”、“下面的”、“在…上方”、“上面的”等，用來(lái)描述如在圖中所示的一個(gè)元件或特征與其它元件或特征的關(guān)系。應(yīng)該理解的是，空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)意在包含除了在附圖中描述的方位之外的裝置在使用或操作中的不同方位。例如，如果附圖中的裝置被翻轉(zhuǎn)，則描述為“在”其它元件或特征“下方”或“之下”的元件隨后將被定位為“在”其它元件或特征“上方”。因而，示例性術(shù)語(yǔ)“在…下方”可包括“在…上方”和“在…下方”兩種方位。所述裝置可被另外定位(旋轉(zhuǎn)90度或者在其它方位)，并對(duì)在這里使用的空間相對(duì)描述語(yǔ)做出相應(yīng)的解釋。另外，還將理解的是，當(dāng)層被稱(chēng)為“在”兩層“之間”時(shí)，該層可以是所述兩層之間的唯一層，或者也可以存在一個(gè)或更多個(gè)中間層。

這里使用的術(shù)語(yǔ)是出于描述具體實(shí)施例的目的，而不意圖限制本發(fā)明構(gòu)思。如這里所使用的，單數(shù)形式的“一個(gè)”、“一種”、“該”、“所述”也意圖包括復(fù)數(shù)形式，除非在上下文中清楚地另外指出。還將要理解的是，術(shù)語(yǔ)“包括”和/或“包括……的”當(dāng)用在本說(shuō)明書(shū)中時(shí)，說(shuō)明存在所陳述的特征、整體、步驟、操作、元件和/或組件，但是不排除存在或添加一個(gè)或更多個(gè)其他特征、整體、步驟、操作、元件、組件和/或它們的組。如這里所使用的，術(shù)語(yǔ)“和/或”包括一個(gè)或更多個(gè)相關(guān)列出項(xiàng)的任意和所有組合。另外，術(shù)語(yǔ)“示例性”意圖是指示例或舉例說(shuō)明。

將理解的是，當(dāng)元件或?qū)颖环Q(chēng)為“在”另一元件或?qū)印吧稀?、“連接到”另一元件或?qū)?、“結(jié)合到”另一元件或?qū)踊蛘摺班徑凇绷硪辉驅(qū)訒r(shí)，該元件或?qū)涌梢灾苯釉谒隽硪辉驅(qū)由?、直接連接到所述另一元件或?qū)?、直接結(jié)合到所述另一元件或?qū)踊蛘咧苯余徑谒隽硪辉驅(qū)?，或者可以存在中間元件或中間層。相反，當(dāng)元件被稱(chēng)為“直接在”另一元件或?qū)印吧稀?、“直接連接到”另一元件或?qū)?、“直接結(jié)合到”另一元件或?qū)踊蛘摺熬o鄰于”另一元件或?qū)訒r(shí)，不存在中間元件或中間層。

參照作為示例性實(shí)施例的理想實(shí)施例(以及中間結(jié)構(gòu))的示意圖的剖視圖來(lái)描述示例性實(shí)施例。如此，例如由制造技術(shù)和/或公差所導(dǎo)致的圖示形狀的變化是可預(yù)期的。因此，不應(yīng)當(dāng)將示例性實(shí)施例解釋為局限于在這里所示出的區(qū)域的特定形狀，而是包括了例如由制造導(dǎo)致的形狀方面的偏差。例如，示出為矩形的注入?yún)^(qū)域?qū)⑼ǔＴ谄溥吘壘哂械箞A或彎曲的特征和/或具有注入濃度的梯度，而不是從注入?yún)^(qū)域到非注入?yún)^(qū)域的二元變化。同樣，通過(guò)注入形成的埋區(qū)會(huì)導(dǎo)致在埋區(qū)和通過(guò)其發(fā)生注入的表面之間的區(qū)域中的一些注入。因此，在圖中示出的區(qū)域本質(zhì)上是示意性的，它們的形狀并不意圖示出裝置的區(qū)域的實(shí)際形狀，也不意圖限制本發(fā)明的范圍。

除非另外定義，否則這里使用的所有術(shù)語(yǔ)(包括技術(shù)術(shù)語(yǔ)和科學(xué)術(shù)語(yǔ))具有與該發(fā)明構(gòu)思所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員所通常理解的含義相同的含義。進(jìn)一步將理解的是，除非這里明確這樣定義，否則諸如在通用字典中定義的術(shù)語(yǔ)應(yīng)該被解釋為具有與相關(guān)領(lǐng)域和/或本說(shuō)明書(shū)的背景中它們的意思一致的意思，并且將不以理想的或過(guò)于形式化的含義來(lái)解釋。

在下文中，將參照附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例。

圖3是示出根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊的示意性剖視圖。圖4是示出根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊的示意性仰視圖。

