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      透光性薄膜的制作方法

      文檔序號(hào):12506667閱讀:來源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種透光性薄膜,其特征在于,其依次具備透明基材和透光性無機(jī)層,

      所述透明基材由高分子薄膜形成,

      所述透光性無機(jī)層依次具備第1無機(jī)氧化物層、金屬層和第2無機(jī)氧化物層,

      所述透光性無機(jī)層具有導(dǎo)電性,

      所述第1無機(jī)氧化物層及第2無機(jī)氧化物層含有氫原子,

      所述第2無機(jī)氧化物層中的氫原子的含量H2與所述第1無機(jī)氧化物層中的氫原子的含量H1之比(H2/H1)為0.10以上且10.00以下。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光性薄膜,其特征在于,所述第1無機(jī)氧化物層中的氫原子的含量H1及所述第2無機(jī)氧化物層中的氫原子的含量H2均為5×1019原子/cm3以上且8000×1019原子/cm3以下。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光性薄膜,其特征在于,在所述第1無機(jī)氧化物層及所述第2無機(jī)氧化物層中,至少一者含有氧化銦。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光性薄膜,其特征在于,所述第1無機(jī)氧化物層及所述第2無機(jī)氧化物層均為非晶質(zhì)。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光性薄膜,其特征在于,所述第2無機(jī)氧化物層的厚度T2與所述第1無機(jī)氧化物層的厚度T1之比(T2/T1)為0.5以上且1.5以下。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光性薄膜,其特征在于,所述第1無機(jī)氧化物層及所述第2無機(jī)氧化物層還含有碳原子,

      所述第1無機(jī)氧化物層中的氫原子的含量H1與碳原子的含量C1的總含量(H1+C1)、及所述第2無機(jī)氧化物層中的氫原子的含量H2與碳原子的含量C2的總含量(H2+C2)均為6×1019原子/cm3以上且10000×1019原子/cm3以下。

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