參照?qǐng)D3和圖4，根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊300包括：圖像傳感器310，包括形成在其頂表面上的成像區(qū)域311；第一支撐層321，設(shè)置在圖像傳感器310上并具有用于暴露成像區(qū)域311的第一開(kāi)口op1；第一變焦單元330，包括第一壓電薄膜331、第一可變形層332和第一透鏡333，第一壓電薄膜331設(shè)置在第一支撐層321上并具有用于暴露成像區(qū)域311的第二開(kāi)口op2，第一可變形層332設(shè)置在第一壓電薄膜331上以覆蓋第一壓電薄膜331的第二開(kāi)口op2，第一透鏡333對(duì)應(yīng)于成像區(qū)域311附著到第一可變形層332；第二支撐層322，設(shè)置在第一可變形層332上并具有用于暴露成像區(qū)域311(例如，與第一支撐層321的第一開(kāi)口op1疊置)的第三開(kāi)口op3；第二變焦單元340，包括第二壓電薄膜341、第二可變形層342和第二透鏡343，第二壓電薄膜341設(shè)置在第二支撐層322上并具有用于暴露成像區(qū)域311(例如，與第一壓電薄膜331的第二開(kāi)口op2疊置)的第四開(kāi)口op4，第二可變形層342設(shè)置在第二壓電薄膜341上以覆蓋第二壓電薄膜341的第四開(kāi)口op4，第二透鏡343對(duì)應(yīng)于成像區(qū)域311附著到第二可變形層342；第一導(dǎo)電通路351，貫穿圖像傳感器310的未形成有成像區(qū)域311的至少一部分和第一支撐層321以電連接到第一壓電薄膜331；以及第二導(dǎo)電通路352，貫穿圖像傳感器310的未形成有成像區(qū)域311的至少一部分、第一支撐層321、第一壓電薄膜331、第一可變形層332和第二支撐層322以電連接到第二壓電薄膜341。

這里使用的術(shù)語(yǔ)“暴露”可表示使得向著某構(gòu)件行進(jìn)的光透過(guò)，即，不阻擋向著某構(gòu)件行進(jìn)的光。

圖像傳感器310是一種在其頂表面上形成有成像區(qū)域311以用于使光成像并將成像的光作為電信號(hào)輸出的成像裝置。成像區(qū)域311可形成在圖像傳感器310的頂表面的中心部分上。成像區(qū)域311可具有多個(gè)微透鏡。圖像傳感器310還可包括設(shè)置在圖像傳感器310的與成像區(qū)域311相反的表面上以將從光轉(zhuǎn)換而來(lái)的電信號(hào)傳輸?shù)酵獠垦b置的第一外部連接端子312，以及將成像區(qū)域311與第一外部連接端子312電連接的布線。圖像傳感器310還可包括對(duì)從光轉(zhuǎn)換而來(lái)的電信號(hào)進(jìn)行處理的處理器，和/或存儲(chǔ)所述電信號(hào)的存儲(chǔ)器。圖像傳感器310可具有基本上矩形、正方形或圓形的形狀。

圖像傳感器310可以是相關(guān)技術(shù)中常用的任何合適的圖像傳感器，例如ccd或cmos類(lèi)型的圖像傳感器。

第一支撐層321可設(shè)置在圖像傳感器310的邊緣部上。在示例性實(shí)施例中，第一支撐層321可沿著圖像傳感器310的邊緣設(shè)置在圖像傳感器310上，使得第一支撐層321具有框架形狀。第一支撐層321具有用于暴露成像區(qū)域311的第一開(kāi)口op1。在示例性實(shí)施例中，第一開(kāi)口op1可以對(duì)應(yīng)于圖像傳感器310的頂表面的中心部分形成。第一支撐層321可由適用于支撐布置在其上的元件的任何材料形成，例如，由玻璃、硅、塑料材料或金屬形成。

第一變焦單元330設(shè)置在第一支撐層321上，并可用于改變晶圓級(jí)照相模塊300中包括的透鏡組的焦距。第一變焦單元330包括第一壓電薄膜331、第一可變形層332和第一透鏡333。

第一壓電薄膜331設(shè)置在第一支撐層321上，并可設(shè)置在圖像傳感器310的邊緣部處。在示例性實(shí)施例中，第一壓電薄膜331可沿著圖像傳感器310的邊緣設(shè)置在第一支撐層321上，使得第一壓電薄膜331具有框架形狀。第一壓電薄膜331可以在水平方向(即，第一壓電薄膜331的寬度或長(zhǎng)度方向)和/或豎直方向(即，第一壓電薄膜331的厚度方向)上運(yùn)動(dòng)(例如，變形)。雖然未在附圖中示出，但是第一壓電薄膜331可包括壓電材料層以及分別設(shè)置在壓電材料層的相反的表面上的第一電極層和第二電極層。壓電材料層可由諸如壓電晶體或壓電陶瓷的無(wú)機(jī)壓電材料或者諸如聚偏氟乙烯(pvdf)或其共聚物的有機(jī)壓電材料制成。第一電極層和第二電極層均可由金屬或?qū)щ娧趸镏瞥?。壓電材料層在通過(guò)第一電極層和第二電極層施加的電場(chǎng)的作用下在水平方向和/或豎直方向上運(yùn)動(dòng)(例如，變形)，使得第一壓電薄膜331在水平方向和/或豎直方向上運(yùn)動(dòng)。

第一壓電薄膜331具有用于暴露成像區(qū)域311的第二開(kāi)口op2，以留出用于放置第一透鏡333的空間。第一壓電薄膜331的第二開(kāi)口op2可以比第一支撐層321的第一開(kāi)口op1小，以有利于第一壓電薄膜331的運(yùn)動(dòng)。

第一可變形層332附著在第一壓電薄膜331上以覆蓋第一壓電薄膜331的第二開(kāi)口op2。第一可變形層332可以從第一壓電薄膜331的一側(cè)延伸到第一壓電薄膜331的與所述一側(cè)相對(duì)的另一側(cè)，換言之，第一可變形層332可以完全覆蓋第一壓電薄膜331的第二開(kāi)口op2。因?yàn)榈谝豢勺冃螌?32附著在第一壓電薄膜331上，所以第一可變形層332可以通過(guò)第一壓電薄膜331的電致變形而在水平方向(即，第一可變形層332的寬度或長(zhǎng)度方向)和/或豎直方向(即，第一可變形層332的厚度方向)上運(yùn)動(dòng)(例如，變形)。第一可變形層332可由諸如聚丙烯(pp)、聚氯乙烯(pvc)、聚苯乙烯(ps)、聚甲基丙烯酸甲酯(pmma)或聚碳酸酯(pc)的具有柔性的透明塑料制成，從而通過(guò)第一壓電薄膜331的電致變形而容易地變形。

第一透鏡333對(duì)應(yīng)于成像區(qū)域311(例如，面對(duì)成像區(qū)域311)附著到第一可變形層332。第一透鏡333可設(shè)置在第一壓電薄膜331的第二開(kāi)口op2限定的空間中。第一透鏡333可設(shè)置在第一可變形層332的面對(duì)成像區(qū)域311的表面(即，下表面)上，如圖3所示。然而，本發(fā)明不限于此。第一透鏡333可設(shè)置在第一可變形層332的背對(duì)成像區(qū)域311的表面(即，上表面)上。雖然圖3中示出了第一變焦單元330包括設(shè)置在第一可變形層332的下表面上的一個(gè)第一透鏡333，但是本發(fā)明不限于此，第一變焦單元330可包括分別設(shè)置在第一可變形層332的上表面和下表面上的兩個(gè)透鏡。第一透鏡333可由玻璃或塑料制成。

第一透鏡333可以根據(jù)第一可變形層332的運(yùn)動(dòng)(例如，變形)而運(yùn)動(dòng)。在示例性實(shí)施例中，第一透鏡333可以根據(jù)第一可變形層332的運(yùn)動(dòng)(例如，變形)而在豎直方向(即，第一透鏡333的厚度方向)上運(yùn)動(dòng)，即，上下移動(dòng)。在另一示例性實(shí)施例中，第一透鏡333還可以根據(jù)第一可變形層332的運(yùn)動(dòng)而變形。

第二支撐層322可設(shè)置在第一可變形層332的邊緣部上。在示例性實(shí)施例中，第二支撐層322可沿著第一可變形層332的邊緣設(shè)置在第一可變形層332上，使得第二支撐層322具有框架形狀。第二支撐層322具有用于暴露成像區(qū)域311的第三開(kāi)口op3。第三開(kāi)口op3可以與第一支撐層321的第一開(kāi)口op1疊置，并可具有與第一支撐層321的第一開(kāi)口op1基本上相同的尺寸。在示例性實(shí)施例中，第三開(kāi)口op3可以對(duì)應(yīng)于圖像傳感器310的頂表面的中心部分形成。第二支撐層322可由適用于支撐布置在其上的元件的任何材料形成，例如，由玻璃、硅、塑料材料或金屬形成。

第二支撐層322可具有與第一支撐層321基本上相同的設(shè)置和結(jié)構(gòu)。

第二變焦單元340設(shè)置在第二支撐層322上，并可用于改變晶圓級(jí)照相模塊300中包括的透鏡組的焦距。第二變焦單元340包括第二壓電薄膜341、第二可變形層342和第二透鏡343。

第二壓電薄膜341設(shè)置在第二支撐層322上，并可設(shè)置在圖像傳感器310的邊緣部處。在示例性實(shí)施例中，第二壓電薄膜341可沿著圖像傳感器310的邊緣設(shè)置在第二支撐層322上，使得第二壓電薄膜341具有框架形狀。第二壓電薄膜341可以在水平方向(即，第二壓電薄膜341的寬度或長(zhǎng)度方向)和/或豎直方向(即，第二壓電薄膜341的厚度方向)上運(yùn)動(dòng)(例如，變形)。雖然未在附圖中示出，但是第二壓電薄膜341可包括壓電材料層以及分別設(shè)置在壓電材料層的相反的表面上的第三電極層和第四電極層。壓電材料層可由諸如壓電晶體或壓電陶瓷的無(wú)機(jī)壓電材料或者諸如聚偏氟乙烯(pvdf)或其共聚物的有機(jī)壓電材料制成。第三電極層和第四電極層均可由金屬或?qū)щ娧趸镏瞥?。壓電材料層在通過(guò)第三電極層和第四電極層施加的電場(chǎng)的作用下在水平方向和/或豎直方向上運(yùn)動(dòng)(例如，變形)，使得第二壓電薄膜341在水平方向和/或豎直方向上運(yùn)動(dòng)。

第二壓電薄膜341具有用于暴露成像區(qū)域311的第四開(kāi)口op4，以留出用于放置第二透鏡343的空間。第二壓電薄膜341的第四開(kāi)口op4可以與第一壓電薄膜331的第二開(kāi)口op2疊置，并可具有與第一壓電薄膜331的第二開(kāi)口op2基本上相同的尺寸。第二壓電薄膜341的第四開(kāi)口op4可以比第一支撐層321的第一開(kāi)口op1和第二支撐層322的第三開(kāi)口op3小，以有利于第二壓電薄膜341的運(yùn)動(dòng)。

第二壓電薄膜341可具有與第一壓電薄膜331基本上相同的設(shè)置和結(jié)構(gòu)。

第二可變形層342附著在第二壓電薄膜341上以覆蓋第二壓電薄膜341的第四開(kāi)口op4。第二可變形層342可以從第二壓電薄膜341的一側(cè)延伸到第二壓電薄膜341的與所述一側(cè)相對(duì)的另一側(cè)，換言之，第二可變形層342可以完全覆蓋第二壓電薄膜341的第四開(kāi)口op4。因?yàn)榈诙勺冃螌?42附著在第二壓電薄膜341上，所以第二可變形層342可以通過(guò)第二壓電薄膜341的電致變形而在水平方向(即，第二可變形層342的寬度或長(zhǎng)度方向)和/或豎直方向(即，第二可變形層342的厚度方向)上運(yùn)動(dòng)(例如，變形)。第二可變形層342可由諸如聚丙烯(pp)、聚氯乙烯(pvc)、聚苯乙烯(ps)、聚甲基丙烯酸甲酯(pmma)或聚碳酸酯(pc)的具有柔性的透明塑料制成，從而通過(guò)第二壓電薄膜341的電致變形而容易地變形。

第二可變形層342可具有與第一可變形層332基本上相同的設(shè)置和結(jié)構(gòu)。

第二透鏡343對(duì)應(yīng)于成像區(qū)域311附著到第二可變形層342。第二透鏡343可包括設(shè)置在第二可變形層342的背對(duì)成像區(qū)域311的表面(即，上表面)上的第一子透鏡343-1和設(shè)置在第二可變形層342的面對(duì)成像區(qū)域311的表面(即，下表面)上的第二子透鏡343-2。第二子透鏡343-2可設(shè)置在第二壓電薄膜341的第四開(kāi)口op4限定的空間中。在另一示例性實(shí)施例中，第二變焦單元可僅包括設(shè)置在第二可變形層342的背對(duì)成像區(qū)域311的表面(即，上表面)上的第二透鏡或設(shè)置在第二可變形層342的面對(duì)成像區(qū)域311的表面(即，下表面)上的第二透鏡。第二透鏡343可由玻璃或塑料制成。

第二透鏡343可以根據(jù)第二可變形層342的運(yùn)動(dòng)(例如，變形)而運(yùn)動(dòng)。在示例性實(shí)施例中，第二透鏡343可以根據(jù)第二可變形層342的運(yùn)動(dòng)(例如，變形)而在豎直方向(即，第二透鏡343的厚度方向)上運(yùn)動(dòng)，即，上下移動(dòng)。在另一示例性實(shí)施例中，第二透鏡343還可以根據(jù)第二可變形層342的運(yùn)動(dòng)而變形。

第二透鏡343可具有與第一透鏡333的光軸重合或?qū)?zhǔn)的光軸。第一透鏡333的光軸和第二透鏡343的光軸均可經(jīng)過(guò)成像區(qū)域311，例如，成像區(qū)域311的中心。

第一導(dǎo)電通路351貫穿(例如，垂直地貫穿)圖像傳感器310的未形成有成像區(qū)域311的至少一部分和第一支撐層321以電連接到第一壓電薄膜331，從而將驅(qū)動(dòng)電壓提供到第一壓電薄膜331。第一導(dǎo)電通路351可以從圖像傳感器310的與成像區(qū)域311相反的表面貫穿圖像傳感器310延伸到圖像傳感器310的設(shè)置有成像區(qū)域311的表面。第一導(dǎo)電通路351可由諸如銅、鎢或鈦的金屬制成。

如上所述，第一壓電薄膜331可包括壓電材料層以及分別設(shè)置在壓電材料層的相反的表面上的第一電極層和第二電極層。第一導(dǎo)電通路351可包括電連接到(例如，電接觸)第一壓電薄膜331的第一電極層的第一導(dǎo)電子通路351-1和電連接到(例如，電接觸)第一壓電薄膜331的第二電極層的第二導(dǎo)電子通路351-2，從而將用于驅(qū)動(dòng)壓電材料層的相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓施加到第一電極層和第二電極層。

圖像傳感器310還可包括設(shè)置在圖像傳感器310的與成像區(qū)域311相反的表面上并電連接到(例如，電接觸)第一導(dǎo)電通路351的第二外部連接端子313。第二外部連接端子313可以是焊球。第二外部連接端子313可包括分別電連接到(例如，電接觸)第一導(dǎo)電子通路351-1和第二導(dǎo)電子通路351-2的第二外部連接子端子313-1和313-2。

第二導(dǎo)電通路352貫穿(例如，垂直地貫穿)圖像傳感器310的未形成有成像區(qū)域311的至少一部分、第一支撐層321、第一壓電薄膜331、第一可變形層332和第二支撐層322以電連接到第二壓電薄膜341，從而將驅(qū)動(dòng)電壓提供到第二壓電薄膜341。第二導(dǎo)電通路352可以從圖像傳感器310的與成像區(qū)域311相反的表面貫穿圖像傳感器310延伸到圖像傳感器310的設(shè)置有成像區(qū)域311的表面。第二導(dǎo)電通路352可由諸如銅、鎢或鈦的金屬制成。

如上所述，第二壓電薄膜341可包括壓電材料層以及分別設(shè)置在壓電材料層的相反的表面上的第三電極層和第四電極層。第二導(dǎo)電通路352可包括電連接到(例如，電接觸)第二壓電薄膜341的第三電極層的第三導(dǎo)電子通路352-1和電連接到(例如，電接觸)第二壓電薄膜341的第四電極層的第四導(dǎo)電子通路352-2，從而將用于驅(qū)動(dòng)壓電材料層的相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓施加到第三電極層和第四電極層。

圖像傳感器310還可包括設(shè)置在圖像傳感器310的與成像區(qū)域311相反的表面上并電連接到(例如，電接觸)第二導(dǎo)電通路352的第三外部連接端子314。第三外部連接端子314可以是焊球。第三外部連接端子314可包括分別電連接到(例如，電接觸)第三導(dǎo)電子通路352-1和第四導(dǎo)電子通路352-2的第三外部連接子端子314-1和314-2。

這里，雖然第二導(dǎo)電通路352貫穿第一壓電薄膜331，但是第二導(dǎo)電通路352不電連接到第一壓電薄膜331?？赏ㄟ^(guò)在第二導(dǎo)電通路352與第一壓電薄膜331之間設(shè)置絕緣層來(lái)使得第二導(dǎo)電通路352與第一壓電薄膜331絕緣。

多個(gè)第一外部連接端子312可以設(shè)置在圖像傳感器310的與成像區(qū)域311相反的表面的中心部，第二外部連接端子313和第三外部連接端子314可以設(shè)置在圖像傳感器310的與成像區(qū)域311相反的表面的邊緣或外圍。

根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊300還可包括第三支撐層323和設(shè)置在第三支撐層323上的保護(hù)層360。

第三支撐層323設(shè)置在第二可變形層342上并具有用于暴露成像區(qū)域311(例如，與第一支撐層321的第一開(kāi)口op1和第二支撐層322的第三開(kāi)口op3疊置)的第五開(kāi)口op5。第三支撐層323可設(shè)置在第二可變形層342的邊緣部上。在示例性實(shí)施例中，第三支撐層323可沿著第二可變形層342的邊緣設(shè)置在第二可變形層342上，使得第三支撐層323具有框架形狀。第五開(kāi)口op5可具有與第一支撐層321的第一開(kāi)口op1和第二支撐層322的第三開(kāi)口op3基本上相同的尺寸。在示例性實(shí)施例中，第五開(kāi)口op5可以對(duì)應(yīng)于圖像傳感器310的頂表面的中心部分形成。第三支撐層323可由適用于支撐布置在其上的元件的任何材料形成，例如，由玻璃、硅、塑料材料或金屬形成。

保護(hù)層360設(shè)置在第三支撐層323上以覆蓋第三支撐層323的第五開(kāi)口op5，從而保護(hù)晶圓級(jí)照相模塊300免受諸如潮氣、氧或外部沖擊的影響。保護(hù)層360可以從第三支撐層323的一側(cè)延伸到第三支撐層323的與所述一側(cè)相對(duì)的另一側(cè)，換言之，保護(hù)層360可以完全覆蓋第三支撐層323的第五開(kāi)口op5。保護(hù)層360可由玻璃或透明的塑料制成。

根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊300還可包括設(shè)置在保護(hù)層360的至少邊緣部分上的遮光層(未示出)。例如，遮光層可以設(shè)置在保護(hù)層360的與第三支撐層323接觸的部分上。遮光層還可覆蓋晶圓級(jí)照相模塊300的側(cè)表面，例如，依次堆疊的第一支撐層321、第一壓電薄膜331、第一可變形層332、第二支撐層322、第二壓電薄膜341、第二可變形層342、第三支撐層323和保護(hù)層360的側(cè)表面。遮光層可防止不必要的光進(jìn)入晶圓級(jí)照相模塊300而使成像質(zhì)量降低。

在下文中將描述制造根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊300的示例性方法。圖5是用于描述根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊的制造方法的示意性局部剖視圖。

參照?qǐng)D5，可通過(guò)在圖像傳感器310上對(duì)準(zhǔn)并順序地堆疊其中形成有導(dǎo)電通路的第一支撐層321、第一壓電薄膜331、第一可變形層332(其上形成有第一透鏡333)、第二支撐層322、第二壓電薄膜341、第二可變形層342(其上形成有第二透鏡343)來(lái)制造晶圓級(jí)照相模塊300，或可通過(guò)在圖像傳感器310上對(duì)準(zhǔn)并順序地堆疊其中形成有導(dǎo)電通路的第一支撐層321、第一可變形層332(其上形成有第一壓電薄膜331和第一透鏡333)、第二支撐層322、第二可變形層342(其上形成有第二壓電薄膜341和第二透鏡343)來(lái)制造晶圓級(jí)照相模塊300。在這種情況下，可以在圖像傳感器310與第一支撐層321之間設(shè)置第一各向異性導(dǎo)電膠371，可以在第一支撐層321與第一壓電薄膜331之間設(shè)置第二各向異性導(dǎo)電膠372，可以在第一可變形層332與第二支撐層322之間設(shè)置第三各向異性導(dǎo)電膠373，可以在第二支撐層322與第二壓電薄膜341之間設(shè)置第四各向異性導(dǎo)電膠374，并按壓通過(guò)各個(gè)各向異性導(dǎo)電膠連接的部件，從而形成第一導(dǎo)電通路351和第二導(dǎo)電通路352。在另一實(shí)施例中，可以代替各向異性導(dǎo)電膠而使用焊料。

其中形成有導(dǎo)電通路的第一支撐層321、第一壓電薄膜331、第一可變形層332、第二支撐層322、第二壓電薄膜341、第二可變形層342可通過(guò)在相應(yīng)的部件中形成(例如，通過(guò)蝕刻或鉆孔)通孔并用導(dǎo)電材料填充通孔來(lái)形成。

在晶圓級(jí)照相模塊300還包括第三支撐層323和設(shè)置在第三支撐層323上的保護(hù)層360的情況下，還可以在圖像傳感器310上順序地堆疊第三支撐層323和保護(hù)層360。

可選擇地，可通過(guò)在圖像傳感器310上對(duì)準(zhǔn)并順序地堆疊第一支撐層321、第一壓電薄膜331、第一可變形層332(其上形成有第一透鏡333)、第二支撐層322、第二壓電薄膜341、第二可變形層342(其上形成有第二透鏡343)，或?qū)?zhǔn)并順序地堆疊第一支撐層321、第一可變形層332(其上形成有第一壓電薄膜331和第一透鏡333)、第二支撐層322、第二可變形層342(其上形成有第二壓電薄膜341和第二透鏡343)，在堆疊的結(jié)構(gòu)中形成通孔并用導(dǎo)電材料填充相應(yīng)的通孔來(lái)制造晶圓級(jí)照相模塊300。在這種情況下，可以在彼此堆疊的各個(gè)層之間設(shè)置不導(dǎo)電粘合層。

可以在圖像傳感器310的形成有成像區(qū)域311的表面上堆疊各個(gè)部件之前或之后形成第一外部連接端子312至第三外部連接端子314。

在下文中將描述操作根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊300的示例性方法。圖6是用于描述圖3中示出的根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊300執(zhí)行變焦操作的示意性剖視圖。

參照?qǐng)D6，連接到外部器件(例如，控制器件)的第二外部連接端子313從外部器件接收驅(qū)動(dòng)電壓，并通過(guò)第一導(dǎo)電通路351將驅(qū)動(dòng)電壓提供到第一壓電薄膜331。具體地講，可通過(guò)連接到第二外部連接子端子313-1的第一導(dǎo)電子通路351-1將第一電壓提供到第一壓電薄膜331的第一電極層，可通過(guò)連接到第二外部連接子端子313-2的第二導(dǎo)電子通路351-2將不同于第一電壓的第二電壓提供到第一壓電薄膜331的第二電極層。因此，第一壓電薄膜331通過(guò)作為第一電壓與第二電壓之差的驅(qū)動(dòng)電壓而運(yùn)動(dòng)，使得附著到第一壓電薄膜331的第一可變形層332通過(guò)第一壓電薄膜331的運(yùn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)(例如，變形)。例如，第一壓電薄膜331通過(guò)驅(qū)動(dòng)電壓在水平方向(即，第一壓電薄膜331的寬度或長(zhǎng)度方向)和/或豎直方向(即，第一壓電薄膜331的厚度方向)上運(yùn)動(dòng)(例如，變形)，使得附著到第一壓電薄膜331的第一可變形層332通過(guò)第一壓電薄膜331的運(yùn)動(dòng)而在水平方向(即，第一可變形層332的寬度或長(zhǎng)度方向)和/或豎直方向(即，第一可變形層332的厚度方向)上運(yùn)動(dòng)(例如，變形)。如圖6所示，第一壓電薄膜331的兩側(cè)相對(duì)于彼此靠近地運(yùn)動(dòng)，使得第一可變形層332朝向成像區(qū)域311彎曲。

因?yàn)榈谝粔弘姳∧?31的至少一部分被按壓在第一支撐層321與第二支撐層322之間，所以在第一壓電薄膜331的至少另一部分運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，第一壓電薄膜331的至少一部分可以相對(duì)地固定。

隨著第一可變形層332運(yùn)動(dòng)，附著到第一可變形層332的第一透鏡333也運(yùn)動(dòng)，例如在豎直方向上運(yùn)動(dòng)。如圖6所示，第一透鏡333朝向成像區(qū)域311移動(dòng)。在另一個(gè)示例性實(shí)施例中，第一透鏡333還可以根據(jù)第一可變形層332的運(yùn)動(dòng)而變形。當(dāng)停止驅(qū)動(dòng)電壓的供應(yīng)時(shí)，第一壓電薄膜331、第一可變形層332和第一透鏡333可以恢復(fù)到其初始位置和/或形狀。

參照?qǐng)D6，連接到外部器件(例如，控制器件)的第三外部連接端子314從外部器件接收驅(qū)動(dòng)電壓，通過(guò)第二導(dǎo)電通路352將驅(qū)動(dòng)電壓提供到第二壓電薄膜341。具體地講，可通過(guò)連接到第三外部連接子端子314-1的第三導(dǎo)電子通路352-1將第三電壓提供到第二壓電薄膜341的第三電極層，可通過(guò)連接到第三外部連接子端子314-2的第四導(dǎo)電子通路352-2將不同于第三電壓的第四電壓提供到第二壓電薄膜341的第四電極層。因此，第二壓電薄膜341通過(guò)作為第三電壓與第四電壓之差的驅(qū)動(dòng)電壓而運(yùn)動(dòng)，使得附著到第二壓電薄膜341的第二可變形層342通過(guò)第二壓電薄膜341的運(yùn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)(例如，變形)。例如，第二壓電薄膜341通過(guò)驅(qū)動(dòng)電壓在水平方向(即，第二壓電薄膜341的寬度或長(zhǎng)度方向)和/或豎直方向(即，第二壓電薄膜341的厚度方向)上運(yùn)動(dòng)(例如，變形)，使得附著到第二壓電薄膜341的第二可變形層342通過(guò)第二壓電薄膜341的運(yùn)動(dòng)而在水平方向(即，第二可變形層342的寬度或長(zhǎng)度方向)和/或豎直方向(即，第二可變形層342的厚度方向)上運(yùn)動(dòng)(例如，變形)。如圖6所示，第二可變形層342的兩側(cè)相對(duì)于彼此靠近地運(yùn)動(dòng)，使得第二可變形層342遠(yuǎn)離成像區(qū)域311彎曲。

因?yàn)榈诙弘姳∧?41的至少一部分被按壓在第二支撐層322與第三支撐層323之間，所以在第二壓電薄膜341的至少另一部分運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，第二壓電薄膜341的至少一部分可以相對(duì)地固定。

隨著第二可變形層342運(yùn)動(dòng)，附著到第二可變形層342的第二透鏡343也運(yùn)動(dòng)，例如在豎直方向上運(yùn)動(dòng)。如圖6所示，第二透鏡343遠(yuǎn)離成像區(qū)域311移動(dòng)。在另一個(gè)示例性實(shí)施例中，第二透鏡343還可以根據(jù)第二可變形層342的運(yùn)動(dòng)而變形。當(dāng)停止驅(qū)動(dòng)電壓的供應(yīng)時(shí)，第二壓電薄膜341、第二可變形層342和第二透鏡343可以恢復(fù)到其初始位置和/或形狀。

來(lái)自外部的光經(jīng)過(guò)第一透鏡333和第二透鏡343入射在圖像傳感器310的成像區(qū)域311上，圖像傳感器310使光成像并將成像的光作為電信號(hào)通過(guò)第一外部連接端子312輸出到外部器件，例如，圖像處理器或存儲(chǔ)器。

因?yàn)榈谝煌哥R333和/或第二透鏡343的運(yùn)動(dòng)，所以第一透鏡333和第二透鏡343之間的相對(duì)位置改變，使得包括第一透鏡333和第二透鏡343的透鏡組的焦距改變。因此，與定焦鏡頭相比，根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊300在光學(xué)成像方面具有優(yōu)良的性能。

雖然上面描述了第一透鏡333和第二透鏡343中的每個(gè)均運(yùn)動(dòng)，但是本發(fā)明不限于此。第一透鏡333和第二透鏡343中的一個(gè)可以運(yùn)動(dòng)，而第一透鏡333和第二透鏡343中的另一個(gè)可以保持靜止。

雖然上面參照?qǐng)D6描述了第一透鏡333和第二透鏡343運(yùn)動(dòng)的方向，但是本發(fā)明不限于此。晶圓級(jí)照相模塊300中包括的透鏡組中的透鏡可以各種各樣地運(yùn)動(dòng)。

此外，因?yàn)榈谝煌哥R333和/或第二透鏡343的運(yùn)動(dòng)，還可實(shí)現(xiàn)包括第一透鏡333和第二透鏡343的透鏡組的聚焦。因此，根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊300在光學(xué)成像方面具有優(yōu)良的性能。

雖然上面描述了在根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊300中，包括第一透鏡333和第二透鏡343的一組透鏡的焦距改變，但是本發(fā)明不限于此。除了第一變焦單元330和第二變焦單元340之外，根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊還可包括具有與第一變焦單元330或第二變焦單元340的設(shè)置或結(jié)構(gòu)基本相同的設(shè)置或結(jié)構(gòu)的另外的變焦單元。例如，根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊還可包括設(shè)置在第二變焦單元340上并具有與第一變焦單元330或第二變焦單元340的設(shè)置或結(jié)構(gòu)基本相同的設(shè)置或結(jié)構(gòu)的第三變焦單元。例如，根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的晶圓級(jí)照相模塊還可包括設(shè)置在第二變焦單元340上并具有與第一變焦單元330或第二變焦單元340的設(shè)置或結(jié)構(gòu)基本相同的設(shè)置或結(jié)構(gòu)的第三變焦單元和第四變焦單元，第三變焦單元設(shè)置在第二變焦單元340上，第四變焦單元設(shè)置在第三變焦單元上。因此，包括至少兩個(gè)變焦單元的晶圓級(jí)照相模塊可具有多組透鏡，每組透鏡包括至少兩個(gè)透鏡。因此，可以實(shí)現(xiàn)多組透鏡的變焦。此外，還可實(shí)現(xiàn)多組透鏡的聚焦。

此外，因?yàn)榈谝粔弘姳∧?31和/或第二壓電薄膜341具有相對(duì)小的厚度，所以在通過(guò)第一壓電薄膜331和/或第二壓電薄膜341的電致變形執(zhí)行變焦和/或聚焦時(shí)，晶圓級(jí)照相模塊300具有基本上不變的整體厚度，例如，變化非常小的整體厚度。因此，為了將晶圓級(jí)照相模塊300安裝在例如便攜式電子裝置中，不需要在晶圓級(jí)照相模塊300外部設(shè)置另外的保護(hù)殼，從而可以容易地實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)封裝。

雖然已經(jīng)結(jié)合附圖和示例性實(shí)施例描述了本發(fā)明，但是本發(fā)明不限于所公開(kāi)的實(shí)施例，而是相反，本發(fā)明意在覆蓋包括在權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)的各種修改和等同布置。